《激光多普勒干涉仪介绍.ppt》由会员分享，可在线阅读，更多相关《激光多普勒干涉仪介绍.ppt（21页珍藏版）》请在三一办公上搜索。
1、1,激光多普勒干涉仪介绍,美国光动公司(OPTODYNE,INC),2,美国光动公司 OPTODYNE，INC.,3,美国光动公司总裁王正平教授,4,激光干涉仪测量原理比较,5,迈克逊干涉仪,1860年MICHELSON干涉仪,白光,参考镜,反射镜,分光镜,探测器,产生干涉,测量光束,参考光束,6,单频激光干涉仪,1960年单频激光干涉仪,激光,角锥反射镜,角锥反射镜,分光镜,探测器,测量光束,参考光束,产生干涉,7,线偏振光,线偏振光,双频激光干涉仪,1970年双频激光干涉仪,激光,角锥反射镜,角锥反射镜,偏振分光镜,探测器,测量光束,参考光束,产生干涉,8,激光多普勒干涉仪,1985年LD
2、DM电光调制、外差式,激光,角锥反射镜,探测器,光电调制,9,位移测量安装比较,10,对光方便,11,MCV-500主要技术指标,12,MCV-500选购附件的测量功能,13,直线位移测量,靶标反射镜,MCV-500,反射镜移动方向,14,非接触主轴精度测量,MCV-500,主轴,聚光镜,MCV-500+DI-500,15,陀罗径向跳动曲线,采样：2000点/秒,16,低频振动测量,适用于最高为100Hz的低频振动测量,17,中频振动测量,适用于最高为100KHz的中频振动测量,18,高频振动测量,适用于极高频率的振动测量,19,MCV-5000系列激光干涉仪,20,X轴上下同步测量实例,21,Y轴左右同步测量实例,
