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1、科技专项对接活动成果征集表院所名称：浙江大学材料系（硅材料国家重点实验室）成果名称AZO透明导电薄膜研发及产业化项目简介：（包括项目的应用范围、主要性能、市场前景、成果来源及知识产权情况）Al掺杂Zno（AZO）是一种典型的透明导电氧化物（TCo）材料。我们从2000年开始，一直从事AZO薄膜的研发工作，关键性能指标处于国际领先水平，目前正在向产业化推广。AZO可在下述领域获得商业应用：（1） 基于AZo薄膜的光伏TCO玻璃，取代FTO薄膜，用于薄膜太阳能电池；（2） 以AZO薄膜为透明电极，取代半透明的Ni/Au电极，用于GaN-LED；（3） 为AZO薄膜为传感层，取代ITO薄膜，用于触摸
2、屏等显示器件；（4） AZ0CuAZO多层薄膜，用作LoW-E节能环保玻璃；（5） AZo薄膜作为TCO材料，室温生长具有高性能，用于柔性贴膜。技术特点（包括成果的成熟程度、创新性、先进性等）：AZO薄膜电阻率低于IOYQcm,方块电阻低于20Csq;紫外吸收率接近100%,可见光透过率高于92%,红外反射率高于70%；粗糙度和绒度根据需求制备；不均匀性低于7%。AZO透明导电薄膜性能优异，技术成熟，性能指标国际先进。 透过率90%,电阻率10-410-5QCnl透明导电 原料丰富，价格低廉：Zn35/Kgf生产成本低 无毒无污染，环境友好f绿色环保 成膜性能好，易于制绒，适用于各种衬底一满足
3、实用要求 在等离子体中稳定，化学和热稳定性好一使用寿命长 抗辐射性能好，电子诱生缺陷低一适合于太空领域(nd) WUS-S 21SnoOV010203040Load （N）SEM（生长技术:投入与经济效益（产业化投入金额、产业化目标及预期经济效益）作为一种TCo玻璃，AZO可取代ITO和FT0,可广泛应用于：平板显示TCO玻璃、光伏TCO玻璃、低辐射（Low-E）玻璃、紫外吸收玻璃、全透明产品等领域。1、AZ0CuAZ0多层薄（有机衬底）包学校能与诚德封底上相近磁控减射，衬底：PC,生长温度：室温）2、AZO基多层薄膜（玻璃基板）23AZo基多层薄膜（玻璃基板）鼻彭某样品RSh(sq)RIR(
4、%)Tms(%)TC3)AZO/Cu/AZO2-10050%70-9010-4-1023、AZo单层薄膜（玻璃基板）() SUeWESSEM高导电率：Rs=5-400sq,p=10 高导电率（最优数值）S=7.9 sq,0=3.96 X10 4cm, =13cPVs, M=L21X10” cm （生长技术：磁控减射，衬底材料：PC,生长温度：室温）5、AZO单层薄膜（Si衬底）-10-5cm,=1-50cm2Vs,Ae=10201022cm3（生长技术：磁控溅射；生长温度：RT-500oC）4、AZO单层薄膜（有机衬底）可见光透射率90%SEMXRDIO一IicjiangljniveIWaxe
5、iength (nm透射谱.htajian DniveSEM（生长技术：磁控城射；生长温度：RT-500oC）支撑与保障（技术及团队、实施案例及其它）吕建国，博士，副研究员，博导，求是青年学者。2005.6：获浙江大学工学博士学位；2005.11-2007.11：日本京都大学博士后，JSPS外国人特别研究员；2007.12-今：浙江大学材料系硅材料国家重点实验室工作。主要研究领域：半导体薄膜与器件、纳米材料及应用。作为负责人，正在承担或完成国家和省部级科研项目10余项。作为主要成员，获国家自然科学二等奖1项（排名第三）、浙江省科学技术一等奖3项；获全国百篇优秀博士学位论文提名奖；入选浙江省15
6、1人才工程第三层次。拥有授权国家发明专利15项。作为第二作者，出版教材专著2部；参编英文专著1部。发表SCl论文127篇，影响因子IF3的论文35篇；论文SCl他引1900余次，引用超过50次的论文15篇，超过100次的论文5篇，H因子27。合作方式与费用:技术转让或合作产业化开发1、成果名称：AZO透明导电薄膜研发及产业化项目简介：Al掺杂ZnO（AZO）是一种典型的透明导电氧化物（TCO）材料。我们从2000年开始，一直从事AZo薄膜的研发工作，关键性能指标处于国际领先水平，目前正在向产业化推广。AZO可在下述领域获得商业应用：基于AZO薄膜的光伏TCo玻璃，取代FTO薄膜，用于薄膜太阳能
7、电池；以AZO薄膜为透明电极，取代半透明的Ni/Au电极，用于LED等；为AZO薄膜为传感层，取代ITO薄膜，用于触摸屏等显示器件;AZO/Cu/AZO多层薄膜，用作Low-E节能环保玻璃；AZO薄膜作为TCO材料，室温生长具有高性能，用于柔性贴膜。AZO薄膜电阻率低于10-4cm,方块电阻低于20Qsq;紫外吸收率接近100%,可见光透过率高于92%,红外反射率高于70%；粗糙度和绒度根据需求制备；不均匀性低于7%。AZo透明导电薄膜性能优异，技术成熟，性能指标国际先进。透过率90%,电阻率104105Qcm一透明导电原料丰富，价格低廉：Zn35/Kg生产成本低无毒无污染，环境友好T绿色环保
8、成膜性能好，易于制绒，适用于各种衬底一满足实用要求在等离子体中稳定，化学和热稳定性好一使用寿命长抗辐射性能好，电子诱生缺陷低适合于太空领域应用领域及前景：作为一种TCC）玻璃，AZO可取代ITO和FTO,可广泛应用于:平板显示TCO玻璃、光伏TCO玻璃、低辐射（Low-E）玻璃、紫外吸收玻璃、全透明产品等领域。1001、AZo单层薄膜（玻璃基板）- QoQQ 8 6 4 2 (左uc0 - EsUeJA高导电率：Rs=5-400sq,P=IO3-IO5cm,=1-50cm2s,Ne三1020-1022cm-3（生长技术：磁控溅射；生长温度：RT-500oC）2、AZO单层薄膜（有机衬底）IOO
9、可见光透射率90%Wxlecgth (nm)透射塔Iiejiang Uni、CfI ，,hejian50%70-9010-4-102（生长技术：磁控溅射，生长温度：室温）5001000150020002500Wavelength (rm)5、已开发应用的产品AZO取代Ni/Au和ITO用于GaNLED透明电极，发光效率提高7%；发明了用于光伏TCO玻璃的AZO薄膜盐腐蚀液制绒的新方法，取代FTO电极用于薄膜太阳电池，光电转换效率略有提升，降低成本20%；AZo取代ITo用于触摸电容屏，响应速度低于50ms,降低成本15%以上；设计了AZOCuAZO三层薄膜体系，用于LOW-E玻璃。部分研究成果
10、已与公司合作，开发出新产品，小试生产。期待与更多公司合作，共同开发新技术、新产品，实现产业化应用。科研成果征集（推介）表项目名称Zno基透明导电薄膜院校浙江大学技术领域新材料成果简介：AZO为AI掺杂Zn0,是一种典型的透明导电氧化物（TCO）材料，可取代目前商业广泛应用的In2O3:Sn（ITO）和SnO2:F（FTO）,是新一代的TCO薄膜。应用于实际生产，可大幅度减小能耗，降低成本，提高性能。AZO薄膜电阻率低于10-4cm,方块电阻低于20sq;紫外吸收率接近100%,可见光透过率高于92%,红外反射率高于70%；粗糙度和绒度根据需求制备；不均匀性低于7%。应用领j作为TCO玻无品等领域图示或与前景：1.种TCc）玻璃，AZO可用短光伏TCO玻璃、低辐射为AZO单层TCo玻璃与AcZZ*cpn*vI代T(LOZO/C0和FTO,可广泛应用于：5Iw-E）玻璃、紫外吸收玻璃、W：u/AZO多层TCO玻璃。.Z板显示上透明产合作方式与费用：合作方式：主要为产学研合作研发，也可考虑其它合作方式。费用：面谈。专利名称室温条件下制备A1掺杂ZnO透明导电薄膜的方法系列专利类别发明专利专利号.6.1
