磁控溅射沉积TiTiN多层膜的组织特征及耐磨损性能.ppt

上传人:牧羊曲112 文档编号:6481889 上传时间:2023-11-04 格式:PPT 页数:1 大小:483KB
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磁控溅射沉积Ti/TiN多层膜的组织特征及耐磨损性能*,崔文芳,曹栋,秦高梧,东北大学材料各向异性与织构(教育部)重点实验室,沈阳 110819,TiN单层膜和循环周期为3 cyc的Ti/TiN多层膜中TiN柱状晶SEM像,

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