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1、1,QCC短路圈會,圈會成員：圈長：賴國城 輔導員：黃貴煥 圈員：陳俊廷、龔靖城 陳溢群、陳建銘 方麒銘,2,工作進度,六月:收集不良樣本，層別不良原因。七月:對策實施、數據確認、對策修正。八月:全品目水平展開。九月:對策數據確認與修正。,3,對策品目選定,依據每月計劃投入LOT數及LOT不良率，我們選定兩個對策品目:FD0475FS0512,4,不良現況,依據取樣1142 PCS觀察分析，層別出目前FD0475與FS0512主要有下列不良現況:1.銅面上有異物沾附(膜屑)，導致銅材未被氯化銅攻擊2.蝕刻不淨3.其他因素,5,銅面上異物沾附(膜屑):70.3%,6,蝕刻不淨:19.1%(FS0
2、512),7,其他因素:10.6%,8,膜屑反沾,9,問題層別,我們將顯像後的製品烘乾，用顯微鏡觀察發現，有大量膜屑沾附。,10,觀察顯像後水洗槽的濾網，發現大量膜屑被帶出。,11,我們取樣5月份週保前後各5 LOTs做比對,12,13,故我們假設造成短路LOT不良率差異的原因為:,1.濾袋更換，提高過濾效果。2.藥水更新，提高顯像能力。3.滾輪清潔、降低反沾機率。,14,要因分析:膜屑反沾,15,對策:,1.變更滾輪排列，減少實心滾輪使用2.增加顯像藥液、濾心濾袋更換頻度3.建浴室建浴程序標準化4.調整自動添加系統，維持藥水穩定,16,變更滾輪排列,變更前,變更後,將原有放置於顯像槽與水洗槽
3、間之實心滾輪，變更為輪片式滾輪，減少滾輪與製品接觸面積，降低異物反沾之機率。將水質PH值控制於7.5以上，防止弱酸水質與帶出的顯影液再反應。,17,我們測試了12 LOTS，並與測試前做比對。,18,變更濾網網目,我們將顯像後水洗槽原本使用25網目的濾罐更換為48網目，藉以提高過濾效果。,19,濾網變更後，仍有大量膜屑帶出,分析藥水老化與溶膜量,20,顯像藥液:DOWN槽後，追蹤其葯液變化發現，自動添加系統無法維持穩定的作業濃度。,21,根據DRY FILM供應商華立的建議:,25um厚度的DRY FLIM藥水實際溶膜量(S)要 0.4m2/L,20um厚度的DRY FLIM藥水實際溶膜量(S
4、)要 0.5m2/L,依廠內生產品目去做估算:0.25m*0.3m*30%(被溶蝕率)*100(張數)=2.25 m2/lot 1000(槽體積)*0.5=500m2 1000(槽體積)*0.4=400m2 500/2.25=222 lots 20um厚DRY FILM(單面板)400/2.25=177 lots 25um厚DRY FILM(雙面板)再導入每班產出量:單面板:70 lots/班 222/70=3.17 班(約1.5天)雙面板:40 lots/班 177/40=4.43 班(約2.5天),22,我們依據華立提供的滴定方法，量測單面板機台顯影槽DOWN槽前、後實際溶膜量。,單面蝕刻
5、機(S 0.5),23,增加DOWN槽頻度、濾袋更換頻度。,1.先開立暫定條件，增加DOWN槽頻度，提高藥水溶膜能力。,2.增加濾袋更換頻度，增加顯像槽過濾能力。,24,單面蝕刻機顯象中繼槽作動測試,25,雙面蝕刻機顯象中繼槽作動測試,26,建浴室:在自動添加的測試中發現建浴室顯像藥水的調配程序未被標準化，影響測試的準確性。,27,在調整自動添加量的過程，我們導入了PH值作為顯像藥水老化與否的判定依據。條件一、自動添加設定10秒，間隔10秒 單面機台:每次補充量 625ml，平均PH值為10.57 雙面機台:每次補充量 475ml，平均PH值為10.49條件二、自動添加設定30秒，間隔30秒 單面機台:每次補充量 1980ml，平均PH值為11.12 雙面機台:每次補充量 1450ml，平均PH值為11.09,藥水商給的建議是在PH11以上，而參考旗勝的管制點是設在PH10.5以上,28,改善效益:,29,30,八月導入全品目後:,31,蝕刻不淨,32,要因分析:蝕刻不淨,33,平行度校正導入:,將平行度校正步驟標準化，並由製技人員測試完成後，再以教育訓練模式將技術移交現場推行。,平行度校正前,平行度校正後,34,FS0512平行度與BP點確認,數據量測方向,蝕刻前進方向,35,測試品目:FS0512,
