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1、制二课工艺流程/要求培训教材,1.Purpose 目的 讲述后工序各工位工艺要求,为使各工位员工尽快掌握各工序相关的工艺要求，特制定本文件。2.Scope 适用范围 后工序每个工位：前烘、包封、固化、后处理、打印、老化、外观检验、切筋。3.Procedure 流程 包括TO-92、TO-126、TO-220封装产品。,TO-92封装流程图,TO-220封装流程图,4.TechnologicalRequirements工艺要求,（一）前烘1.前烘烘箱的工艺参数；烘烤时间：40min、温度：1405、氮气：13020L/h。2.从前道下传的引线为Cu线产品24h内必须包封，其它产品36h要进行包封
2、。3.前烘后暂时不下传的要进行芯片保护，氮气开通，温度关闭。4.前烘的作用:减少应力、烘干水雾。,氮气流量,电源开关/温度显示,工艺参数表,产品摆放,（二）塑封,1.设备运行中要有光栅保护、拿取塑封料要戴手套、防止高温烫伤。2.注意各种封装型式所使用塑封料的型号、规格、及用量。3.各种封装的排片方法，92产品芯片朝上，其它朝下。L/F在预热台上预热的时间不能少于10s，机台若停机5min以上，要把预热台上的L/F重新放置在料盒里面。4.塑封过程中要确保模腔内无异物。5.塑封过程要遵照工艺参数表进行。包封后的产品12h就必须进固化站进行固化。,排片方法,模具清理,清理模具,TO-92,TO-22
3、0,6.塑封料预热温度为刚刚软化为最佳，预热好的塑封料5s必须投入模腔（预热机保护灯亮，塑封料就不要投入模腔）。7.每一模产品操作员必须要做自检，自检内容（溢料、未注满、针孔气洞、压筋等）有异常要通知当值领班。8.注进胶环易磨损（会造成未注满），正常工作15天就必须更换（维修人员执行，QC监督）,保护灯,预热好的,投入及时5s,注进胶环,9.周期清模;A.当塑封体出现脏污、更换模具、更换塑封料型号、模具长时间停机（超过48h）、生产就必须要清模。每次清模记录在清模周期表上。B.用汉高塑封料，用艾斯特清模胶条清模频率为35个工作日。每次清模量为：清5模，润1模。C.清模过程要注意胶条的摆放(一条
4、一条分开放）。润模后不要用铜刷清理模具表面（会破坏润模后模具表面的保护层）D.进行清模要调整注塑机的循环模式。E.每次清模后要确保模面无异物，再用空片式模，必须要QC确认后方可正常生产。,清模胶条排放,10.塑封料管理 A.所有塑封料必须储存于冷库中，冷库温度5。B.塑封料使用前要在常温下醒料（245），醒料时间为24h.C.第一次醒料48h使用有效期，未用完返库。第二次醒料24h必须用完，否则报废。D.醒料后的塑封料要贴上使用标签（白色/红色），并注明相关信息 E.使用塑封料要查看标签上的信息，第二次醒料的要优先使用。还要查看塑封料的型号、规格是否与机台上工艺参数表相符。注意各种封装产品使用
5、塑封料的用量。,第一次醒料标签,第二次醒 料标签,塑封料型号、规格,11.工艺参数表,A.每套模具都有一套相对应的工艺参数表，放置在机台上。严禁调整机台工艺参数。B.操作员作业前要观察模具/预热台显示温度是否异常，以及塑封料预热的温度要适当。C.塑封过程要严格遵照工艺参数表进行。QC每班要检测机台实际工艺参数是否在规定的工艺参数范围内，有异常请通知相关工艺人员。,（三）固化,1.固化的主要参数;TO-92产品固化温度为1505（实际值）、其它产品固化温度为1755（实际值）。固化时间为6h、氮气流量为13020L/h。2.2#、3#、4#烘箱作业时从烘箱第二层开始叠放。3.固化是高温作业，要注
6、意防止烫伤，必须配戴防高温手套作业。4.操作员要随时观察烘箱显示温度的变化，QC每班必须检测烘箱实际温度，有异常要及时反映相关人员。5.包封的产品要及时固化（包封后12h内）。,工艺参数表,氮气流量阀,观察温度,（四）去溢料,1.操作时要使用橡胶手套和防毒口罩，高压喷淋时严禁打开高压仓防护罩。2.工艺参数：毛刺液温度1005、溶煮时间30min，第一、第二、第三道水洗5min,第三道水洗温度为505。3.软化液每月更换一次，清理出的软化液登记记录后进行沉淀；沉淀24h后清澈的可以再次使用。4.第一道水洗漕每天换3次，8h换一次（一班一次），每班作业前更换。5.TO-220暗锡产品要经过一道酸洗
7、，酸洗时间3060s，再放入第三道水洗漕中清洗5min,6.高压喷淋条件：A.工作速度；50.5 M/m/40.5 M/m,产品装框,安全防护,毛刺液溶煮漕,三道水洗漕,B.工作压力；封装 工作压力 TO-126：1255 Kg TO-220：1455 KgTO-220（使用SI-7200DX2）：1755 Kg C.工作温度（显示值）；80100。D.所有产品在进行高压喷淋时将打印面向上，L/F之间间隔2mm紧贴导向块送入高压水喷淋机。E.TO-92产品不做后处理，但需以机械方式进行溢料处理。去溢料设备中的刮刀（4片）要求每两个工作日打磨一次。,放片方法,温度 显示,工艺参数,（六）.老化1
8、.老化的主要参数;老化温度为1505（实际值）、老化时间为2h、氮气流量为13020L/h。2.2#、3#、4#烘箱作业时从烘箱第二层开始叠放。3.老化是高温作业，要注意防止烫伤，必须配戴防高温手套作业。4.操作员要随时观察烘箱显示温度的变化，QC每班必须检测烘箱实际温度，有异常要及时反映相关人员。5.电镀回来的产品24h要进行老化。,氮气流量,温度 显示,工艺参数表,返镀工艺要求1.根据生产指示到指定位置取一批料（不可以同时取两批料）。将检验合格的产品整齐装入传递箱中，返镀产品用黑色笔做上记号。2.将本批检出的成条返镀产品用薄膜包好，附上生产批号、产品型号、芯片代码、芯片批号（Lot No）
9、与返工的原因及数量 3.把包好的返镀产品交给当班的小组长。,4.小组长将成条返镀的产品按照附卡上的生产批号、产品型号和芯片代码、芯片批号（Lot No）合批，填好返镀随工单下传到电镀线返镀。5.若一条产品上只有1只或2只需要返镀的，可以不用整条返镀，切散后再单只返镀。6.返镀回来的产品再次全检，若还要第二次返镀，就用第一次的作业流程再下传到电镀线 返镀。7.任何产品都只能做三次返镀，若第三次返镀的产品还有外观品质问题，作外观不良处理。,（八）切筋,1.设备运行要确保光栅保护、安全门工作正常。2.各种封装型式轨道速度；封装型式 轨道速度 TO-92 205 条/min TO-126 305 条/
10、min TO-220 125 条/min3.冲压力；1#、2#为油压冲压，压力设置为4510kg/cm2。其它设备为电机冲压，调节其冲压行程，视具体情况而定。4.压缩气气压；5kg/cm2,5.切筋模刀具寿命；TO-92累计作业40万次后进行更换，累计作业接近35万次时应注意观察切筋效果。TO-126累计作业25万次后进行更换，累计作业接近15万次时应注意观察切筋效果。TO-220累计作业15万次后进行更换，累计作业接近13万次时应注意观察切筋效果。TO-251/252累计作业25万次后进行更换，累计作业接近15万次时应注意观察切筋效果。,TO-220产品自动切筋打散,TO-92/126切二刀,6.ESD事项 A.机台要有良好的接地。B.在切筋过程中应严格佩戴手套并佩戴静电婉环，并确保静电婉环按要求接地。（防静电手环应定期进行测试，脚穿防静电鞋。C.操作员在进入车间前检测ESD，通过测试后方可进入车间操作。D.切筋后的产品放置在防静电塑料箱内或装管。,
