实验三厚膜混合集成电路多层化布线设计.ppt

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1、一、实验目的1 掌握厚膜混合电路厚膜多层布线的设计基本规则。掌握厚膜多层布线的制造技术。二、实验器材1精密丝网印刷机1台;2干燥炉;3烧结炉;4刻有导带、介质图形的丝网;5导体浆料,介质浆料,陶瓷基片。,实验三 厚膜混合集成电路多层化布线设计,三、实验说明1丝网印刷机网框处于垂直位置时,对基片无吸合力。2干燥炉设置网带速度为220mm/min,炉温150。3烧结炉网带速度为120mm/min。进口气幕和出口气幕为25L/min,进气一为30L/min,进气二为40L/min,排气为15L/min。各温区温度根据所选浆料的烧结曲线设置。4.采用多层布线时,要考虑浆料之间的匹配性。,四、实验内容和

2、步骤1 图形印刷 先将制作好导带图形的丝网装入丝网印刷机,固定。打开真空泵,将陶瓷基片用镊子放到丝网印刷机平台中央,使之于平台吸合。放下丝网到水平位置,调节平台高度使基片与丝网刚好接触,调节平台水平位置使丝网图形与基片精确对准,用紧固螺钉固定平台。取适量导体浆料放在丝网一端,用刮板将浆料刮过丝网图形。注意用力适当,速度均匀,保证印出的图形完整,厚度均匀。2电路流平、干燥和烧结 将印好的基片取下,水平放置约5分钟,使图形流平,然后放入干燥炉干燥。将干燥后的基片放入烧结炉,烧结过程中要注意控制气流流量,保证反应充分。,3.依次将制作好的各层电路图形的丝网装入丝网印刷机,在烧结了第一层电路的基片上印刷第二层电路图形,重复步骤2、3。直到最上层电路烧结完毕。注意印刷时选用上下层图形要精确对准,以提高电路的成品率。4.检测烧成后电路板的电气性能。,五、思考题厚膜电路中采用的多层布线技术主要有哪几种?各有什么特点?,

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