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1、E84-握手流程（中文版）-标准化文件发布号：（9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KIlE84PI/OINTERFACE概要解脱害中文版配布先-CoPYIt-SUM承恐APP作成-DRAWN神檄株式会社Rev日付内容承熬作成000.11.2初版藤原SSG佐野TranslatedbyDonLee/ASTW/TrainingCenter1 背景目的62 E84LE23之不同黠63 限制44 檄器横成65 用明86 控制信虢之槿S67 InterlockTimeout138 通信程序98.1 装载移载98.2 卸载移载119 累常检测129.1 移载勤作始前之昊常1
2、29.2 移截勤作中之昊常139.3 巽常移截重力作接之昊常149.4 GO信虢=OFF燮化229.5 昊常之彳复营1510注意事JW1511 ComIeCtOr及各信虢之分配1612 甯路SensorUnit尺寸261 背景目的半醇醴裂造工摩中，因随著晶Bl尺寸之大，戴飕重量增加及裂造工程化，有厚人以AGV/OHTj代表之自勤搬送系统(AMHS)的趣势。AMHS中、裂造装置舆OHV(台聿)藉由使用PhOtOI/O之通信、来取得Load/Unload之同步。此PhotoI/O通信保藉由SEMI规格来定羲、裂造装置及OHV需迤行遵守此规格的通信控制。SEMl规格中、SS定羲E23作:上述PhOt
3、oI/O通信规格、但於99年以E23基本而重新定羲了功能强化之E84、此E84规格有成J主流的超势。本善你官己述E84规格之概要。又，本善之f象保定迤行舆AMHS装置及半醇醴裂造装置之介面相居昌的信殳声十/管理。2 E84E23之不同黠追加/燮更於E84之JM目如下。 WHandoffSequence 同日寺HandoffSequence 追力口HClavbl信虢、ES信虢 Timer之规定 改言丁Connectorpin之分配3 限制本善僮言己述醇人於OHT系统之E84规格。因此、以下项目舆系统不相故予以割爱。,3WHandoff7同BHandoffSequence使用於速HalIdOff之
4、Timer4 横器横成Iffl4.1示本烧格之E84I/OInterface的遹用例。因4.1E84I/O介面例5用精脱明表5.1g示本耆使用之用用解lActive装置具借移载檄横之装置。遵循SEMlE23规格(C)HT系统中、OHVJg於ACtiVe装置。)Passive装置藉由Active装置来迤行移载之装置。遵循SEMIE23规格Passive装置包含加工装置/Stocker等。本善中、PaSSiVe装置保典装置同羲。AMHS装置(=AutomatedMaterialHandlingSystem)具有可在Passive装置搬送载之功能的装置。RGV:RailGuidedVehicles/
5、AGV:AutomatedGuidedVehicles/OHT:OverheadHoistTransportsP表示Active装置、正迤行Handoff中。ON:正迤行HandOff中。OFF:非迤行Hanck）ff中。Passive装置在READY=ON状憩、可始迤行HandoffH寺、Active装置）符使本信虢ONoHandoff中Passive装置不可迤行任何物理性勤作。SPassive装置招L_REQ（或U_REQ）信虢OFF、IS束Handoff畤、Active装置即揩本信虢OFFo（此畤、把持装置需退出至干涉l三域之外）COMPT(=CompIeteTransfer)Hando
6、ff幺吉束A=P表示Active装置已幺吉束Handoff操作。ON:已幺吉束Handoff0OFF:尚未吉束Handoff0常结束Handoff操作畴（Active装置符BUSY信虢OFF）、ACtiVe装置即揩本信虢ON。PaSSiVe装置在硅到READY三OFF彳爰、Active装置即符本信虢OFFoCONT(=ContinuousHandoff)HandoffAnP表示有HandoffoON:表示速Handoff持中。OFF:辗速Handoffo常有速Handoff日寺、根摞最初移载畤Passive装置之BUSY=ONActive装置即符本信虢ON、根摞最彳爰移载畤Passive装置之
7、BUSY二ON、Active装置即符本信虢OFFoXOHT系统中、现在不使用本信虢。HO_AVBL(=HandoffAvaiIable)可HandoffPnA表示Passive装置装置可迤行Handoff0又亦有表示Passive装置存在某槿昇常之情形。ON:可配合Handoff。OFF:存在某槿昊常辗法配合Handoffo本信虢保在IIfi始迤行Handoff操作前、向Active装置表示PaSSiVe装置之状憩。常PaSSiVe装置正常畴、本信虢ONoPassive装置检测到CS_O信虢所指定之LoadPort存在某槿昇常暗、藉由ACtiVe装置符VALID信虢ON或TR_REO信虢ON、
8、Passive装置即揩本信虢OFFo又富横浏侄既亥Passive装置之其他Loadport有昇常畤、本信虢亦可能OFF。所常保指熊正硅地迤行载Ii椀测。Passive装置一直停留於ManUaIModeoPassive装置辗法配合Handoff之状憨。ES(二EmergencyStop)聚急停止PnA保要求聚急停止Active装置之勤作。ON:正常操作OFF：要求聚急停止Passive装置判危尤兄畤、立即停止Handoff而符本信虢OFFo所危（尤兄保指恐及资源或裂造物畴。封作渠工程曾造成害之情形。赞生Handoff-Interlock巽常之情形O常按下Passive装置俱IJ之ES（或EMO）
9、按B寺。通常、ACtiVe装置在VALlDONOFF之本信珑O7InterlockTimeoutACtiVe装置但IJ之Timer(TA=TimerofActiveequipment)及PaSSiVe装置假IJ之Timer(TP=TimerofPassiveequipment)如表7.1及表7.2所示。各Timer、保以椀测装载/卸载H寺Interlock之昇常J目的。TimerTimer之期Gffl（秒）覆音殳值（秒）TA1VALIDONL_REOONVALIDONU_REQON1-9992TA2TR-REOONREADYON1-9992TA3COMPTONREADYOFF1-9992表71
10、ACtiVe袋置之Timer莪72PaSSiVe装置所盛视之TimerTimer盛视Timer之期(秒)覆言殳值（秒）TP1L_REQONTR_REQONU_REQONTR-REQON1-9992TP2READYONBUSYON1-9992TP3BUSYONCARRIERDETECT（卸载移载始=至检测到戴飕止）BUSYONCARRIERREMOVE（装载移载始=至取走载止）1-99960TP4L_REQOFFBUSYOFFU_REQOFFBUSYOFF1-99960TP5READYOFFVALIDOFF1-99928通信程序8.1 装戟移载装载移载畤PhotoI/O之TimingChart如
11、圄8.1所示、Active装置舆Passive装置FS之通信内容如表8.1所示。18.1装1之通信内容Step信虢名信虢方向作明CS_0ONAnP常Active装置到蓬要迤行装载移戴之Passive装置畤、即使用CS-0信虢来指定移截封象之LoadportoVALIDONAnP表示可典以CS_O信虢所指定之Loadport暹行通信。U_REQONP=A在完成优PaSSiVe装置之LoadpOrt使FOUP（ACtiVe装置逛行装载移截）之津借畤、即符LREQ信虢ON。TR_REQONA=PActive装置封Passive袋置假IJ要求始移载。READYONPnAPassive袋置低1封Acti
12、Ve袋置表示已完成移裁之型倩。BUSYONA=P始移载。U_REQOFFPnA常优Loadport上FOUP被完全取走畤、PaSSiVe装置侧印符LREQ信虢OFFoBUSYOFFA=P常结束移裁操作且脱雌典PassiVe袋置保J干涉之显域H寺、即符BUSY信虢OFFoTR_REQOFFAnP常BUSY信虢OFF畤、即符本信虢OFF。COMPTONA=P通知PassiVe装置已结束装载移载。READYOFFPnA常硅熬到COMPT信就ON接、即符本信航OFF。COMPTOFFAnP富到READY信虢OFF接、即符本信虢OFF。VALIDOFFA=P常硅熬到READY信虢OFF7爰、即符本信虢O
13、FF。此畴、即结束ACtiVe装置OPaSSiVe装置之通信。CS-OOFFA=P富硅熬到READY信虢OFF彼、即符本信虢OFF。8.2卸载移载卸载移载畴PhotoI/O之TimingChart如圄8.2所示、Active装置舆Passive装置fJ之通信内容如表8.2所示。B8.2 卸i：之 Timing Chart信虢名信虢方向Timingcs_oActive装置=PaSSiVe装置飞人VALID/TR_REQ1A9BUSY个/COMPT1/V7IREADYPassive装置=ACtiVe装置Oiz11(111L_REQJU_REQiIIIIH0_AVBLIIIIIES!iIIII.Ti
14、merACtiVe装置TimerTAlyATA2TA3PaSSiVe装置TimerVAVAVVTPlTP2TP3TP4VATP5作内容ACtiVe装置到逢始通信一辞始钊戟移金飕正硅地移至可.幺吉荣移栽)IJ吉荣浦信J表8.2卸!:之通信内容Step信虢名信虢方向三作明CS_0ONAnP常Active装置到蓬要迤行卸载移戴之Passive装置畤、即使用CS-0信虢来指定移栽封象之LoadportoVALIDONA=P表示可典以CS_O信虢所指定之Loadport暹行通信。L-REQONP=A自完成符FOUP徙Passive装置之Loadport装裁（Active装置选行卸载移截）之津借畤、即符J
15、REQ信虢ON。TR_REQONA=PActive装置封PassiVe装置向J要求始移截。READYONPnAPassive袋置封Active袋置表示已完成移载型倩。BUSYONA=P始移载。L_REQOFFPnA常FOUP正硅地袋载於Loadport上畤、PassiVe装置保J即耨L.REO信虢OFFoBUSYOFFA=P在结束移截操作且脱雌舆PassiVe袋置间J之干涉显域H寺、即符BUSY信虢OFFoTR_REQOFFAnP常BUSY信虢OFF畤、即符本信虢OFF。COMPTONA=P通知Passive爰置f即已结束卸载移戴。READYOFFPnA常碓熬到COMPT信虢ON接、即符本信虢
16、OFF。COMPTOFFA=P常硅熬到READY信虢OFF7爰、即符本信虢OFF。VALIDOFFAnP富硅到READY信虢OFF彼、即符本信虢OFF。此除即加束ACtiVe袋置OPaSSiVe装置之通信。CS_OOFFA=P常硅熬到READY信虢OFF接、即符本信虢OFF。9累常耐以下聚例明OHT系统在Handoff中樊生昊常之模式。91移载勤作始前之累常DOHV员隹已到蓬封象POru但不始谨行移载而立即通谩。原因：装置尚未完成移载型借（ManUalMOde等）或在昇常状憩。信号虎燮化：一直霓於HeLAVBL=OFF或ES=OFF之状SM（亦可能雨者皆。FF）。信虢名信虢方向Timingcs
17、_oOHV=装置VALIDREADY装置=OHVV7HO.AVBLES勤作内容rOHV到逢始通信（一后於M_avbLIOFF1I故结束通信J追：若Loadport未Teaching亦曾有同檬垣象、而未款I行E84I/F即结束搬送。2）已到逵f象Port、员宦短暂待檄但未始迤行移载即通谩。原因：装置尚未完成移载型倩等。或在READY=ON前HO-AVBL=OFFo信虢燮化：TAl或TA2彝生Timeout彳爰、使OHV俱IJ之信虢全部OFF。（以下之TimingChart中、J在TA2Timeout0o）READY装置=OHVL_REQU.REQ-1HO_AVBLESTimerOHVTimerT
18、AlTA2装置TinlerY_TPIS作内容OHV到透I等待READYoNIl始通信JITA2TinIeOUtJU束通信19. 2移戴勤作中之昊常D在GriPPer升降中或中OHV燮成累常状憩、而中止移载勤作。a）OHV检测到累常。原因：在OHV彝生了某槿臭常（偏雕Teaching位置谓晃横知/在荷ON=OFF燮化等）。信虢燮化：使OHV俱IJ之信虢全部OFF之接、使HO-AVBl=OFF或ES=OFFob）装置检测到昊常。原因：装置因某槿昊常而要求聚急停止（按下EMO/在荷Sensor不一致等）。信虢燮化：H0_AVBL=0FF或ES=OFFo（亦有雨者皆OFF之情形、依装置格而不同。）信虢
19、名信虢方向Timingcs_ol*VALID2UrlV=装直TR.REQ_1BUSYL-八，i/IVZ：!READYi_LLjU-REQ袋置=OHV:M门bH0_AVBL!11!：;i!i：MESunnuTimerOHVTimerAVATAITA2装置TilnerTPIyATP2重力作内容rOHV至腌通信始彝生累常（袋置）一聚急停止J.思常幺吉束一2）东吉束卸载彳缸GriPPer打不叫原因：LOadPOrt之在荷状熊典勤作状憩不一致。（卸载移载虽隹已冬吉束但L_REQ未OFF。）信虢燮化：TP3彝生Timeout接、OHV亦一直等待L_REQ=ON=OFFo9.3移载勤作接之累常D结束装载/卸
20、载移载接、短暂停留彳爰重新f三始移勤。原因：装置俱IJ未硅熬到OHV之移载结束通知。或硅熬谩邂。（COMPT=ON.超谩指定日寺亦未READY=OFF。）U_REQHO_AVBLESTimerOHVTimer-C-TAiVATA2YTA3装置TinlerTPITP2TP3TP4勤作内容OHV到逵R,fsssFOUP已不在POrt，FrJ待READYOaI、I通信前始JI奘截移截降IJ工JTA3TimeOmJLJ9.4GO信虢=OFF燮化D突然昇常留吉束。原因：DeViCe破损、SenSor光遮断、外部光之干涉等。信虢建化：Go信虢崖生ON=OFF燮化、通信中之所有信虢皆被ReSeL其彳发即不再
21、迤行通信。信虢名信虢方向Timingcs_oOHV=装置AVALIDTR-REQBUSY/Tl1fKREADY袋置=OHV口7./1U-REQH0_AVBL_ESTimerOHVTimer=1TA2装置Tilnerl*TPlTP2S作内容IOHV到逵、通信始GO信虢OFF_信虢ReStJXGO信虢倍i用来硅熬光信虢被正碓地被接收的信虢。 光信虢受信畴ON 光路遮断畤（非受信畤）OFF9. 5昊常之彳复营以下明OHT系统之彳复营方法。收集OHV之EVemLog以探尊臭常原因。（最好优彝生现状及LOg来判断。）找出昊常模式彳友再迤行徨营作渠。OHV之便营如以下所示。a）自ST停止彼到等待READY
22、=ON期装置若符H（LAVBL=OFFH寺、OHV即幺吉束E84程序自重力迤行便营彳爰再始移勤。TA3Timeout彝生彳爰亦迤行同檬之虞理。（移载中若OFFIl寺、即迤行舆bCo_lJP2144TRRFCTRRFC5JLIV_IXJL/BUSYRUSYANCOMPTCOMPTV7D*7CONTCONT/O/C1InputOutput1L_REQL_REQ22U_REQU_KBQ33MCcREADYMvREADYNr*4455NCMHO-AVRIHO-AVBLO7O7Fq_ES/如NC(NOtCOnneCted)未使用ReSerVed依装置之不同有可能被使用之,Pin。E84P1/0中期未使用。12甯路BSSensorUnit尺寸光I/O装置之甯路IS如圃121所示、StraightCable之甯路圄如圄12.2所示。又、SensorUnit之尺寸如圃12.3所示。ActivePassiveIN1IN1OUT1IN2OUT2I/OCOM+VIN-VINX+VINDCOM-VINDUT2OUT2IN2OUT1DUT1IN1aai2.1光o果r之甯路BlSensorUnit之最大尺寸以mm示。此尺寸包含突起部分。H=100mmD=25mmBB12.3SenSorUnit之尺寸
