CVD钻石及半导体材料、金刚石生产环评报告表.docx

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1、建设项目环境影响报告表(污染影响类)项目名称:CVD钻石及半导体材料、金刚石生产建设单位(盖章):湖南良诚新材料科技有限公司编制日期:二零二二年十月一、建设项目基本情况建设项目名称CVD钻石及半导体材料、金刚石生产项目代码2020-430502-30-03-074870建设单位联系人曹晓君联系方式13908429160建设地点湖南省邵阳经济开发区电子信息产业园标准厂房B区第8栋地理坐标(经度:Ul度33分23.943秒,纬度:27度15分50.429秒)国民经济行业类别C3099其他非金属矿物制品制造建设项目行业类别二十七、非金属矿物制品业30石墨及其他非金属制品制造309建设性质囱新建(迁建

2、)口改建口扩建口技术改造建设项目申报情形国首次申报项目口不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目口重大变动重新报批项目项目审批(核准/备案)部门(选填)邵阳经济开发区管理委员会项目审批(核准/备案)文号(选填)邵经开审批(产)发2020149号总投资(万元)30000环保投资(万元)26环保投资占比()0.087%施工工期项目预计2022年11月开始建设,2022年12月完工,工期2个月是否开工建设回否是:用地(用海)面积(m2)1700(备案显ZK为租赁标准厂房100oom2,实际租赁厂房建筑面积约5000m2,占地面积约为1700m2)专项评价设置情况无规划情况规划名称:邵阳经济开发区(双

3、清园区)控制性详细规划(2021年修改);说明:该规划由邵阳市宝庆工业集中区(一-期)控制性详细划、邵阳市宝庆工业集中区(二期)控制性详细规划合并而来,并体现主区用地。邵阳市宝庆工业集中区(二期)控制性详细规划于2016年4月29日由邵阳市人民政府批准实施。2019年9月邵阳经济开发区对规划进行二次调整,湖南省人民政府以“湘政函202084号”文件审批通过。规划环境影响评价情况本项目位于湖南省邵阳经济开发区双清园区电子信息化产业园内,其规划环境影响评价文件名称:邵阳经济开发区规划环境影响报告书;审查机关:湖南省环境保护厅;审查文号:湘环评函201718号。规划及规划环境影响评价符合性分析规划符

4、合性分析,邵阳经济技术开发区总规划面积19557k西至昭阳路,南至衡邵怀铁路、东至洛湛铁路、北至国道G320。园区工业用地1301.8298ha,本项目生产用地位于邵阳经济开发区双清园区电子信息产业园内B区第8栋,建设用地性质属于工业用地,用地符合规划要求。规划环境影响评价符合性分析:建设项目位于邵阳经济开发区双清园区电子信息产业园内,根据邵阳经济开发区规划环境影响报告书审查意见湘环评函201718号,邵阳经济开发区规划主导产业为食品、纺织、医药、先进装备制造(主导),禁止引入电镀企业、工艺落后或污染严重的原料药制造业、制浆制造业、造纸业、制革业、有染整工段的纺织品制造业等重污染企业,核减规划

5、三类工业用地规模,在城规调整未落实前,不得引进三类工业企业。本项目为非金属矿物制品制造,不属于以上禁止类、限制引入工业企业,符合邵阳市经济开发区规划及其审查意见要求。本项目与“关于邵阳经济开发区规划环境影响报告书的审查意见”相符性如下:表1-1本项目与园区规划环评审查意见相符性分析一览表序号审查意见内容项目情况相符性分析1进一步优化规划布局,对经开区内各功能区相对集中布置,严格按照功能区划和报告书提出的优化调整建议进行有序开发建设,处理好经开区内部各功能组团及经开区与周边农业、生活、配套服务等各功能组团间的关系,充分利用自然地形和绿化隔离带使各功能区隔离,确保功能区划明确、产业相对集中、生态环

6、境优良,减轻功能区相互干扰影响。本项目位于邵阳经济技术开发区双清片区的东盟科技产业园,周边以己建成的工业企业厂房为主,与规划的居住区有厂房阻隔,互不干扰相符2落实规划环评产业准入条件清单。按环评建议要求,经开区应加快产业转型升级,调整产业定位向先进装备制造业为主的特色主导产业发展。管委会应按照环评提出的产业准入条件严格实行新建项目准入控制,禁止引入电镀企业、工艺技术落后或污染严重的原料药制造业、制浆制造业、造纸业、制革业、有染整工段的纺织品制造业等重污染企业。加强对现有企业的监管,确保满足达标排放、污染物总量控制及一类污染物车间排口达标要求。本项目不属于电镀企业、工艺技术落后或污染严重的原料药

7、制造业、制浆制造业、造纸业、制革业、有染整工段的纺织品制造业。本项目所在区域具备完善的污水收集管网,污废水排入进站路污水处理厂处理,满足废水进管要求。废气量较少,可达到无组织排放限值。相符3重点解决经开区排水制约因素,邵阳经开区位于资江晒谷滩电站上游,宝工区区域自然排污由红旗渠汇入邵水再进入资江,目前直接纳污水体红旗渠已无环境容量。经开区应严格按照规划环评要求切实加快区域管网、污水处理厂等环保公建基础设施建设,按政府承诺在2017年年底前完成进站路污水处理厂的建设并投入使用,污水处理厂尾水设专管排入资江;在污水处理厂建成接管运营前,不得新建新增排放废水污染物的项目。目前,进站路污水处理厂排水通

8、过专管排入资江,本项目所在区域具备完善的污水收集管网,污废水可排入进站路污水处理厂处理相符4按国家大气污染防治行动计划和邵阳市地方大气污染防控政策落实经开区能源结构调整,全面推广清洁能源;做好经开区工业固体废物和生活垃圾的分类收集、转运、综合利用和无害化处理,建立统一的固废收集、贮存、运输、综合利用和安全处置的运营管理体系。推行清洁生产,减少固体废物产生量;加强固体废物的资源化进程,提高综合利用率;规范固体废物处理措施,对工业企业产生固体废物特别是危险废物应按国家有关规定项目主要使用电能。项目固废按一般固废、危险废物和生活垃圾分类进行“资源化、减量化、无害化”处置,可有效避免产生二次污染。相符

9、综合利用或妥善处置,严防二次污染。综上,项目与园区规划及规划环境影响评价审查意见相符。1、“三线一单”相符性分析(1)生态保护红线相符性项目位于邵阳经济开发区双清园区电子信息产业园内,规划为工业用地,对照湖南省生态保护红线湘政发(2018)20号文件要求,规定湖南省生态保护红线空间格局为“一湖三山四水”,与本项目距离最近的生态保护红线为资江,水干支流的禁止开发区域如饮用水水源保护区、湿地公园、水产种质资源保护区等生态功能极重要区域也纳入了生态保护红线。资江位于项目西侧,距离约6.64公里,本项目不涉及生态保护红线,符合邵阳市生态保护红线要求。(2)环境质量底线相符性项目选址区域为环境空气功能区

10、二类区,执行二级标准。根据环境空气质量常规点的监测数据,PMoSO2、O3、CO和No2均达到环境空气质量标准(GB3095-2012)中二级标准要求,其他符合性分析PM2.5超过环境空气质量标准(GB3095-2012)中二级标准,六项污染物全部达标即为城市环境空气质量达标,因此判定项目所在区域属于不达标区。本项目大气污染物主要为颗粒物、非甲烷总嫌,会对区域大气环境质量底线造成一定的冲击,项目建设方应严格落实本环评中提出的各项污染物防治措施,确保污染物达标排放,减少对区域大气环境的影响。根据地表水监测结果表明:本项目纳污河流资江,监测因子均满足GB3838-2002地表水环境质量标准中In类

11、标准,表明地表水环境现状较好,具有一定的环境容量。根据噪声监测结果表明:昼、夜间敏感点声环境质量均满足GB3096-2008声环境质量标准相应标准。根据邵阻经济开发区环境功能区划,项目所在区域环境空气执行环境空气质量标准(GB3095-2012)表1中的二级标准,地表水执行地表水环境质量标准(GB3838-2002)中的In类水质标准,声环境执行声环境质量标准(GB3096-2008)3类标准。项目对产生的废水、废气治理之后能做到达标排放,固废可做到无害化处置,噪声经隔声、减震后能满足质量标准。采取本环评提出的相关防治措施后,项目排放的污染物不会突破区域环境质量底线。因此,项目的建设符合区域环

12、境质量底线的要求。(3)资源利用上线相符性本工程属于非金属矿物制品制造项目,项目位于工业园区,市政电网、自来水、天然气均已接通,项目所使用的资源都能得到满足,区域资源较为充足,故项目的实施在资源利用线上方面没有制约因素,也不会对区域资源造成冲击。因此,项目的建设符合区域资源利用上线的要求。(4)生态环境准入清单生态环境准入清单是基于生态保护红线、环境质量底线和资源利用上线,以清单方式列出的禁止、限制等差别化环境准入条件和要求。经查询市场准入负面清单(2022年版本)、湖南省新增19个国家重点生态功能区产业准入负面清单、湖南省长江经济带发展负面清单实施(试行)文件可知,项目不在其禁止准入类和限制

13、准入类当中。(5)与湖南省人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见(湘政发202012号)相符性分析根据湖南省人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见(湘政发202012号)文件要求:落实生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线硬约束,根据生态环境功能、自然资源禀赋、经济与社会发展实际,对环境管控单元实施差异化生态环境准入管理,坚持省级统筹、区域协调、上下联动,建立和完善生态环境数据共享体系及成果应用机制,定期评估并动态更新。本项目位于湖南邵阳经济开发区双清园区内,项目所在地属于省级重点开发区域,严格执行生态环境分区管控,与文件要求相符。因此,本项目的建设与国家和地方的产业

14、政策相符,不违背负面清单管控要求。综上,本项目符合“三线一单”要求。2、产业政策(1)新建项目为CVD钻石及半导体材料、金刚石生产,属于国民经济行业分类(GBT47542017)及第1号修改单中“C3O99非金属矿物制品制造”。对照产业结构调整指导目录(2019年本)分析,本项目产品、生产工艺、生产设备及规模不属于限制类和淘汰类项目,故符合国家产业政策要求。(2)与湖南省环境保护条例(2020年1月1日起施行)中相符性分析根据湖南省环境保护条例中第二十二条:除在安全或者产业布局等方面有特殊要求的以外,新建有污染物排放的工业项目,应当按照规定进入工业园区或者工业集聚区。本项目属于新建有污染物排放

15、的工业项目,位于邵阳经济开发区内,用地性质为工业用地,项目所在地属于工业集聚区,邵阳经济开发区规划主导产业为食品、纺织、医药,禁止引入电镀企业、工艺落后或污染严重的原料药制造业、制浆制造业、造纸业、制革业、有染整工段的纺织品制造业等重污染企业,限制三类工业入园。因此,项目符合湖南省环境保护条例中第二十二条要求。(3)关于与邵阳市“十四五”生态环境保护规划有关VOCS污染防治要求符合性分析表1-2项目与邵阳市“十四五”生态环境保护规划有关VoCS污染防治要求符合性分析邵阳市“十四五”生态环境保护规划建设项目实际情况符合性分析以工业涂装、石化、化工、包装印刷、油品储运销等行业为重点,实施企业VOC

16、S原料替代、排放全过程控制。本项目为非金属矿物制品制造,仅使用少量乙醇作为清洗剂符合按照“分业施策、一行一策”的原则,加大低VOCs含量原辅材料的推广使用力度,从源头减少VOCS产生。推进使用先进生产工艺设备,减少无组织排放。本项目仅使用少量乙醇作为辅料生产,项目VoCS符合无组织排放条件符合实行重点排放源排放浓度与去除效率双重控制。项目VOCs无组织排放,不涉及重点排放源及去除效率符合加强汽修行业VOCS综合项目为非金属矿物制符合治理,加大餐饮油烟污染治理力度,推进城市餐饮油烟治理全覆盖品制造,不涉及汽修及餐饮行业(4)与关于印发2020年挥发性有机物治理攻坚方案的通知符合性分析表L3项目与

17、2020年挥发性有机无治理攻坚方案的通知符合性分析(2020年挥发性有机无治理攻坚方案污染防治要求项目实际情况符合性分析大力推进源头替代,有效减少VOCs产生严格落实国家和地方产品VoCS含量限值标准。项目生产过程中严格执行大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2中排放限值标准符合大力推进低(无)VOCs含量原辅材料替代项目生产过程中仅使用少量乙醇作为清洗剂符合全面落实标准强化无组织排放控制2020年7月1日起,全面执行挥发性有机物无组织排放控制标准,重点区域应落实无组织排放特别控制要求。企业在无组织排放排查整治过程中,在保证安全的前提下,加强含VOCS物料全方位、全链条、全环节

18、密闭管理。项目生产过程中严格执行大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2中排放限值标准,要求企业采取加强管理,密闭厂房的污染防治措施符合引导石化、化工、煤化工、制药、农药等行业企业合理安排停检修计划。项目不属于石化、化工、煤化工、制药、农药等行业符合聚焦治污设施“二案”.提升综合治理效率组织企业对现有VoCS废气收集率、治理设施同步运行率和去除率开展自查。项目VOCs满足无组织排放要求,要求企业采取加强管理,密闭厂房的污染防治措施符合按照“应收尽收”的原则提升废气收集率。项目VOCs满足无组织排放要求符合深化园区和集群整治,促进产业绿色发展重点针对烯煌、芳香煌、醛类等03生成潜势

19、大的VOCS物种,确定本地VoCS控制重点行业,组织完成涉VoCS工业园区、企业集群、重点管控企业排查,明确VOCS主项目不属于本地VOCS重点控制企业符合要产生环节,逐一建立管理台账对存在突出问题的工业园区、企业集群、重点管控企业制定整改方案,做到措施精准、时限明确、责任到人。/符合强化油品储运销监管,实现减污降耗增加大汽油、石脑油、煤油以及原油等油品储运销全过程VOCS排放控制项目生产不涉及大汽油、石脑油、煤油以及原油等油品符合坚持帮扶执法5口口,有效提高监管效能加快完善环境空气VOCs监测网要求企业按照相关内容进行废气监测符合加强污染源VOCS监测监控(5)与湖南省大气污染防治条表1-4

20、与湖南省大气污染U例符合性分析宁治条例符合性分析序号政策要求项目内容符合性1在大气污染重点区域城市建成区内禁止新建、扩建钢铁、水泥、有色金属、石油、化工等重污染企业以及新增产能项目。本项目属于非金属制品制造业符合2应当在长沙市、株洲市、湘潭市和其他大气污染防治重点区域提前执行国家大气污染物排放标准中排放限值。本项目位于邵阳市符合邵6三经济开发区土地利用规划见附图6。二、建设项目工程分析建设内容1、项目概况根据市场调研,结合自身发展需要,湖南良诚新材料科技有限公司拟投资30000万元人民币在湖南省邵阳市邵阳经济开发区双清园区电子信息产业园内新建CVD钻石及半导体材料、金刚石生产项目。根据建设单位

21、提供的租赁协议可知,企业用地面积约1700m2,购进微波等离子体化学气相沉积设备、冷水机、氢气发生器等设备,进行合成钻石加工生产。项目建成投产后,预计建设无尘CVD钻石生产线5条,形成年产五十万克拉(100kg)CVD钻石。本项目己取得湖南省邵阳经济开发区管理委员会备案(邵经开审批(产)发2O2OI49号)。本项目为CVD钻石及半导体材料、金刚石生产,属于国民经济行业分类(GB/T4754-2017)及第1号修改单中“C3099非金属矿物制品制造”,对应于建设项目环境影响评价分类管理名录(2021年版)中“二十七、非金属矿物制品业60石墨及其他非金属制品制造309”,其中“石棉制品;含焙烧的石

22、墨、碳素制品”编制报告书,“其他”编制报告表。本项目为CVD钻石及半导体材料、金刚石项目,生产工艺主要是对金刚石基体进行化学沉积等操作后,再经过检验、包装成品,不涉及电镀和喷漆,因此需编制环境影响报告表。表2/建设项目环境影响评价分类管理名录摘抄、环评类别项目类别报告书报告表登记表二十七、非金属矿物制品业3060耐火材料制品制造308;石墨及其他非金属矿物制品制造309石棉制品:含焙烧的石墨、碳素制品其他/H目环加环境不委托Z份有B况,V特性名影响白依据,Q据中华人民共和国环境保护法、中华人酊呆护管理条例(国务院第682号令)等于影响的建设项目都必须执行环境影响评价制度匚苏圣泰环境科技股份有限

23、公司就该项目进行环力艮公司接受委托后,认真研究了该项目的有关簌可查、收集有关建设项目资料的基础上,根据项亨因素,编制了本项目环境影响报告表。通过环,勺程度和范围,并提出环境污染控制措施,为建一报请环保主管部门审批。关共和国环境影响评彳有关环境法律、法规I为此,湖南良诚新,境影响评价工作。江:E料,在踏勘现场的未目所在区域的环境特彳境影响评价,阐明建1IS项目的工程设计和习介法、建设项的规定,凡实施对材料科技有限公司苏圣泰环境科技股上会、自然环境状正、结合工程污染殳项目对周围环境环境管理提供科学2、项目基本情况(1)项目名称:CVD钻石及半导体材料、金刚石生产项目;(2)建设单位:湖南良诚新材料

24、科技有限公司;(3)建设地点:湖南省邵阳市双清区邵阳经济开发区电子信息产业园内(具体地理位置见附图1);(4)建设性质:新建;(5)投资总额:30000万元,环保投资26万元,占总投资的0.087%;(6)占地面积:1700平方米;(7)职工人数:100人;(8)工作制度:企业年运行350天,三班工作制,每班八小时;3、项目主要建设内容及规模(1)项目组成项目位于邵阳市经济开发区云水路与世纪大道交汇处,属于湖南省邵阳经济开发区范围内,对照邵阳经济开发区土地利用规划图分析,项目所在地属于工业用地。项目总投资30000万元,占地面积1700m2,建筑面积约500Om建设内容主要有:1栋主体生产厂房

25、,共三层,第一层和第二层主要是清洗、钻石气相沉积车间,第三层激光切割、抛光车间和成品包装。项目工程内容由主体工程、辅助工程、储运工程、公用工程、办公及生活设施以及环保工程组成,具体组成见表2-2。表22项目建设内容一览表序号工程名称建设内容建设规模备注1主体工程1栋厂房厂房占地面积约1700m2,总建筑面积约5000m2,1楼、2楼生产内容为清洗、钻石气相沉积;3楼生产内容为激光切割、抛光和成品包装。新建,规格80m*21m,单层高4m,共三层2辅助工程办公区钢筋混凝土结构,办公室总占地面积约IoOm2,位于一楼新建生活区钢筋混凝土结构,设有食堂,食堂在三楼,占地面积约100m2新建3公用工程

26、供水工业园区供水系统提供依托现有供电工业园区供电系统提供依托现有排水经污水管网排入进站路污水处理厂进行处理依托现有4环保工程废水防治措施隔油池+化粪池,1座,5.12m3d,隔油池尺寸长*宽*高(m):2*1*1;化粪池尺寸长*宽*高(m):4*1*2生活污水、食堂废水经隔油池及化粪池处理后接管园区污水管网排入进站路污水处理厂进行处理废气防治措施乙醇废气通风切割、抛光废气食堂油烟经油烟净化器处理后排放,净化效率60%,风量8000m3h一套油烟净化器及专用烟道CVD沉积尾气通风、禁明火固废防治措施一般固废:设30固废暂存间1处,位于生产车间一楼内新建,炉壁沉积碳和生活垃圾交由环卫部门清运,一般

27、固废外售或者回用利用噪声防治措施基础减振、隔声新建(2)厂区平面布置项目位于湖南省邵阳市邵阳经济开发区电子信息产业园内,项目占地面积约1700m2,总建筑面积为5000m2o建设内容包括1栋3层生产厂房、办公区、食堂等。其中厂房1层和2层主要为原料清洗区、钻石气相沉积区,3层为激光切割、抛光车间和成品包装,原料仓库分布在1层和2层,成品仓库在3层;厂区分别在北面和南面设置有出入口,其中北出入口为前门,南出入口为后门。厂房内部设置万级无尘洁净车间,洁净区包含生产车间(除原辅料仓库、固废仓库和办公室之外),具体项目总平面布置详见附图2。(3)场地现状及周边环境根据现场勘查,项目整个地块呈矩形,北面

28、靠近云水路,隔路为空地;东面靠近东联络线,隔路为浏阳村;南面IOm处为小路冲村民房(己搬迁);西面靠近世纪大道,隔路为荷兴村和孟公庙等。项目周边环境概况见附图3。(4)产品方案及规模项目主要进行CVD钻石及半导体材料、金刚石生产,预计年产合成钻石50万克拉。项目具体产品产能一览表详见表2-3。表23建设项目产品方案序号产品名称规格尺寸年产量年运行时间1合成钻石规格:长X宽7979mm,厚度0.5lmm50万克拉,100kg三班制,每班八小时,共计840Oh(5)原辅材料及主要设备本项目主要原辅材料使用量见下表。表24建设项目原辅材料清单一序号.名称规格成分年用量最大存储量储存位置备注1Z气氢气

29、40000m3,3.56t115m3,0.010235t氢气发生器来源于氢气发生器,用超纯水制备,自制2甲烷甲烷,401贯/瓶3200m3,2.2944t80m0.05736t气瓶(气体房)钢瓶装3二氧化碳二氧化碳,40m3/瓶160m0.3195(40m3,0.079875t气瓶(气体房)钢瓶装4金刚石晶体碳(1.8gcm3),每片规格:66mm,厚度0.4mm,1000片/袋400000片,IOkgIOkg原料仓库袋装5乙醇乙醇,500mL瓶1800mL,1.44kg1000mL,0.8kg原料仓库瓶装6超纯水超纯水,50OmL/瓶7200mL.7.178kg100OmL,0.997kg原

30、料仓库来源于自来水过滤生成,自制7研磨膏复方薄荷脑软膏,25kg瓶100kg25kg原料仓库瓶装本项目主要原辅材料理化特性见下表。表2-5主要原辅材料理化毒理性质名称理化特性燃烧爆炸性毒理毒性氢气氢气,化学式为H2,分子量为2.01588,常温常压下,是一种极易燃烧的气体。无色透明、无臭无味且难溶于水的气体。氧气是世界上已知的密度最小的气体,氢气的密度只有空气的1/14,即在1标准大气压和OC,氢气的密度为0.089gL,爆炸极限体积浓度4.0%75%,易燃;爆炸极限4.0%-75%;自燃点500。毒性低,高浓度时因氧分压低而具有窒息作用,接触液态氢已引起冻伤。甲烷甲烷是一种有机化合物,分子式

31、是CH4,分子量为16.043。甲烷是最简单的有机物,也是含碳量最小(含氢量最大)的烧。甲烷在自然界的分布很广,是天然气,沼气,甲烷的密度为0.717gL,爆炸极限体积浓度5.0%15%易燃;爆炸极限5%15%。自燃点5370气态的甲烷对人类的毒性比较低,主要表现为在高浓度时有窒息作用。对人类无致癌作用,IARC将其归类为3。二氧化碳二氧化碳(carbondioxide),一种碳氧化合物,化学式为CO2,化学式量为44.0095,常温常压下是一种无色无味2或无色无臭而其水溶液略有酸味的气体,也是一种常见的温室气体,还是空气的组分之一(占大气总体0.03%-易燃,爆炸极限无意义无毒0.04%),

32、气态密度为.997gLo僦气氯气是一种无色、无味的单原子气体,相对原子质量为39.948,一种惰性气体,在常温下与其他物质均不起化学反应,在高温下也不溶于液态金属中,密度1.784kgm不易燃常压下无毒乙醇常温常压下是一种易燃、易挥发的无色透明液体,低毒性,纯液体不可直接饮用;具有特殊香味,并略带刺激;微甘,并伴有刺激的辛辣滋味。易燃,其蒸气能与空气形成爆炸性混合物,能与水以任意比互溶。能与氯仿、乙醛、甲醉、丙酮和其他多数有机溶剂混溶,密度为0.8gmlo易燃有毒超纯水又称UP水,是指电阻率达到18MQ*cm(25)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二嗯英等有

33、机物,儿乎去除氧和氢以外所有原子的水,25下密度为0.997g8?。不易燃有毒本项目主要设备见下表。表2-6主要设备一览表序号设备名称规格型号数量备注(台/套/把)I微波等离子体化学气相沉积设备6KW-MPCVD350台用电,气相沉积2水冷螺杆式冷水机DX-300WD4台用电,冷却3氢气发生器LNIHG5UPRO40060台用电,产生氢气4激光切割机PLC-P20A60台用电,切割5抛光机JG-4P60台用电,抛光6超声波清洗机YM-060S5台用电,清洗7自动检测设备/10台用电,检验8光学放大镜投影仪/10台用电,检验9冷却塔/1台用电,冷却10超纯水制备机/1台用电,制备超纯水11空压机

34、/10台用电,动力输送4、公用工程(1)给排水本项目运营期生产过程无生产废水排放,设备无需用水清洗,地面采用扫把清扫,因此废水来源主要为职工产生的生活污水和食堂废水。1)给水、生活用水项目定员100人,不提供住宿,参照湖南省用水定额(DB43/T388-2020)办公楼用水及区域实际用水情况,用水定额按40L/人-d计,年工作时长350天,则生活用水量为4m3dxI400tao、食堂用水项目食堂预计每天提供三顿饭,在食堂就餐人数每顿每次约40人,按照建筑给水排水设计标准(GB50015-2019),职工食堂用水平均日定额为1520L/人次,取20L/人次计,年工作时长350天,则厨房总用水量为

35、2.4m3d,840ta.、冷水机用水项目合成钻石切割成型和激光切割过程中采用干式切割和间接冷却,利用水冷机和冷却塔提供循环冷却水,根据建设单位提供的信息,项目设置4台冷水机,单台冷水机每小时循环量为5m3,年运行8400ho项目循环水量为I68la,损耗量按循环水量10%计算,故蒸发损失量为6.8ta,新鲜水补充水量为16.8ta,由园区自来水供给。由碳元素平衡图可知,项目切割废渣产生量为0.577ta(577kg),湿式切割过程中废渣携带水分比例为1:9,废渣携带水分则为5.193la,切割废渣携带水分进入固废量为5.77ta.、超纯水制备本项目超纯水来源于自来水过滤生成,年制备纯水720

36、0mL(7.178kg),对照同类型超纯水制备工艺分析,年使用自来水约9kga,损耗量按用水量2%计算,损耗量为0.18kga,废水量为1.642kga2)排水本项目污水主要为生活污水和食堂废水,产污系数按0.8计算,则生活污水产生量为H20ta,食堂废水产生量为672ta,综合废水量为1792ta,经隔油、化粪处理后的食堂废水与生活污水达到进站路污水处理厂进水水质要求,经污水厂处理达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)一级A标准后排入资江。根据上述分析,项目水平衡图如下:损耗0.00018图24建设项目水平衡图(单位:ta)(3)供电项目厂区与工业园园区电网相连,厂区用

37、电均由工业园电网供电。(4)储运本项目原材料及产品进出厂均使用汽车运输,原辅材料和产品存储设置专门仓库。(5)洁净车间设计根据洁净厂房设计规范(GB50073-2013)文件要求,万级无尘车间洁净区内空气中悬浮粒子洁净度需要确保区域内每立方米范围内小于0.5微米粒径的微尘数量控制在352000以下,本项目洁净区为生产车间(除了原辅料仓库、固废仓库、办公室、食堂)。洁*室及洁净区空气中悬浮触子洁at等i空气诒大于成答于表中牧径的大浓度暇值(DC/。)1C5CN).iu02岬.390.5.gSjun11022IH241043100237102584100002371020352S3百级5100OQ

38、O237Mn2no1U229千级.1000MWTWO12(MHII3320083203W万级7j332000I83200835200383训8ZwOO9352000M8320AM注:每个枭押点废玉少果样3次.本标用不好用于发位悬浮收子的理性、化学性、放射性及生性.板IR工艺要求定1-2种粒&r图2-2洁净厂房分级标准万级无尘车间标准包括以下内容:(1)尘粒最大允许数(每立方米):(2)大或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个,大或等于5微米的粒子数不得超过2000个:(3)微生物最大允许数;(4)浮游菌数不得超过100个每立方米;(5)沉隆菌数不得超过3个每培养皿。(6)压差:相同洁净

39、度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要25Pa,洁净室与非洁净室之间要210Pa。万级无尘车间对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季2022C;夏季2426C波动2。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。(7)配电:洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜2300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200300Lx.(8)噪声控制1)动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝(八)。2)静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝(八)。(9)送风、回风、

40、排烟一般要有除尘的滤网或过滤棉。万级无尘车间吊顶内的设备需要高度一定要留足;除建筑构造需要空间外还应考虑:电缆桥架、工艺直排、工艺纯水、压缩空气、事故照明各类设备设施外还应考虑检修人员的活动和操作空间需要。5、施工进度项目预计2022年11月开工,2022年12月完成设备进厂和安装调试,营运期劳动定员100人,工作制度为三班工作制,每班八小时。一、施工期本项目租赁现有厂房,施工期主要为设备安装调试,工期较短,故施工期不多做分析。二、运营期本项目主要产品为合成钻石,具体化学反应及生产工艺流程图见下图。(I)超纯水制备主要工艺流程超纯水制备主要包括以下三个阶段,即初步吸附过滤阶段、反渗透净化阶段和

41、树脂离子交换阶段。工艺流程和产排污环节自来水S:固废N:噪声图2-3超纯水制备工艺流程图1)机械过滤:将自来水通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质,如铁锈和其他悬浮物等;2)活性炭过滤:活性炭是广谱吸附剂,可吸附气体成分,如水中的余氯,吸附细菌和某些过渡金属等;3)反渗透膜过滤:可滤除95%以上的电解质和大分子化合物,包括胶体微粒和病毒等。由于绝大多数离子的去除,使离子交换柱的使用寿命大大延长;4)微滤过滤:通过混合离子交换床是除去水中离子;5)超纯水:通过高压泵将制备好的超纯水储存于水箱中备用。(2)准备阶段:氢气制备1)氢气发生器结构氢气发生器由电解池、纯水箱、氢/水分离器、收集器、干燥器、传

42、感器、压力调节阀、开关电源等部件组成,只电解纯水即可产氢。通电后,电解池阴极产氢气,阳极产氧气,氢气进入氢/水分离器。氧气排入大气。氢/水分离器将氢气和水分离。氢气进入干燥器除湿后,经稳压阀、调节阀调整到额定压力(0.020.45MPa可调)由出口输出。电解池的产氢压力由传感器控制在0.45MPa左右,当压力达到设定值时,电解池电源供应切断;压力下降,低于设定值时电源恢复供电。2.工作原理图,图24氨气发生器结构与原理示意图2)工作原理纯水电解制氢把满足要求的电解水(电阻率大于IMC/cm,电子或分析行业用的去离子水或二次蒸馀水皆可)送入电解槽阳极室,通电后水便立刻在阳极分解:2H2=4H32

43、0-2分解成的负氧离子(CT?),随即在阳极放出电子,形成氧气(O?),从阳极室排出,携带部分水进入水槽,水可循环使用,氧气从水槽上盖小孔放入大气。氢质子以水合离子(H+XH2O)的形式,在电场力的作用下,通过SPE离子膜,到达阴极吸收电子形成氢气,从阴极室排出后,进入气水分离器,在此除去从电解槽携带出的大部分水份,含微量水份的氧气再经干燥器吸湿后,纯度便达到99.999%以上。3)反应方程式阳极:2OH-2e-*H2O+O2t阴极:2H2O+2e2OH+H21总反应式:2比。一2%t+O2t(2)微波等离子体化学气相沉积法介绍微波等离子体化学气相沉积法合成金刚石是指在压力100kPa和温度8

44、00Ioo(TC的反应条件下,在真空反应舱内用微波将含有甲烷(CHQ生成等离子体,C从气体化合物的状态分解成单独游离的原子态,经过扩散和对流,使其中的碳原子在基底(种晶)上过饱和沉积、生长成金刚石。碳源气体被激活和碳原子的沉积过程伴随着一系列化学反应,因此这种合成金刚石的方法被称为化学气相沉积法。要实现金刚石的化学气相沉积有几个必要条件:1)有碳源气体和激活碳源气体的能量,将碳原子从碳源气体中“剥离”出来;2)有供CVD金刚石生长的物理空间,即基底,或称种晶,根据实验目的的不同可选用不同的基底,常用作基底的材料有硅、铝、钳等,但目前CVD法合成单晶金刚石必须采用金刚石作种晶,才能实现单晶CVD金刚石的同质外延生长;3)有供化学气相沉积反应发生的生长室,且有配套设施提供生长所需的低压环境;4)有氢气,碳原子的激活和沉积,以及CVD金刚石的生长必须要在高浓度的氢气中进行,抑制碳原子不形成石墨,保持电中性。本项目原料气体为氢气、甲烷、二氧化碳、氢气,在反应压力WlookPa,温度8001000C条件下,高浓度氢气提供还原氛围,氨气为保护气体,不参与气体反应,气体间发生

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