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1、表1国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（2023-7）产厂家产能（万吨/年）产品等级技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS匕集团凯圣氟三电子材料公30,71.50.8自创2023年6月已进行年产3万吨电子级氢氟酸扩建工程环境影响报告书审批前0.7万吨/年的电子级氢氟酸根底上，再新建2.3万切年电子级氢氟酸装置。方新建一套1.5万吨/年电子级HF生产装置，配套建设2万吨/年的无水氟化氢4新建一套0.8万吨/年UP-S级HF生产装置。2023年初已发布了巨化股份关于;6000吨ppt电子级氢氟酸固定资产投资工程的投资公告。工程采用引进技术给系统、HF纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过渡系统和
2、成品贮槽系统等定资产投资8300万元，预计2023年10月建成投产。（注：70%的PPt电子级于LED晶圆生产，目前PPl级产品国内根本靠进口J;氟化0,5苏威浙江蓝苏氟化由浙江蓝天环保高科技股份、苏威氟控股（亚太）合资建立的中外册资金4000万元。公司于2006年Il月19日开工建设2万吨/年无水氟化氢一9月6日投产。选址在衢州高新技术产业园区华阳路39号。电子级氢氟酸工:司的先进生产技术，总投资3500万元，其中环保投资170万元。公司于202建设，2023年12月投入试运行。产品用于太阳能行业。苏威SoIVay在华氢据2023年浙江省工业转型升级财政专项资金工程汇总表衢州市区）歹h工不万
3、元，审计后投资额1106万元，2023年正在申请省工业转型升级财政专项资金64万元。工程为年产5000吨电子级氢氟酸工程，可生产UP级、UPS级电现有电子级氢氟酸等级有四级（从低到高分别为AR级、EL级、UP级、UPS自有技术为AR级和EL级，蓝苏公司生产的电子级氢氟酸为UP级和UPS级套条件均落实，并已完工投产，质量己到达设计标准。!氟化工业日本StelIa在华氢氟酸企业。W化工.2003年11月成立（金华市武义县吉年胡处工业区），日本森阳化学工业株式Chemical）在华氢氟酸企业。无水氟化氢产能15000吨。并于2004金ISO19001-2000,于2005年1月取得IScH4001认
4、证。2023年2月森田化学半增产设备完成。森田化学还与住友合资在张家港建有800吨/年的六氟磷酸悝I晶瑞化学公0.70.7苏威位于苏州市吴中经济开发区澄湖东路，是一家生产销售微电子业用超纯化学I细化工产品的中港合资企业。品种包括氢氟酸、过氧化氢、异丙醇、氨水、M等。目前主要量产品种的纯度为单项金属杂质含量小于Ippb。产品广泛应用成电路和TFT-LCD面板制造过程中的蚀刻与清洗。总体产能2万吨，公司产和超净试剂，高纯氢氟酸产能7000多吨，占其利润一半，产品处于中高端水有较好口碑。其产品80%用于太阳能领域，20%用于半导体、TFT-LCD领域。I万吨氢氟酸生产线，还方案在苏北建立I条8.3万
5、吨级的生产线，开拓北，级微电子用高纯度氢氟酸2023年获奖2007年中国半导体创新产品和技术工年苏州市科技开展方案各类工程，经专家评审，公告确定了该公司UP-SS级微氤酸获得苏州市科技型企业技术创新资金专项工程。弓市润玛电子0,10总产能约2500吨，产品包括硫酸、氨水、氢氟酸等，产品95%针对太阳能市对半导体市场，公司总体路线是低价路线。9江化微电子0,10.1生产微电子化学品一一紫外负性光刻胶及其紫外正、负性光刻胶配套试剂、起通用化学试剂系列以及其它专用电子化学品5（X）0吨能力，产品类型与晶瑞相平低于晶瑞。;化学品总体产能3000吨，主要产品是CMOS级、MOS级和低颗粒高纯试剂。J金城
6、试剂即金城试剂厂，还包括金城精细化工厂、精细化工二厂和金城公司昆山分公i产厂家产能（万吨/年）产品等级技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS最大的专业生产化学试剂产品的企业之一。高纯试剂：包括高纯无机酸类G硝酸、氢氟酸等）及局部有机溶剂（醇、酮、能及苯类），纯度为4N、5N（99.%的金属氧化物（例、铅、确、鸨、钳、错）。H旭昌化学科0,80.8苏州市开展和改革委员会2012-1-30发布新建工程核准的批复，该工程位于昆细化工区，其中电子级氢氟酸清洗剂8000吨。J市富乐化工专业生产工业级氢氟酸、电子级、分析纯、超高纯氢氟酸、氟硼酸、氟硼酸2铅、氟化筱、氟化氢校等氟化物产品及硝酸、盐酸、硫
7、酸、无水乙醇、氢氧仕丙酮等。年总产量到达IOoOO多余吨，年产氢氟酸为5000吨、氟硼酸为100为800吨硝酸为3000吨，盐酸为1500吨等。氢氟酸产品为试剂级、电子级、:化工股份1江苏南通2023-07对江苏三美化工（在如东洋口化学工业园如东）年产6万吨O括年产1万吨二氟甲烷、1万吨五氟乙烷、1万吨三氟乙烷、2万吨四氟乙烷,丙烷）、5万吨无水氟化氢、1万吨高纯电子级氢氟酸、3万吨偏二氯乙烯、30.5万吨聚偏二氟乙烯树脂；联产19万吨石膏、17万吨盐酸、0.55万吨40%专吨氟硅酸、0.1万吨四氯乙烯及850吨六氟丙烯工程进行了审批公示。彳南通明鑫化最专业的高活性氟化钾设计制造商：南通市明鑫
8、化工专业生产结晶氟化钾、生产氢氟酸、氯化钾、氯化钙、钝化液，同时经营硫酸、硝酸、盐酸、氟化名钾等。三苏纯化工科南京苏纯化工科技是一家领先的超净高纯电子化学品与水处理化学品提供商。氢氨酸（40%49%）纯度规格EL级/UP级/UP-S级，4玛（常熟）道达尔集团阿科玛Arkema在华氢氟酸企业。1996年6月成立的中国第一家致氢氟酸及氟利昂替代品的外商投资企业。目前拥有三个工程：分别为生产销售氟化工工程，生产共聚酰胺类的热熔胶工程，以及有机过氧化物工程，总投美元。公司于2000年5月正式投产，目前生产无水氢氟酸20000吨、FORAN吨，并正在为增产建设。:永飞化工1,50,31.22023-9月
9、下旬，工程破土开工，2023-5月底完成。生产厂房采用钢架结构以等品AHF为生产原料。9月15日公司顺利完成15000吨/年高纯超净氢氟酸酸）工程福建省外经贸区域协调开展促进资金的申报工作。供货于日本关有3富宝腾达化10+20.8福建南平市顺昌县埔上镇，无水氟化氢3万吨/年，氟化盐系列产品8千吨/年剂20吨/年。拟投资6亿以上，开发电子级氢叙酸、电子级双氧水等7个以精:主的工程。2023年己环评公示。方案2023年建成投产。超纯电子级氢氟酸工经计量的氢氟酸及电子级纯水进入蒸发器，加热汽化，然后进入精循塔，塔器冷凝成超纯氢氟酸，放至超纯氢氟酸贮槽。未冷凝气体再经尾气吸收塔吸4有水氢氟酸的制备：超
10、纯氢氟酸储槽为高浓度超纯氢氟酸，需经稀释到不同W纯有水氢氟酸，稀释用水必须是电子级用纯水，稀释后的超纯有水氢氟酸必2质量检测，其阳性金属离子含量，阴性离子含量，尘粒直径及颗粒数，需用习器，作超痕量检测，合格后在洁净环境5进行包装（1万级洁净区）。电子级:水经初级物理性去杂质过滤，再经Ro逆渗透膜去除阴阳离子，得到初级纯水的EDI膜去除痕量的阴阳离子，得到电子级纯水.:华新化工11公司成立于2004年，是一家外商独资企业，公司总占地面积约240亩，拥有多人，其中技术人员100余名。下属有邵武华新化工、凰门美迪化工、光泽武华孚新材料开展四家公司。公司生产基地地处福建北部，有丰富而优质的:立以来致力
11、于氟化工系列产品的研发和生产销售。目前已建成无水氟化氢4.5筱（氟化佞）100OO吨、干法氟化铝3万吨、氟碳外表活性剂系列80吨、优级名吨的生产线。2023年5月电子氢氟酸工程环评，厂址定在金塘氟化学分公司:产厂家产能（万吨/年）产品等级技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS武金塘工业园区。扩建1套IoOooVa超纯电子级氢氟酸生产线和1套电子级纠新增一座成品仓库及罐区。主要生产工艺：（1）纯洁水制备工艺：原水经初W质过滤，再经Ro逆渗透膜去除阴阳离子，得到初级纯水，再经最先进的ED的阴阳离子，得到电子级纯水。（2）高纯氢氟酸制备工艺：氢氟酸与电子级器加热气化后，以蒸汽形式进入精馆塔，釜底
12、主要为少量的残渣：塔顶生成为1经过冷凝后局部回流到精循塔内，局部做为产品，保存到成品储罐内。冷凝锦气体挥发到尾气吸收塔，用电子级水吸收生成高纯有水氢氟酸，再少量的HF水吸收和碱液吸收生产氟化钙石膏。建设期2023-2023年。邙日山水化工公司主要化工产品有：工业氢氟酸、无水氟化氢、化学试剂氢氟酸、电子级名氢筱、氟化铁、氟硼酸、氟硅酸、氟硼酸钠、氟硅酸钾、氟化氢钾、氟硅酸卸氟化钠等，公司主要矿产品有：酸级萤石精粉、冶金级萤块矿、粒矿、萤石知I多化工股份0+50.52011-2-2-11河南省环境保护厅对锂离子电池用电解液及六氟磷酸锂、电池级级氢氟酸工程环境影响报告书进行了批复豫环审（2023）3
13、5号1。多氟多拟把实施2万吨锂离子电池用电解液及2000吨六氟磷酸锂、400吨电池级氟化锂、级氢氟酸的新建工程。方案2023-2023年首先一期建设2500吨/年电子级氢氟测2000吨/2023年，2500吨/2023年，4500/2023年，5000吨/2023年。三巾氟源化工0.40.4即原焦作市筑化盐厂，又名焦作市晟铝氟化盐有限责任公司。公司于2006年企业，为使公司快速开展先后建成年产冰晶石IooOO吨，氟化铝30000吨，吨的先进生产线。电子氢氟酸工程于2023年2月焦作市企业投资工程备案2023OOOO3）,总投资9609.2万元。2023年8月16日，在沁北产业集聚区签f电子氢氟
14、酸工程入驻。三市增氟科技年产5万吨无水氢氟酸，河南省企业投资工程备案情况已公示。建设地点：焦克路北。总投资：100OO万元。方案建设起止年限：2023-62023-12。年产氟酸，共两条生产线单条2.5万吨），分二期建设，一期2.5万吨工程方案2工，二期方案2023年底完工投产。采用国内先进技术，以硫酸、萤石为原料加热-吸收-冷凝-精饱的工艺进行生产，主要装备有反响炉、冷冻机、吸收塔产品用于清洗不锈钢、氟化盐行业、玻璃行业等。市冰晶科技年产3万吨氢氟酸工程，目前已投资30万元，开始生产。衣（鹰鹏）亨F技2,41.21.21.2万吨/年工程2023年11月环评首次公示。宣城市环保局2011-9-
15、8再次公示亨元化工科技预留场地内进行建设。2023年5月可研评审宣州通过.投资1.采用工业无水氟化氢为原料，经过氧化、蒸憎、别离等工艺过程生产电子级第一期已建成了电子级氢氟酸生产线，年产电子级氢氟酸1.2万吨，各项指标.水平。拥有二套年产6000吨高纯电子级氢氟酸生产装置。产品技术指标已到;子含量WlPPb,具有自主研发的知识产权优势。一期工程预计九月份就能建）工程6000吨电子级氢氟酸，2023年7月正在招聘员工。鹰鹏集团公司拥有年工业无水氟化氢生产线，确保电子级氢氟酸和工业氢氟酸原料优质稳定供给。1华星氟材料0,50.5中国华星氟化学投资集团（以下简称中氟公司）全资子公司。成立于2023年
16、注册资本500（）万元人民币，注册地为江西省赣州开发区。2011-10-10公司对，水氟化氢、年产2万吨氟化氢较、年产5（X）0吨电子级氢氟酸建设工程环境信,忘工程环评报告于2023年3月16日通过市环保局审批（赣市环审字20233设地点：赣州开发区香港工业园北区。5000ta电子级氢氟酸工程2023年6月程主要建设内容及规模：新建电子级氢氟酸车间、原料综合仓库、成品仓库、冷冻空压站、锅炉房、循环水池、消防池、事故池、污水处理系统、办公楼、产厂家产能(万吨/年)产品等级技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS班宿舍、食堂、门卫及道路、绿化等配套设施，总建筑面积25780m2:购置-憎塔、吸收
17、塔、蒸惚塔、冷凝器、自动包装机等设备；形成年产5000吨电子?产能力。总投资12000万元，其中固定资产投资8000万元，流动资金4000置工艺系统招标于己2023年6月5日开标。M七工年产4万吨高纯无水氢氟酸。2023年底建成投产，产品50%出口。江西英腾力士集团氟化工和浙江星腾公司共同投资建立的，公司总投资3.2亿人民币，制冷剂、含氟高分子材料、含氟精细化学品的生产、经营与研究开发。该公i在日本Mirara的工厂提供原材料，同时也将为星腾化工位于金华的工厂提供需的原材料。英国英力上IneOS在华氢氟酸企业。英力上氟化工业务己转瞿西化学总投资5.5亿元人民币的5万t/a无水氢氟酸装置于)0月
18、29日在庐山区姑塘建设。大唐氟化工工程是江西省与日本大金株式会社合作的工程。日本大金7界500强企业中列280位，主要从事特种产品制冷制热、半导体、液压机械级特殊机械生产加工、氟化工等现代制造业。由日本大金株式会社和中萤集I大唐氟化工工程2006年12月签约，目前启动的一期工程将新建5条年产1产线，2023年1月一期工程将试车投产。工程全部建成后，可年产5万吨无产值可达7.35亿元，年纳税4000万元。日本大金Daikin在华氢氟酸企业。化工江西中氟化工是中美合资企业，位于江西省玉山县，该县境内及周边地区蕴3石资源，为氟化工的生产提供了充裕的根底原料。有2万吨/年氢氟酸生产线一年。F欧精化学试
19、I心是天津市化学试剂标准化成员单位，天津市首批科技型中小企业，2023年国用试剂研发第三大任务的牵头单位。目前公司生产卡尔费休、对照品、标准品离子对试剂)、高纯MoS级、电子纯、低浓残检测、环保、基准、特效、分H标准溶液、消毒剂、药用辅料、等15个系列，3000多个品种。e复精细化工电子纯氟化氢溶液40%(50%)。规格/包装单位：MOS500mLT红精细化学0.02：试剂研究所是中国超净试剂研究的发源地，完成了MoS级、BV-I、II、In级超净试剂仔并与上海华谊一起主导的国家863方案ULSI用超净高纯试剂研究。量是近年有太大的突破，目前主要生产MOS级超净高纯试剂。f耐尔科技.东营耐尔科
20、技是一家中外合作的高新技术公司，研发生产高纯材料，特别是I业的高纯材料，为集成电路、平板显示器、光伏电池、制药、化工、科研等特种气体、湿化学品以及特种气体包装输送柜等产品及效劳。产品有超纯I(UP)。DaikindChemicals(台湾台塑:化学股份)1.671.67.日本大金Daikin在华氢氟酸企业。台塑大金精密化学股份成立於1999年12F月正式量,合台塑公司在氟化阜工案多年的管理冬瞬以及日本大金工萦E律亍，生半醇鹘!用漏式Ii刻膏J,目前年重子级量氟酸16,700嘲、氟化敛5,敏氮氟酸1,80()嗽。地址：(105)台北市敦化北路201虢接楝IOfg445室：s:分橙：7404；傅真
21、：(02)27129281；E-mail：fdac-tpfpg.tw。ndustrialCo.湾台硝集困).IC、TFT级品：IC半身髓典TFT-LCD光重案用之清洗杳J舆Ii刻液49%量氟酸；EL级品：45”晶圜典FPD光甯蕖用之清洗峦J典刻液49子化阜品：建络人盛副理；gS886-3-3247569：傅真886-3-32来SamS(tnc.tw：桃圜瘢地址桃圜隘藤竹卿坑口村3SU29-25虢。飞ItiIiZUrCo.,投资兴建之TFT-LCD用电子级化学品工厂已于2001年5月正式开工量产，产厂家产能(万吨/年)产品等级技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPS湾肥料剥离液、洗净液，并于2
22、003年4月完成第一阶段扩建工程提高产能，以应市:尚方案扩建增加蚀刻液及单质酸磴液等产品。gHighTechDivisionof纪Industrial台湾台湾积I造股份）台积公司成立于1987年，是全球首创专业积体电路制造效劳的公司。台积公位于台湾新竹科学园区，在北美、欧洲、日本、中国大陆、南韩、印度等地)或办事处，提供全球客户实时的业务和技术效劳。台积公司是纯粹的IC制谴受客户委托制造IC芯片，台积公司本身并无自有产品可销售IeChemical（台湾）Fluo&Co.,Ltd.侨力化工股SlOJ1998年饕於原料嵯向考量(浙江全世界氟石主要地)，於中Il浙江永康巾彳整，成立浙江儒朋化工，生座
23、熊水氟化量J(二氟化敛)及各粳寅麦横氟化物?颊一一乾式二氟化领戮造i,年逢能5000MT。2002年蟹於霜子级量氟酸市埸需.*夬定投入霜子敏量氟酸!程研究fl叠。在台湾桃Iil粽IS音绚5IS音工棠匾的侨,H量.氟酸(HydrofluoricAcid),49%重子级氮氟酸，氟硼酸(FlUobOriCAci(StannousFluoborate).氟硼酸$0(LeadFluoborate).食品蔡品级氟化金内(Sorporalion（美0.20.2关东公司生产工厂在美国俄勒冈州的波特兰Performance（原名rodtBaker）MallinckrodtBaker公司始成立于1995年，为实验
24、室、生物制药、澈电子和工一牌的高纯度产品。1995年Mallinckrodt收购JTBaker后成立Mallinckro(MBI),200()年Tyco(泰科集团)收购MallinCkrOdtBaker,2005年TyCOF科医疗)变更为CoVidien公司，MBI成为CoVidien公司的一局部,2023年Mall成为NeWMOUntainCaPital(新山资本)的一员。MBl总部位于PhinipSbUrgJ拥有在高纯化学品领域享誉全球的两大知名品牌J.T.Baker®和MallinMBI的产品广泛应用于科研研究及质量控制(QC)实验室，微电子行业，环境,高校，以及制药行业，生物科
25、技等其他行业。2023年度，MBl的销售额到达J.T.Baker(杰帝贝柯)化工产品贸易(上海)UTBs)于2023年正式成WMallinckrodtBakerInc的全资子公司。roducts&S（美国）0.1OJ空气化工产品公司也是中国最大的工业气体产品公司之一，通过提供一系列?产品包括普通空气气体产品如氧气、氮气和氢气，到特种气体如氨气、氢气再以及各种化学品。IlSpecialty0.20.2.霍尼韦尔公司总部在美国新泽西州，电子氢氟酸主要在德国的GeiSmar、美国产厂家产能（万吨/年）产品等级技术来源备注合计已建在建拟建ELUPUPSS德、美国）LoUiSianal（美国南部的一个州
26、）、加拿大安大概省阿莫斯伯格（Amherstburg,（制造。SSandGmbH撼公司）OJOJ诀公司美国霍尼韦尔公司与日本三菱化学公司在湿电子化学品业务领域建立全球上系，近几年以中国和印度为重点，积极开展电子化学品业务，其在亚太地区C务的年销售额以20%的速度增长；2005年4月，巴斯夫公司收购了德国默克化学品业务，此次收购包括在中国、马来西亚、新加坡等地的生产基地和分等FluorGmbHOJOJ德国苏威公司成立于1863年。德国苏威氟化物公司（SolVayFluorGmbH）是苏J化学品生产和销售的专业公司。该公司从事氟化学品的生产和销售超过七十4机氟化学品产销量位居世界第一，有机氟化学品
27、位居世界第二位。德国苏威;产品有：1、有机氟化学品，如Solkane系列制冷剂，发泡剂和溶剂：2、无机NoCoLoK许剂等：3、CF3/CF2系列特殊氟化学品，如三氟乙酸等。Iyosanoat兹别克斯坦）0.10.1FranceS.A.yAtofina）阿J法国公司（原U0.10.1阿科玛是一家全球领先的化学品生产企业，由两个关系密切且平衡开展的业?工业化学品和特殊化学品，全球总部位于法国。2006年5月12日阿科玛成为学品公司（由道达尔集团资产重组），在40多个国家拥有84个生产基地和9全球拥有13,200名员工，年销售额达59亿欧元。自1984年在中国开展业务大中国在其众多领域占据领先地位
28、，Fl前在中国各地拥有七处工业生产基地。匕学公司子公3公司0,3OJ2023年英国英力士集团将品业务卖给了该墨西哥化学公司的子公司氟化学公后墨西哥化学公司成为全球最大萤石供给商和第二大氢氟酸生产商。墨西哥化美元，得到了英力士氟化学公司在北美、欧洲和亚洲的生产基地、销售网络I内的全部业务。2011年5月9日，墨西哥化学发布消息称，公司方案在未来1和韩国投资1.5亿美元用于生产制冷剂和氢氟酸等。墨西哥化学表示，此举是产品供给对中国的依赖，充分利用垂直整合和物流的优势，增强墨西哥化学彳力。国内外高纯氢氟酸产能大于1849万吨/年。其中国外大于4.2万吨/年。其中中国大陆高纯氢氟酸产能大于12.52万
29、吨/年，包括己建大于2.72万吨/年，在建约5.2万吨/年，拟建约5.1万吨/年。其中中国台湾地区大于1.77万吨/年。高纯工业品氢氟酸是微电子技术加工制作过程中不可缺少的关键性化学品之一，主要用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSD芯片的清洗和腐蚀，是上述各行业制作过程中的关键性根底化工材料之一。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有十分重要的影响。它基于微电子技术开展而开展，同时又制约微电子技术开展。近年来，全球电子化学品市场需求增长速度很快，近两年保持10%以上的增速，因此高纯工业品氢氟酸的开展前景十分广阔。我国电子化学品产业通过近几
30、年技术改造和结构调整，已经具备一定根底，氢氟酸在国内己有几家大型企业在生产，产品级别主要是UP级、EL级和UP-S级，产品主要出口美国、德国、日本和台湾等地。对几个生产企业的产品质量进行调查，发现产品质量存在很大差异，良莠不齐的产品质量和价格的恶性竞争严重影响了该产品的开展，因此当前急需制定高纯工业品氢氟酸国家标准，根据电子行业用户的实际要求确定适宜的质量要求。新标准的出台对推动企业技术创新，标准产品质量，指导企业生产和促进出口具有十分重要的意义。国内目前未有统一的电子氢氟酸标准。巨化集团公司正在2023-2023建议制订高纯工业品氢氟酸行业标准，范围和主要技术内容包括：规定了高纯工业品氢氟酸
31、的分类、要求、试验方法、检验规那么以及标志、标签、包装、运输、贮存和平安。适用于高纯工业品氢氟酸。该产品主要用于电子行业的清洗和腐蚀。国内外情况简要说明：L国外已生产多年，且技术成熟，品质较高。我国首套生产线在2023年7月建成，目前国内有一定生产规模的企业有5家左右。产品质量根本到达UP级和EL级，最高能到达UP-S级，产品已得到国际市场的认可,目前出口美国、德国、日本和台湾等地。该标准涉及产品的品质很高，因此大局部分析工程以仪器检验为主，目前国内的一些生产企业已采用先进的仪器分析，到达国外的分析技术水平。2.目前查阅到的国外标准有国际半导体协会标准：SEMIC1.8-1990氢氟酸标准，S
32、EMIC7.3-1990二级氢氟酸标准，SEMIC7.4-199049%二级氢氟酸标准。本标准与以上标准的采用程度为修改采用。3.目前国内没有相关标准。4.未涉及知识产权问题。在2023年7月举行的IntersolarNorthAmerica_hSEMI光伏标准委员会通过了八项光伏新标准，其中有PVII-IlIO-氢氟酸标准/光伏应用。2023年度全国半导体设备和材料标准化技术委员会（TC203）会议，国家光伏质检中心将参与光伏电池用电子级氢氟酸等国家标？！的编写。国际SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational）标准化组织根据高纯试
33、剂在世界范围内的实际开展情况，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准,其中包括多个用于不同工艺技术的等级，具体见下表2。表2SEMl国际）标准等级Cl(Gradel)C7(Grade2)C8(Grade3)C12(Grade4)(Grade5)C11(VLIppmIOppbWIppb0.1ppb0.01ppbW5ILO0.50.50.2/NW25W25W5/用于1.2mIC技的制作适用于0.8-L2mlC技术的制作适用于0.2-0.6mIC技术的制作适用于0.09-0.2mlC技术的制作适用于0.09UmlC技术的制作适用于0.8-的制作国内有的高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准，其中
34、，BV系列标准比拟常见，该标准共分为七个等级。如：北京化学试剂用的就是BV系列标准，具体见下表3。表3国内高纯试剂常用规格埃粒径尘埃粒子数各金属杂质含量（非金属杂质含量）适用于半导体ICTOUm2700个/10Oml5CAUm27OO个/10Oml5(X)ppb(lppb)23Pm（适合中小规模集成电路5um技术用）*2m300个/10OmI1nXlOppb2Umf属于标准电子级）相当于ELSS级）*2m200个/10OmInXOppb1.2m（属于标准电子级EL级）（相当于ELSSS级）0.5m25个/mlIOppb0.8l.2Pm（相当于SEMl-C7）（属于超大规模集成电路级VLSI0.5m5个/mlIppb0.20.6m0.2UmTBD0.1ppb0.090.2Um目前，因各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：低档产品，用于1.2UmIC工艺技术的制作；中低档产品，适用于0.812UmlC工艺技术的制作：中高档产品，适用于0.20.6HmIC工艺技术的制作；高档产品，适用于0.090.2m和V0.09mIC工艺技术的制作。产品等级一般分为4个档次。目前国内能够生产SEMlCI7级（包括MOS级及BV-I山级）高纯氟化氢的企业近10家，而能生产SEMIC812级（大致相当于高于BV-IlI级的产品）的极少。
