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1、ICS77.150.60CCSH72中华人民共和国国家标准GB/TXXXXXXXX氧化锌铝靶材ZincaIuminumoxidetargetmateriaI（预审稿）-X发布-X实施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布-VZ-、刖百本文件按照GB/T1.1-2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件由中国有色金属工业协会提出C本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。本文件起草单位：成都中建材光电材料有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、芜湖映日科技股份有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司、广东欧莱高新材料股份有限公司、河
2、北恒博新材料科技股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、福建阿石创新材料股份公本文件主要起草人：氧化锌铝靶材1范围本文件规定了氧化锌铝靶材的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于由ZnO和AI9按照一定比例混合的氧化锌铝靶材（以下简称AZO）,用于薄膜太阳能电池镀膜和建筑节能玻璃镀膜。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T8411.2陶瓷和玻璃绝原材料第2部分：试验方法。GB/
3、T8170数值修约规则与极限数值的表示和判断CGB/T6394金属平均晶粒尺寸测定方法。GB/T6569精细陶瓷弯曲强度试验方法。GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法。SL499钻孔应变法测量残余应力的标准测试方法。3术语和定义下列术语和定义适用于本标准。3.1表观密度density每单位体积物质的质量。3.2相对密度relativedensityAZO表观密度与理论密度的比值。AZo质量百分比ZnOIAl2O3=98:2时，AZO理论密度以5.57gCnV计算.AZO质量百分比Zno:AV）3=98.85:1.15时，AZO理论密度以5.59gcf计算。4分类AZo分为平面靶
4、和管状靶，按Zno和Ab（的比例分为两个个牌号：AZo1、AZ0-25.1 化学成分5. 主要成分6. 1.I.1牌号AZo-I的质量比ZnO:Al2O3=98:2,Al0,的偏差为0.1。27. 1.1.2牌号AZo-2的质量比Zno:A103=98.85:1.15,AkO3的偏差为。.05。25.1.1 杂质成分AZO的杂质成分应符合表1的规定。表1AZO杂质成分杂质含量，不大于（XlO）%FeCuPbCdMnCrNiNaSiCa201020105101020100205.1.3其他需方如对AZO的化学成分有特殊要求时，由供需双方商定。5.2 物理性能5.2.1 相对密度：AZO靶材相对密
5、度应分别296%；密度均匀性偏差W0.2%。5.2.2电阻率：510,cmo5.2.4抗折强度：2150MPa。5.2.5残余应力10MPa。5.2.6晶粒尺寸分布大致均匀，平均晶粒尺寸W20m,最大晶粒尺寸W50m5.2.7AZO物理性能如有其他要求，由供需双方商定。5.3 物理规格AZO分为平面型靶材和管状型靶材，其规格尺寸及其偏差由供需双方商定。5.4 外观质量5.4.1AZo表面粗糙度L0m。5.4.2 AZO呈黑色或灰黑色，颜色应均匀。5.4.3 AZO表面应平整清洁光滑，无裂纹，无指痕，无外来夹杂物污染物。5.5内部质量AZO内部应无裂纹，气孔直径不大于0.3mm,单位面积气孔个数
6、不大于3/cnr。6.1 化学成分分析方法AZO化学成分的分析方法由供需双方协商采用相应方法进行。6.2 物理性能检验方法6.2.1相对密度检验方法AZO的表观密度的测定按GB/T8411.2的规定进行，再根据表观密度和理论密度计算得到相对密度。1.1.2 电阻率检验方法AZO电阻率的测定按GB/T8411.2的规定进行。1.1.3 抗弯曲强度检验方法AZo抗折强度的测试按GB/T6569的规定进行。1.1.4 残余应力检验方法AZO残余应力的测定按SL499的规定进行。6.2 物理规格AZO的物理规格用相应精度的量器测定。6.3 外观质量AZO的外观质量用目视法或相应的仪器检验。6.4 内部
7、质量AZO的内部质量用超声波无损检测7检验规则7.1 检查和验收7.1.1 AZO应由供方质量技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本文件或订货单的规定。7.1.2 需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准或订货单（合同）的规定不符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样在需方由供需双方共同进行。7.2 组批AZO应成批提交检验，每批应由同一生产工艺、同一批氧化物粉生产的产品组成。7.3.1每批AZO应进行化学成分、外观质量的检验。7.3.2每批AZO应进行物理性能之密度、电阻率的检验。7.3.3每件AZO应进行物理规格、外观质量的检
8、验。7.3.4AZO的抗弯曲强度、残余应力、晶粒尺寸按型式试验要求进行检验，正常生产时，按季度周期进行型式检验。7.4 仲裁取样和制样7. 4.1化学分析仲裁样的采取和制备AZO化学分析仲裁样的采取和制备方法由供需双方商定。8. 4.2物理性能检验仲裁样的采取9. 4.2.1表观密度检验试样的采取：从产品中按片（件）随机抽取10%样品，但不少于1片（件）,沿靶材的中心线，用线切割机等距分取20mmX20的样品34块，用超声波清洗器清洗干净后进行表观密度的测定。10. 4.2.2电阻率检验试样的采取：从产品中按片（件）随机抽取10%的样品，但不少于1片（件）,用线切割机沿AZO的边切割长120三
9、的矩形长条10个，用超声波清洗器清洗干净后进行电阻率的测定。11. 4.2.3线膨胀系数检验试样的采取：从产品中按片（件）随机抽取10%的样品，但不少于1片（件）,用线切割机沿AZO的边切割下与标准样品尺寸一致的长条5个，用超声波清洗器清洗干净后进行线膨胀系数的测定。12. 4.2.4内部质量检验试样的采取：将密度测试后检验样品洗净并用纸吸干后测试。7.5 检验结果的判定1.1.1 5.1AZO检验结果的数值修约和修约后数值的判定按GB/T8170中的有关规定进行。1.1.2 AZO的化学成分、物理性能、内部质量的检验结果与本文件的规定不符时，该批判不合格C1.1.3 AZO的物理规格、外观质
10、量与本文件的规定不符时，该片（件）判不合格。8 标志、包装、运输、贮存及随行文件8.1 包装每片AZO应在洁净环境下采用真空包装，并采用相应的防震措施。8.2 标志每片（件）AZO的包装上应标注注册商标（或企业标志），产品名称、批号及产品合格标志。8.3 运输与贮存AZO应存放干燥阴凉的库房。运输及贮存过程中应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。8.4 其他需方如对AZO的标志、包装、运输与贮存有特殊要求时，由供需双方商定。8.5 随行文件每批AZO应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期外，还宜包括：a）质量保证书： 主要技术参数； 产品特点（包括制造工艺及原材料的特点）； 对产品质量所负的责任； 产品获得的质量认证及带供方技术监督部门检印的各项分析检验结果；b）产品合格证： 检验项目及其结果或检验结论； 批量或批号； 检验日期； 检验员签名或盖章。c）产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告；d）产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等e）其他。9 订货单内容需要可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容：a）产品名称；b）类别；c）重量；d）本文件编号；e）其他。
