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1、集成电路制造：建设项目环境影响评价用表格汇总附录A工程分析相关附表建设项目组成分析应符合表A.1,主要设备分析应符合表A.2,主要原辅材料及燃料分析应符合表A.3o表A.1建设项目组成表类别序号名称主要建设内容备注主体工程1生产厂房逐项说明主体工程的建设内容、功能分区、生产能力和生产规模。1纯水制备系统说明规模、主要参数、建设位置。辅助工程2冷却塔系统说明规模、主要参数、建设位置。公用工程1给水说明生产生活所需新鲜或再生水的来源。2排水说明企业废水排放口位置、排放量。3供热说明项目供热方式。环保工程1废气处理设施说明采用的尾气处理设备，说明各类废气处理设施的处理工艺、处理能力、排气筒高度等。2
2、废水处理设施说明各废水处理设施的处理工艺、处理能力等。3噪声防治措施说明采取的噪声防治措施。4固体废物防治措施说明固体废物贮存设施的建设规模、位置。储运工程1硅烷站说明规模、位置。2特种气体站说明规模、位置，存储特种气体的种类。3大宗气体站说明规模、位置，存储大宗气体的种类。依托工程1如有依托工程，应说明。表A.2建设项目主要设备表序号设备名称数量备注一、薄膜制备单元1应填写通用或规范名称应统计所有设备数量（含备用）如利旧，请注明二、光刻单元1应填写通用或规范名称应统计所有设备数量（含备用）如利旧，请注明三、刻蚀单元1应填写通用或规范名称应统计所有设备数量（含备用）如利旧，请注明四、掺杂单元1
3、应填写通用或规范名称应统计所有设备数量（含备用）如利旧，请注明五、金属沉积单元1应填写通用或规范名称应统计所有设备数量（含备用）如利旧，请注明六、化学机械研磨单元1应填写通用或规范名称应统计所有设备数量（含备用）如利旧，请注明七、封装单元1应填写通用或规范名称应统计所有设备数量（含备用）如利旧，请注明八、其他a1应填写通用或规范名称应统计所有设备数量（含备用）如利旧，请注明a涉及清洗工序的生产单元应同时列出相应设备等。表A.3建设项目主要原辅材料及燃料表序号名称主要成分包装规格物态用途年使用量最大存储量存储方式备注a一、主要原辅材料使用情况1填写通用或规范名称说明主要物质成分（至少包括涉及的有
4、毒有害污染物和挥发性有机物）及其占比情况说明物料规格说明固态、液态、气态说明使用单元说明年最大使用量（如回收应说明回收量）说明单次最大存储量（质量单位或包装单位）说明存储容器或场所说明危险特性及理化特性、存储场所二、主要燃料消耗情况1填写燃料名称说明燃料组分说明规格说明固态、液态、气态说明用途说明年最大消耗量（包括生活）说明最大存储能力说明存储方式或输送情况说明危险特性a如栏目空间不够，可另外做表说明。附录B主要生产单元、工序、设备及原辅材料参考表主要生产单元、工序、设备及原辅材料见表氏1。表3.1主要生产单元、工序、设备及原辅材料参考表主要生产单元主要工序主要设备主要原辅材料薄膜制备化学气相
5、沉积常压化学气相沉积设备、等离子体增强化学气相沉积设备硅烷、六氟化铝、四氯化钛、氨、三氟化氮、一氧化二氮、四乙氧基硅烷、氢气、氮气物理气相沉积真空蒸镀设备、磁控溅射设备、直流物理气相沉积设备铝靶材、钛靶材、铜靶材、金靶材、铜靶材、气、氮气热氧化氧化炉、退火设备氯化氢、氧气、氢气、氮气外延分子束外延设备、气相外延设备、液相外延设备二氯硅烷、四氯化硅、氢气、绿、氮气光刻涂胶涂胶机光刻胶、光刻胶稀释剂曝光光刻机氟氟岚显影显影机显影液刻蚀干法刻蚀干法刻蚀机氟化氢、四氟化碳、氯气、溟化氢、六氟化硫、三氟甲烷、六氟化碳、八氟化碳、氧气、氮气、四氟甲烷、六氟乙烷、二氟甲烷、八氟环丁烷干法去胶干法去胶设备氧气
6、湿法刻蚀湿法刻蚀机刻蚀液、氨水、过氧化氢、盐酸、硫酸、氢氟酸、氟化钱、磷酸、硝酸湿法去胶湿法去胶设备去胶液、硫酸、过氧化氢掺杂扩散扩散炉硅烷、二氯硅烷、氨气、氮气、六氯乙硅烷、二异丙基氨基硅烷、氮气离子注入离子注入机硅化氢、磷化氢、硼化氢、僦气、氮气、赦气金属沉积银制程银化学沉积设备硫酸银、甲基磺酸银、平坦剂、加速剂、抑制剂铜制程铜化学沉积设备铜电极、硫酸铜、平坦剂、加速剂、抑制剂金等其他金属制程金属沉积设备亚硫酸金钠、氟化金钾、甲基磺酸锡、甲基磺酸银、平坦剂、加速剂、抑制剂化学机械研磨化学机械研磨研磨机研磨液、纯水封装贴膜减薄贴膜机、研磨机PVC膜、研磨液表面贴装贴片机、上片机、点胶机、回流
7、焊机助焊剂、银胶、焊膏芯片互联键合设备、植球设备焊球、助焊剂、焊条、引线主要生产单元主要工序主要设备主要原辅材料塑封成型塑封压机塑封料电镀电镀设备铜锭、锲锭、锡锭、硫酸、硝酸、平坦剂、加速剂、抑制剂、活化剂、焊膏、甲基磺酸锡、甲基磺酸银、除油粉、甲基磺酸、退镀液、电镀液切割划片机纯水涉及清洗工序的生产单元酸液清洗清洗机硫酸、氢氟酸、硝酸、盐酸、过氧化氢碱液清洗氨水有机溶剂清洗异丙醇附录C（资料性）主要生产流程、单元、工序及产排污类型示例图主要生产流程及产排污类型示例见图C.1。主要单元及产排污类型示例见图C.2。主要工序及产排污类型示例见图C.3。图C.1主要生产流程及产排污类型示例图一加 G
8、UM.袤 q1 W9研H蝮水X AD哂拷埃大X 一仃帆废上、方彳士生，【A G2狂机底气、G5畲。废气_ I W6 含佐 k. W7 M. 水、 WS件餐及式也含14庚小笈制妇工愎物、S6凌戏汽图C.2主要单元及产排污类型示例图（以封装单元为例）,G2ffPG34nL&G4微性废气 IJ Sl废行机溶剂、S3废酸1Iwl含氨或水.W2酸加废4j水、W3含氟废水、W4含I集废水，W5仃机!发水I图C.3主要工序及产排污类型示例图（以清洗工序为例）附录D（资料性）废气主要污染物、废水主要污染物、主要危险废物参考表废气主要污染物见表D.1,废水主要污染物见表D.2,主要危险废物见表D.3。表D.1废
9、气主要污染物参考表类别主要生产单元主要工序废气种类主要污染物处理设施排放去向主体工程薄膜制备化学气相沉积特种废气氯化氢、氮氧化物、二氧化硫、颗粒物、氨、氟化物、氯气、磷化氢、二嗯英a尾气处理设备酸性废气处理系统热氧化特种废气氯化氢、氯气尾气处理设备外延特种废气氯化氢尾气处理设备光刻涂胶有机废气非甲烷总烧、氮氧化物b、二氧化硫b、颗粒物b有机废气处理系统环境曝光特种废气氟化物尾气处理设备酸性废气处理系统显影碱性废气氨碱性废气处理系统环境刻蚀干法刻蚀特种废气氟化物、氯化氢、氯气、氮氧化物二氧化硫、颗粒物、尾气处理设备酸性废气处理系统湿法刻蚀湿法去胶酸性废气氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾、磷酸雾酸
10、性废气处理系统环境有机废气非甲烷总烧、氮氧化物b、二氧化硫b、颗粒物b有机废气处理系统掺杂扩散特种废气氯化氢尾气处理设备酸性废气处理系统离子注入特种废气珅及其化合物尾气处理设备含种废气处理系统环境金属沉积铜制程酸性废气硫酸雾酸性废气处理系统环境金等其他金属制程酸性废气氟化氢C封装表面贴装有机废气含尘废气非甲烷总蜂、锡及其化合物、铅及其化合物、颗粒物封装废气处理系统环境芯片互联有机废气含尘废气非甲烷总嫌、锡及其化合物、铅及其化合物、颗粒物塑封成型有机废气非甲烷总燃电镀酸性废气硫酸雾酸性废气处理系统涉及清洗工序的生产单元酸液清洗酸性废气硫酸雾、氟化物、氮氧化物酸性废气处理系统环境碱液清洗碱性废气氨
11、碱性废气处理系统有机溶剂清洗有机废气非甲烷总烧、氮氧化物b、二氧化硫b、颗粒物b有机废气处理系统辅助工程锅炉天然气燃烧锅炉废气氮氧化物、颗粒物、二氧化硫低氮燃烧器环境环保工生产废废水处理废水处理废硫化氢、氨、臭气浓度水喷淋系统环境程水处理设施气a二嗯英：尾气处理设备采用焚烧工艺可能产生。b氮氧化物、二氧化硫、颗粒物：有机废气处理设备采用焚烧工艺可能产生。C氟化氢：使用含氟金属沉积工艺产生。表D.2废水主要污染物参考表类别主要生产单元主要工序废水种类主要污染物处理系统排水去向主体工程光刻显影含氨废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、氨氮、总氮含氨废水处理系统含氟废水处理系统刻蚀湿法刻蚀
12、湿法去胶酸碱废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量酸碱废水处理系统中和处理系统含氨废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、氨氮、总氮含氨废水处理系统含氟废水处理系统含氟废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、氟化物含氟废水处理系统中和处理系统含磷废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总磷有机废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总有机碳有机废水处理系统金属沉积锲制程含银废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总银含银废水处理系统中和处理系统铜制程含铜废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总铜含铜废水处理系统金等其他金属制程含氟及其他
13、含金属废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总氟化物、总银等其他含金屈废水处理系统a化学机械研磨化学机械研磨研磨废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总碑b研磨废水处理系统中和处理系统封装贴膜减薄研磨废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量研磨废水处理系统中和处理系统电镀含银废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总银含银废水处理系统含铜废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总铜含铜废水处理系统含氟及其他含金属废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总氧化物、总银等其他含金屈废水处理系统a切割研磨废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量
14、研磨废水处理系统主体工程涉及清洗工序酸液清洗酸碱废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量酸碱废水处理系统中和处理系统类别主要生产单元主要工序废水种类主要污染物处理系统排水去向的生产单元碱液清洗含氨废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、氨氮、总氮含氨废水处理系统含氟废水处理系统酸液清洗含氟废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、氟化物PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总磷含氟废水处理系统中和处理系统酸液清洗含磷废水有机溶剂清洗有机废水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总有机碳、阴离子表面活性剂有机废水处理系统辅助工程纯水制备系统纯水制备浓水、反冲洗水P
15、H值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量酸碱废水处理系统中和处理系统冷却塔系统循环冷却水循环冷却水排水PH值、化学需氧量、可溶性固体总量/锅炉锅炉排污水定期排污水PH值、化学需氧量、可溶性固体总量/环保工程酸性废气洗涤塔酸性废气洗涤定期排污水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、氨氮、总氮、总磷、氟化物含氟废水处理系统中和处理系统碱性废气洗涤塔碱性废气洗涤定期排污水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、氨氮、总氮含氨废水处理系统废涤神洗塔含父含神废气洗涤定期排污水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、化学需氧量、总碑含氨废水处理系统生产废水处理设施生产废水处理生产废水PH值、悬浮物、五日
16、生化需氧量、化学需氧量、氨氮、总氮、总碑、氟化物中和处理系统市政管网生活污水处理设施生活污水处理生活污水PH值、悬浮物、五日生化需氧量、隔油池、化粪池、生化学需氧量、氨氮、总氮、总磷、动植物油等活污水处理系统a涉及一类污染物的废水分类收集、分质处理；含氟废水单独收集处理，游离氟达到控制要求后才可与其他废水混合。b碎化钱衬底的圆片制造产生。表D.3主要危险废物参考表类型生产单元主要工序危险废物废物类别废物代码主体工程光刻涂胶废光刻胶HW06废有机溶剂与含有机溶剂废物900-404-06显影废显影液HW16感光材料废物900-019-16刻蚀湿法刻蚀硫酸废液HW34废酸900-302-34磷酸废液
17、HW34废酸900-303-34湿法去胶废去胶剂IIW06废有机溶剂与含有机溶剂废物900-404-06掺杂离子注入含珅废物HW49其他废物900-041-49金属沉积银制程含银废液11W17表面处理废物336-054-17336-055-17铜制程硫酸铜废液IIW17表面处理废物336-058-17336-062-17金等其他金属制程含金氟废液HWl7表面处理废物336-057-17336-063-17封装电镀含银废液HW17表面处理废物336-054-17336-055-17硫酸铜废液HW17表面处理废物336-058-17336-062-17废碱液HW35废碱900-352-35涉及清洗
18、工序的生产单兀酸液清洗硫酸废液HW34废酸900-300-34硝酸废液IIW34废酸900-300-34有机溶剂清洗废异丙醇HW06废有机溶剂与含有机溶剂废物900-402-06环保工程生产废水处理设施废水处理含铜污泥HW17表面处理废物336-058-17336-062-17含镇污泥HW17表面处理废物336-054-17336-055-17离子交换树脂HW13有机树脂类废物900-015-13废气处理系统废气处理废活性炭IIW49其他废物900-041-49E污染源源强核算相关附表废气污染源源强核算见表E.1,废水污染源源强核算见表E.2,噪声污染源源强核算见表E.3,固体废物污染源源强核
19、算见表E.4。表E.1废气污染源源强核算表产污单元废气类别污染物污染物产生治理措施污染物排放编号污染物废气产生量m3h产生浓度mgm3产生量kg/h处理工艺处理效率%废气排放量m3h排放浓度mgm3排放量kg/h年排放时间h/a年排放量t/a薄膜制备、光刻、刻蚀、掺杂、金属沉积、封装等酸性废气G4氟化物光刻等碱性废气G3氨光刻、刻蚀、封装等有机废气G2非甲烷总烽生产废水处理设施水理气废处废氨锅炉锅炉废气氮氧化物表E.2废水污染源源强核算表产污单元废水类别污染物污染物产生治理措施污染物排放编号污染物废水产生量m3d产生浓度mg/L产生量kg/d处理工艺处理效率%废水排放量m3d排放浓度mg/L排
20、放量kg/d年排放时间h/a年排放量t/a光刻、刻含氨Wl氨氮蚀等废水刻蚀等酸碱W2PH废水刻蚀等含氟W3筑化物废水刻蚀、封装等有机废水W5化学需氧量金属沉含银W6总银积、封装等废水含铜废水W7总铜化学机械研磨、封装等研磨废水W9悬浮物生活污水处理设施生活污水化学需氧量表E.3噪声污染源源强核算表产污单元分类编号噪声源声源类型(间断、连续等)噪声源强dB（八）降噪措施持续时间h降噪工艺降噪效果dB（八）废气处理系统Nl风机冷却塔系统N2冷却塔表E.4固体废物污染源源强核算表产污单元分类编号固体废物名称固体废物属性a产生量t/a自行处置/利用量t/a委托处置/利用量t/a去向光刻、刻蚀等Sl废有机溶剂刻蚀等S3废酸a明确一般工业固，本废物、生活垃圾、危险废物等属性，危险废物应注明类别和代码。
