薄膜真空技术

1、第四篇无机薄膜材料的制备,第一章无机薄膜材料的制备,作为特殊形态材料的薄膜科学,已经成为微电子,信息,传感探测器,光学及太阳能电池等技术的基础,当今薄膜科学与技术已经发展为一门跨多个领域的综合性学科,涉及物理,化学,材料科学,真空技术和等离。

2、绪论,1,电子薄膜技术,主讲教师,徐进办公室,F410电话,83432236邮箱,绪论,2,第一堂课主要内容,课程情况介绍课程考核方式薄膜材料的定义薄膜技术的发展课程教学内容,绪论,3,课程性质,微电子制造方向专业课课程特点,内容丰富,概念。

3、1,薄膜材料与技术1,李美成2008秋季学期,2,教材参考书,电子薄膜材料，曲喜新等编著，科学出版社，1997年11月薄膜科学与技术手册，田民波刘德令编著，机械工业出版社，1991年 薄膜技术，王力衡黄运添郑海涛著，清华大学出版社，1991。

4、薄膜材料与薄膜技术,王成新,薄膜材料的简单分类,薄膜材料,涂层或厚膜,薄膜,1um,材料保护涂层,材料装饰涂层,光电子学薄膜,微电子学薄膜,其它功能薄膜,1um,力,热,磁,生物等,薄膜材料的制备技术,薄膜材料的制备技术,机械或化学方法,真。

5、薄膜技术与材料ThinFilmMaterials,参考书,薄膜材料制备原理,技术及应用冶金出版社2003年1月第二版,问邹胀幂恩冰衬绝丈易八雁奄鼓蝎嘶搔甘杉蜒巳绎镊植痉仍肛途腔铱躬笑设备工艺,薄膜技术与材料,PPT77页,设备工艺,薄膜技术。

6、10气相沉积技术,教学目的和要求,学习蒸发镀膜,溅射镀膜,离子镀膜,化学气相沉积等气相沉积技术的基本原理,主要特点,常见方法,技术种类,薄膜的形成过程等,重点掌握各种气相沉积技术的基本原理,主要特点,参考书,杨邦朝,王文生,薄膜物理与技术。

7、10气相沉积技术,教学目的和要求,学习蒸发镀膜,溅射镀膜,离子镀膜,化学气相沉积等气相沉积技术的基本原理,主要特点,常见方法,技术种类,薄膜的形成过程等,重点掌握各种气相沉积技术的基本原理,主要特点,参考书,杨邦朝,王文生,薄膜物理与技术。

8、第一章总论1,1项目名称及承办单位1,1,1项目名称工程技术研发中心1,1,2项目承办单位责人建设单位,芜湖长信科技股份有限公司法人代表,李焕义项目负责人,许沭华1,1,3项目拟建地点项目拟建设在安徽省芜湖市经济技术开发区汽经二路,长信科技。

9、薄膜材料与技术Thin Film Materials Technologies,武涛 副教授2019年 秋季学期,主要教学内容,第 1 章 真空技术基础2 学时 真空的基本知识获得方法和测量技术,第 2 章 薄膜制备的化学方法6 学时 CV。

10、第四章 无机薄膜材料与制备技术,1,t课件,4.1 薄膜及其特性,一 薄膜的定义及其特性 二 薄膜材料的分类 三 薄膜的结构特征与缺陷四 薄膜和基片,2,t课件,一 薄膜的定义及其特性,什么是薄膜thin film，多薄的膜才算薄膜薄膜有时。

11、第四章 无机薄膜材料与制备技术,1,t课件,4.1 薄膜及其特性,一 薄膜的定义及其特性 二 薄膜材料的分类 三 薄膜的结构特征与缺陷四 薄膜和基片,2,t课件,一 薄膜的定义及其特性,什么是薄膜thin film，多薄的膜才算薄膜薄膜有时。

12、第四章 无机薄膜材料与制备技术,4.1 薄膜及其特性,一 薄膜的定义及其特性 二 薄膜材料的分类 三 薄膜的结构特征与缺陷四 薄膜和基片,一 薄膜的定义及其特性,什么是薄膜thin film，多薄的膜才算薄膜薄膜有时与类似的词汇涂层coat。

13、薄膜材料与技术,武涛副教授年秋季学期,主要教学内容,第章真空技术基础,学时,真空的基本知识,获得方法和测量技术,第章薄膜制备的化学方法,学时,技术的原理,分类,设备工艺及应用场合其它基于化学方法的薄膜制备技术的原理,特点和应用领域,第章薄膜。

14、薄膜材料与技术,武涛副教授年秋季学期,主要教学内容,第章真空技术基础,学时,真空的基本知识,获得方法和测量技术,第章薄膜制备的化学方法,学时,技术的原理,分类,设备工艺及应用场合其它基于化学方法的薄膜制备技术的原理,特点和应用领域,第章薄膜。

15、第四章无机薄膜材料与制备技术,4,1薄膜及其特性,一,薄膜的定义及其特性二,薄膜材料的分类三,薄膜的结构特征与缺陷四,薄膜和基片,一,薄膜的定义及其特性,什么是,薄膜,thinfilm,多,薄,的膜才算薄膜,薄膜有时与类似的词汇,涂层,co。

16、薄膜制备的真空技术基础,1,1薄膜制备的真空技术基础,1,1气体分子运动论的基本概念1,2气体的流动状态和真空抽速1,3真空泵简介1,4真空的测量,薄膜制备的真空技术基础,2,1,1气体分子运动论的基本概念,固体,液体,气体,薄膜制备的真空。

17、第1章薄膜制备的真空技术基础,检位院棕达宛敢稽填闯唉烂阐虎挽童蹋甘侮侠苯汝米社介滴肪鸥科跟做咏第一章薄膜制备的真空技术基础第一章薄膜制备的真空技术基础,1,真空的定义,真空泛指压力低于一个大气压的任何气态空间,1,1真空的基本知识,2,真空。

18、真空设备,为什么镀膜需要真空环境,膜料,基板,液态,气态,物理气相淀积,化学气相淀积,气相淀积的优势,牢固,外延生长,液相,转移到基板表面,固态,箔金,镀膜的一般过程,真空的基本知识一,真空的定义,二,度量单位,三,区域划分,四,真空在薄膜。

19、真空设备,为什么镀膜需要真空环境,膜料,基板,液态,气态,物理气相淀积,化学气相淀积,气相淀积的优势,牢固,外延生长,液相,转移到基板表面,固态,箔金,镀膜的一般过程,真空的基本知识一,真空的定义,二,度量单位,三,区域划分,四,真空在薄膜。