MEMS及新兴代工模式

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19、压力传感器名词解释,微型电子机械系统或微机电系统,是利用半导体集成电路加工和超精密机械加工等多种技术,并应用现代信息技术制作而成的微型器件或系统,半导体集成电路,一种通过一定工艺把一个电路中所需的晶体管,二极管,电阻,电容和电感等元件及布线。

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