清洗和制绒工艺

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16、,集成电路工艺技术,集成电路工艺技术,集成电路工艺INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY,第一章 半导体衬底 第二章 氧化第三章 扩散第四章 离子注入 第五章 光刻第六章 刻蚀第七章 化学气相沉积 第八章 化学机械化平坦。

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20、第3章 污染控制芯片制造基 本工艺概述,2,第3章 污染控制芯片制造基本工艺概述,本章3学时目标:,1列出至少三种在芯片厂中尽量减少人员污染的技术,2掌握晶片的清洗技术,3重点理解一号和二号溶液的使用方法,4鉴别和解释四种基本的芯片生产工艺。

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