新一代工艺及器件仿真工具Sentaurusppt课件

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2、第章可制造性设计工具,简介,全面继承了,和,的特点和优势,它可以用来模拟集成器件的工艺制程,器件物理特性和互连线特性等,提供全面的产品套件,其中包括,等等,浙大微电子,简介,和可以支持的仿真器件类型非常广泛,包括,功率器件,存储器,图像传感。

3、1,1,半导体工艺和器件模拟,2.本课程主要研究内容:半导体工艺模拟在计算机辅助下,运用数学模型对具体工艺进行模拟的过程。半导体器件模拟通过工艺模拟得出的杂质分布结果,并施加一定的偏压,对所制造器件的电学性质进行分析和研究。课程重点:工艺流。

4、第6章 器件仿真工具DESSIS的模型分析,器件仿真主要是通过解一系列的数学物理偏微分方程,以得到相应器件的电热特性。描述半导体器件中电荷传输的主要方程有:泊松方程电子连续性方程空穴连续性方程,分别如下式所示: 6.1 6.2 6.3,23。

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6、微电子工艺设计讲义南通大学电子信息学院电子科学与技术教研室王强目录1引言2器件结构构建3工艺过程4二极管制造设计5双极性晶体管设计6MOS设计第一章引言当今,仿真,simulation,这一术语已不仅广泛出现在各种科技书书刊上,甚至已频繁出。

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