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1、中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:32 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0中緯積體電路(寧波)新建工程氣體管線二次配工程規範CONTENTSPAGES1.目的32.範圍33.文件送審44.施工說明45.其他說明96.驗收標準107.保固期限121. 目的為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。2. 範圍2.1. 製程設備氣體管線Hook-up工程材料採
2、購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號SP-211)；各VMB/VMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP-212)；氣體站至FAB間氣體管線，
3、請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231)；而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。2.2. 前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、
4、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO圖面，需依照機台用量流程圖(P&ID)及機台設備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業主確認。2.3. 本項工程為連工帶料施工，並包含施工中所需之施工工具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等，均由承包商負責。2.4. 配合”二次配工程說明”(規範標號NS-SP001)要求所需各項雜項費用。2.5. 所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。2.6. 所有管路防震固定支撐架之安裝定位。2.7. 高架地板開孔及收邊之工程發包、請款，切割區域管理。2.8. 氣體站至FAB間管線所需管橋由業主提
5、供，承包商需負責依業主指示規劃氣體管線路徑，並負責安裝所需管夾等固定裝置。3. 文件送審文件名稱投標階段(3份)設計階段(5份)竣工階段(5份)報價表(Quotation form)X專案組織表(Project organization)XX專案執行時程表(Project schedule)XX工程界面清單及位置圖(List & location of tie-in point)XXX系統管儀圖(P&IDs)XXX焊接設備清單(Equipment list)XXX設備及材料型錄及資料(Vendors catalogs and information to support his quotati
6、on， including electrical system & I/C system)XXX儀表安裝詳圖(Instrument installation drawing)XX送審文件清單及時程(Transmittal list and schedule)X品質管制程序書(Quality control procedure)X工地辦公室及物料暫存區需求(Site office and warehouse requirements)X驗收及測試計劃/報告(Inspection & test plan/reports)XX製造商測試報告(Manufactures inspection & tes
7、t reports/records)XX計算書(Contractors calculations)XX管線配置圖(Pipe routing plan)XXX管線支撐詳圖(Pipe support drawing)XX管材規格(Piping material specification)XX管線施工程序書(Piping construction specification)XX註：1.承包商需於得標後一周內提出文件送審清單，並於施工前2周提送設計文件及相關管件及標示實體供審核；送審圖面則需在業主提出意見後3天內修改並再次送審。2.所有送審文件必須以中文或英文書寫；英文送審文件需附中文說明。3.所
8、有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔4. 施工說明4.1. 一般說明4.1.1. 承包商應於施工前提送施工程序書及管路測試程序書，經審核通過後，方可據以施工。4.1.2. 承攬商需於工作場所設置工程負責人，需有相關工程經歷三年以上，其工作職責為：4.1.2.1. 施工進度控制。4.1.2.2. 施工人員管理及安排。4.1.2.3. 材料數量管制。4.1.2.4. 現場會勘放樣。4.1.2.5. 參與承攬商溝通協調會議4.1.3. 承攬商需於工作場所設置品管負責人，需有相關工作經歷三年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：4.1.3.1. 施工品質控制。4.1.3.2. 施工完工品質驗收。
9、4.1.3.3. 施工驗收報告匯總。4.1.3.4. 原料進廠自主檢查。4.1.4. 承攬商需於工作場所設置物管負責人，需有相關工作經歷一年以上，其工作職責為：4.1.4.1. 材料數量管理。4.1.4.2. 進廠料件驗收。4.1.5. 承攬商需於工作場所設置工安衛負責人，需有相關工作經歷一年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：4.1.5.1. 現場安全衛生工作監督。4.1.5.2. 參與承攬商安全衛生協調會議。4.1.5.3. 承攬商施工人員安全衛生訓練。4.1.6. 施工人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留三組，每組人員最少三人，每組至少有一人有焊接執照，並由
10、一資深組長帶領，所有進廠施工之人員必須經過認可且通過工安檢定之人員。4.1.7. 品管人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留一組，每組人員最少二人，由一資深組長帶領，但不可由品管負責人擔任。4.1.8. 承攬商有任何人員調動需經過認可，且業主相關之人員有權提出異議要求更換，承攬商不得有異議。4.2. 材料說明4.2.1. 氣體管線之分類及其材質要求如下表規定辦理。氣體種類材質a.一般大宗氣體GN2CDACDA (for burnbox)SUS 316L BA/ 5SSUS 316L AP/ 5SSUS 304 / 5Sb.自燃性氣體SiH4, SiH4/N2, PH3/N2
11、內管SUS 316L EP/外管SUS 304c.其他氣體PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF, CHF3, CF4, C2F6, SF6, PAr, PHe, N2O, He/O2SS 316L EP/ 5S；另BCl3、SiH2Cl2之管線需提供加熱帶以確保供氣量。4.2.2. 各類管線、管件及儀表廠牌，請依下表規定辦理，承包商應以一次配選用廠牌為優先考量，如欲選用非下表規定之廠牌，需經過業主審核同意後使得選用。項目規格廠牌a.SUS 316L BA pipeRmax 3.0mSumikin/ Kuzeb
12、.SUS 316L BA tubeRmax 3.0 mSumikin/ Kuzec.SUS 316L BA fitting (for pipe)Rmax 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-letd.SUS 316L BA fitting (for tube)Rmax 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-lete.SUS 316L EP pipeRmax 0.7 mSumikin/ Kuzef.SUS 316L EP tube (註1)Rmax 0.7mSumikin/ Kuzeg.SUS 316L EP fitting (註1)Rmax 0
13、.7mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-leth.SUS 316L BA valve (15A)Bellow valve, Rmax 4.5 mKitz/ Ohno/ Motoyamai.SUS 316L BA valve ( 15A)Diaphragm valve, Rmax 3.0 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyamaj.SUS 316L EP valve (15A)Bellow valve, Rmax 1.0 mKitz/ Ohno/ Motoyamak.SUS 316L EP valve ( 15A)Diaphragm valve, Rmax
14、0.7 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyamal.RegulatorSUS 316L EP, VCR type, Rmax 0.1 m)PN2、PO2 每段支管末端。 所有機台Tie-in點前。1 pcs/scf ( 0.1 m)其他製程氣體機台Tie-in點前1 pcs/scf ( 0.1 m)6.6. 氧氣含量測試：6.6.1. 承包商應使用PN2作為purge gas，並連續紀錄氧氣含量變化，以觀察其下降趨勢及作為是否合格之依據。6.6.2. 各類氣體測試點及含量要求應依下表辦理：氣體種類應測試位置氧氣含量要求GN2 每段支管末端。 所有機台Tie-in點前。100
15、 ppbPN2 每段支管末端。 所有機台Tie-in點前。10 ppb其他製程氣體機台Tie-in點前10 ppb6.7. 驗收時需檢附各項測試報告及竣工ISO圖面。7. 保固期限自驗收合格後保固期限一年。附件一Bulk Gas Take-off ListTAKE-OFFTAKE-OFFTool機台流量機台接機台接NOTENO.尺寸LPM頭尺寸頭型式GN55011/2CV-etcher/QC LabCV-etcher55 3/8DECAP(QC)-1/8ETCHER(QC)-1/4GN55021/29F19F125 1/49F1120 3/89F1120 3/8GN55031/29F29F21
16、20 3/89F2120 3/8GN55041/28F8F55 3/88F50 3/88F50 3/8GN55051/2WJ-999(1)/(2)WJ-999(1)55 3/8WJ-999(2)55 3/8GN55061/2SPAREGN55071/2ND-6200ND-620020 1/4ND-620020 1/4GN55081/2NOVELLUSNOVELLUS20 1/4NOVELLUS20 1/4GN55091/2SPAREGN55101/2SPAREGN55111/2SPAREGN55121/2SPAREGN55131/2AMI 8330CAMI 8330C3 1/4AMI 8330
17、C3 1/4AMI 8330C3 1/4AMI 8330C3 1/4GN55141/2SPAREGN55151/2AMI 8330DAMI 8330D3 1/4AMI 8330D3 1/4AMI 8330D3 1/4AMI 8330D3 1/4GN55161/2AMI 8330BAMI 8330B3 1/4AMI 8330B3 1/4AMI 8330B3 1/4AMI 8330B3 1/4GN55171/2SPAREGN55181/2LAM 590A/PSC-4LAM 590A10 1/2LAM 590A3 1/2LAM 590A3 1/4LAM 590A1 1/2PSC-43 1/4PSC-
18、43 1/4GN55191/2LAM 590C/BLAM 590C10 1/2LAM 590C3 1/2LAM 590C3 1/4LAM 590C1 1/2LAM 590B10 1/2LAM 590B3 1/2LAM 590B3 1/4LAM 590B1 1/2GN55201/2LAM 4420A/B/S6000LAM 4420A10 3/8LAM 4420A10 3/8LAM 4420A3 1/4LAM 4420A3 1/4LAM 4420B10 3/8LAM 4420B10 3/8LAM 4420B3 1/4LAM 4420B3 1/4S6000-1/4GN55211/2SPAREGN55
19、221/2LAM 490C/BLAM 490C10 1/2LAM 490C3 1/2LAM 490C3 1/4LAM 490C1 1/2LAM 490B10 1/2LAM 490B3 1/2LAM 490B3 1/4LAM 490B1 1/2GN55231/2LAM 490ALAM 490A10 1/2LAM 490A3 1/2LAM 490A3 1/4LAM 490A1 1/2GN55241/2Tegal900A/B(位置未定)Tegal900A3 1/4Tegal900A3 1/4Tegal900B3 1/4Tegal900B3 1/4GN55251/2SPAREGN55261/2SPAR
20、EGN55271/2H2H2-3/8H2-3/8GN55281/2HF170 3/8GN55291/2SPAREGN55301/2H1H1-3/8H1-3/8GN55311/2H3170 3/8GN55321/2SPAREGN65011/27F7F55 3/87F150 3/8GN65021/27F7F150 3/87F150 3/8GN65031/26F55 3/8GN65041/2SPAREGN65051/2SPAREGN65061/2SOG-27 3/8GN65071/2SPAREGN65081/2SPAREGN65091/2SPAREGN65101/2AMI 8310B/AAMI 83
21、10A3 1/4AMI 8310A3 1/4AMI 8310A3 1/4AMI 8310A3 1/4AMI 8310B3 1/4AMI 8310B3 1/4AMI 8310B3 1/4AMI 8310B3 1/4GN65111/2SPAREGN65121/2MATRIX(1)/(2)MATRIX(1)3 1/2MATRIX(2)3 1/2GN65131/2LAM 4520LAM 452010 3/8LAM 452010 3/8LAM 45203 1/4LAM 45203 1/4GN65141/2SPAREGN65151/2SPAREGN65161/2PSC-5PSC-53 1/4PSC-53
22、1/4GN65171/2SPAREGN65181/2PSC-3/1PSC-33 1/4PSC-33 1/4PSC-13 1/4PSC-13 1/4GN65191/2SPAREGN65201/2SPAREGN65211/2SPAREGN65221/2SPAREGN65231/2SPAREGN65241/2CDO 1/2/3(位置未定)CDO 1-1/4CDO 2-1/4CDO 3-1/4GN65251/2SPAREGN75011/2SPAREGN75021/25F/4F5F55 3/84F55 3/8GN75031/23F55 3/8GN75041/2SPAREGN75051/2CR-1991
23、1/2GN75061/2CR-1991 1/2GN75071/2STEPPER14/COATER7/8STEPPER1420 1/4COATER7/8-3/8GN75081/2CR-3991 1/2GN75091/2STEPPER13/8STEPPER1320 1/4STEPPER820 1/4STEPPER720 1/4STEPPER320 1/4GN75101/2SPAREGN75111/2CR-3991 1/2GN75121/2STEPPER12/6/2STEPPER1220 1/4STEPPER620 1/4STEPPER220 1/4GN75131/2SPAREGN75141/2STEPPER11/5/1STEPPER1120 1/4STEPPER520 1/4STEPPER120 1/4GN75151/2SPAREGN75161/2OBM/M3OBM30 1/4M3170 1/4M3170 1/4GN75171/2UL-2/AN1UL-2-3/8AN145 3/8
