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1、,厦门天马微电子项目废气排放处理系统操作手册,风机远程上位及HMI操作,10、,厦门天马微电子项目废气排放处理系统操作手册,主站 PLC状态指示,PLC通讯地址，故障时会报警,中控室电脑,第一章、废气系统PLC网络架构状态,无尘室PLC 站点,SEX/CVD PLC 站点,GEX/AEX/STR/ORG PLC 站点,SEX/CVD HMI 站点,GEX/AEX/STR/ORG HMI 站点,从站 PLC状态指示,第二章、废气控制系统风机操作（本地）,电压表,电流表,变频器操作面板,本地/切换开关,谐波滤波器手/自动选择开关,入口风门手/自动选择开关,风机手动启动按钮,风机手动停止按钮,入口风
2、门手动开启按钮,入口风门手动关闭按钮,谐波滤波器手动关闭按钮,谐波滤波器手动开启按钮,风机变频器故障指示,风机散热风扇故障指示,第二章、废气控制系统风机操作（本地）,1、风机本地启停控制：,（1）开启风机动力盘柜的主电源开关和风机动力电源开关，以及控制回路电源开关。,（2）操作模式选择开关置于“本地”，点击“风机启动”按钮，风机气动，按下“风机停止”按钮，风机停止。,风机动力盘总开关,风机动力开关,操作模式开关,风机启动按钮,风机停止按钮,第二章、废气控制系统风机操作（本地）,2、风机本地频率给定：,（1）风机手动开启后，通过变频器操作面板上的上，下，左，右键来设定变频器的频率值。,上键（增加
3、频率值）,左键（移动频率数值位数）,上键（降低频率值）,右键（移动频率数值位数）,第三章、废气控制系统谐波滤波器操作,1、谐波滤波器手动控制：,（1）谐波滤波器手/自动选择开关置于“手动”位置，按下“谐波滤波器启动“按钮，谐波滤波器投入，按下“谐波滤波器停止“按钮，谐波滤波器撤出。,（1）谐波滤波器手/自动选择开关置于“自动”位置，风机启动，谐波滤波器投入，风机停止，谐波滤波器撤出。,谐波滤波器手/自动选择开关,谐波滤波器手动启动按钮,谐波滤波器手动停止按钮,2、谐波滤波器自动控制：,第四章、废气控制系统入口气动风门操作,1、入口气动风门手动控制：,（1）入口气动风门手/自动选择开关置于“手动
4、”位置，按下“入口气动风门开启“按钮，入口气动风门开启，按下“入口气动风门关闭“按钮，入口气动风门关闭。,（1）入口气动风门手/自动选择开关置于“自动”位置，风机启动，频率到达15HZ以上，入口气动风门开启，风机停止，频率到达15HZ以下，入口气动风门关闭。,入口气动风门手/自动选择开关,入口气动风门手动开启按钮,入口气动风门手动关闭按钮,2、入口气动风门开启自动控制：,第五章、废气控制系统循环泵操作,1、循环泵手动控制：,（2）循环泵手/自动选择开关置于“手动”位置，按下“循环泵开启“按钮，循环泵启动，按下“循环泵停止“按钮，循环泵停止。,（1）循环泵手/自动选择开关置于“自动”位置，风机启
5、动且洗涤塔液位高于低液位，循环泵启动，风机停止或洗涤塔液位低于超低液位，循环泵停止。,洗涤塔控制盘总开关,循环泵马达保护器,循环泵选择开关,2、循环泵自动控制：,（1）开启洗涤塔控制盘主电源和控制电源，以及循环泵的马达断路器。,（2）循环泵手/自动选择开关置于“自动”位置，循环泵-A过载或者选择开关不在自动位置，循环泵-B启动。反之依然。,循环泵手动启动按钮,循环泵手动停止按钮,循环泵过载指示,第六章、废气控制系统加药机操作,1、加药机手动控制：,（2）加药机手/自动选择开关置于“手动”位置，按下“加药机开启“按钮，加药机启动，按下“加药机停止“按钮，加药机停止。,（1）加药机手/自动选择开关
6、置于“自动”位置，循环泵启动且排水阀关闭且PH控制器到达设定动作值，加药机启动，循环泵停止或排水阀开启或PH控制器到达设定停止值，加药机停止。,PH控制器,加药机选择开关,2、加药机自动控制：,（1）开启洗涤塔控制盘主电源和控制电源，以及加药机的马达断路器。,（2）加药机手/自动选择开关置于“自动”位置，加药机-A过载或者选择开关不在自动位置，加药机-B启动。反之依然。,加药机手动启动按钮,加药机手动停止按钮,加药机过载指示,第七章、废气控制系统补水阀操作,1、补水阀手动控制：,（1）补水阀手/自动选择开关置于“手动”位置，补水阀开启，补水阀手/自动选择开关置于“关闭”位置，补水阀关闭。,（1
7、）补水阀手/自动选择开关置于“自动”位置，排水阀关闭且洗涤塔液位低于低液位，补水阀开启，排水阀开启或洗涤塔液位高于高液位，补水阀关闭。,补水阀选择开关,2、补水阀自动控制：,洗涤塔液位显示,补水阀开启灯,第八章、废气控制系统排水阀操作,1、排水阀手动控制：,（1）排水阀手/自动选择开关置于“手动”位置，排水阀开启，排水阀手/自动选择开关置于“关闭”位置，排水阀关闭。,（1）排水阀手/自动选择开关置于“自动”位置，补水阀关闭且洗涤塔液位高于低液位且电导度控制器到达动作点，排水阀开启，补水阀开启或洗涤塔液位低于高低液位或电导度控制器到达停止点，排水阀关闭。,排水阀选择开关,2、排水阀自动控制：,电
8、导度控制器,排水阀开启灯,第九章、废气控制系统消防阀操作,1、消防阀手动控制：,（1）消防阀手/自动选择开关置于“手动”位置，消防阀开启，消防阀手/自动选择开关置于“关闭”位置，消防阀关闭。,（1）消防阀手/自动选择开关置于“自动”位置，温度控制器到达动作点，消防阀开启，温度控制器到达停止点，消防阀关闭。,消防阀选择开关,2、消防阀自动控制：,温度控制器,消防阀开启灯,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,点击此界面进入废气系统监控画面,1、上位电脑开机画面：,（1）开启中控电脑，运行INTOUCH运行系统，出现开机画面。,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,2、废气系统总监控画面：,（1）
9、点击”M1制程废气系统“按钮，进入到废气系统总监控画面。,静压显示值及风机运行状态,风机运行状态,风机运行频率,风机运行模式,入口气动风门开关状态,当前日期和时间,图片树区,即时报警区,系统功能栏,FMCS系统首页,工作区,系统切换栏,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,3、无尘室末端支管静压监控画面：,（1）点击系统功能栏中”L10 PIPE LAYOUT“按钮，进入到无尘室末端支管静压监控画面。,各废气处理系统末端静压显示值,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,4、功能显示区大实时报警画面：,（1）点击系统功能栏中”即时报警“按钮，进入到大实时报警监控画面。,信息行,消息列表按钮，点击
10、后图片树区停止闪烁，报警消除后，图片树区变成灰色正常,报警信息的前半部分，包括报警信息产生的日期，时间以及优先级。,报警信息的后半部分，包括产生报警信息标签名以及此报警信息的进一步描述。,报警状态信息说明,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,5、功能显示区历史报警画面：,（1）点击系统功能栏中”历史报警“按钮，进入到历史报警监控画面。,信息行,选择报警类别,开始日期输入,开始时间输入,结束日期输入,结束时间输入,查询按钮,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,1.消息类型,消息的类型 故障消息 系统的设备故障信息，如设备热过载跳脱、变频器故障等。报警or警告消息 系统的报警信息，如变量的高高
11、警告，低低警告；设备开启或关闭反馈报警 等。,根据消息的当前状态（“来的”或“去的”）和确认状态（“已确认”或“未确认”）来划分消息状态。“来的”和“去的”消息状态是指触发消息的事件是否还在，如触发消息的事件还在，即消息的引起原因还在，则为“来的”消息，如若触发消息的事件已经消失，则为“去的”消息。消息的状态类型有以下四种：“来/且未确认”消息“来/已确认”消息“已去/未确认”消息“已去/已被确认”消息,2.消息状态,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,6、功能显示区实时/历史曲线画面：,（1）点击需要显示曲线的变量，进入到对应的系统画面，点击其数据，后点击”R按钮，清除所有曲线，按下“+”
12、，点击系统功能栏中”实时曲线“按钮，进入到实时曲线监控画面。变量前打勾，点击“刷新”按钮，即看到变量的曲线。,操作者可在登陆窗口中输入正确的用户名和密码，执行用户登陆。或注销登陆,输入框,（2）点击需要显示曲线的变量，进入到对应的系统画面，点击其数据，后点击”R按钮，清除所有曲线，按下“+”，点击系统功能栏中”历史曲线“按钮，进入到历史曲线监控画面。变量前打勾，点击“刷新”按钮，即看到变量的曲线。,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,打开即时报警,屏幕打印按钮,用户登录状态信息,打开历史报警,创建/打开即时曲线,PLC状态显示,报警全部确认,用户登录/退出,创建/打开历史趋势,报警单个确认,
13、数据刷新按钮,曲线打印按钮,删除曲线按钮,历史/实时曲线勾选框,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,7、压差传讯器报警设定画面：,（1）点击系统功能栏中”登入“按钮，输入用户名，密码，确认进入权限。,静压传讯器代码,（2）点击需要设定静压传讯器的变量，进入到对应的系统画面，点击其数据，弹出设定画面。,静压值,超高点报警设定,超低点报警设定,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,8、以碱排系统为例，介绍风机远程画面操作步骤：,（1）点击右侧树形目录中”AEX系统“按钮，右上角的系统切换树，出现酸排的系统功能切换按钮，点击对应的按钮，进入到AEX系统不同的功能画面，现先简单介绍监视画面，后介绍风
14、机自动操作画面。,（2）点击“M1_S8_AEX_PID按钮，进入到AEX系统废气处理总流程画面。,风机状态,日用药桶液位状态,塔内压差值,仪表数据,循环泵状态,加药机状态,风门状态,主管静压值,该画面按钮,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,风机、水泵及加药泵及阀门：绿色代表运行，红色代表停止，黄色代表故障或过载,1、图标和颜色的定义,2、数值设定定义：,补水及排水阀门：绿色代表开启，红色代表关闭,风机风门：绿色代表开启，红色代表关闭，灰色代表未开关到位,数值设定：通过可点击功能框实现，在登录的状况下，点击后，方可进行数值更改。,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,（3）点击“M1_S8
15、_AEX_SCR1按钮，进入到AEX-1系统废气处理洗涤塔及风机的详细流程画面。,风机状态,日用药桶液位状态,塔内压差值,仪表数据,循环泵状态,加药机状态,风门状态,主管静压值,该画面按钮,消防阀状态,排水阀状态,补水阀状态,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,（4）点击“M1_S8_AEX_COL按钮，进入到AEX-1系统废气处理洗涤塔及风机的风机远程操作画面。,切机静压及频率功能选择,实时静压值选择开关,风机控制模式,切机静压及时间设定,风机，风门状态,PID设定/显示值,末端支管静压值,PID状态,切机频率及时间设定,风机远程手/自动状态,手动频率设定,PID控制手动/自动选择,P，I
16、值设定,风机自动排序,PID输出频率值,第十章、废气控制系统风机操作（远程）,1.风机动力控制盘选择开关置于”远程“模式。,（5）风机远程手动启停操作：,2.上位机画面中，风机操作模式置于”手动“，按下”启动“按钮，风机启动。风机操作模式置于”手动“，按下”停止“按钮，风机停止。,1.上位画面中，手动输入要运行的频率值。,（6）风机远程手动频率给定操作：,1.风机动力控制盘选择开关置于”远程“模式。,（7）风机远程自动启停操作：,2.上位机画面中，风机操作模式置于”自动“，风机排序为1，风机启动。如果想两台风机同时运行，修改最小运行台数为2.同样切换风机-B操作模式置于”自动“，风机排序为2，
17、风机-B启动。,1.上位画面中，风机PID选择开关，置于手动位置。手动输入运行的频率值，风机更具此值运转。,（8）风机远程PID手动频率给定操作：,1.上位画面中，风机PID选择开关，置于自动位置。输入PID设定值。选择末端静压参考值，末端静压分手动和自动选择两种模式，在手动模式下，手动点击1或者2.自动模式下，系统采集静压大的值为静压参考值。风机根据PID运算输出的频率值运转。,（9）风机远程PID自动频率给定操作：,第十一章、上位机和触摸屏功能对应：,第十一章、上位机和触摸屏功能对应：,第十一章、上位机和触摸屏功能对应：,1.风机编号,（1）触摸屏画面名称：,（2）上位机画面名称：,2.本
18、地/远程,3.加/减载排序手自动,4.手动启停,5.PID手自动,6.排序号码,7.输出频率值,8.手动输入值,9.频率反馈,10.PV,11.SV,12.OUT,13.最大频率,14.最小频率,15.设备总台数,16.最小运转台数,17.计算后输出台数,18.静压过低减载,19.静压过高加载,20.频率过高加载,21.频率过低减载,1.设备名称,2.控制方式,3.控制状态,4.手动启停控制,5.PID手自动,6.排序号码,7.输出频率值,8.风机手动频率,9.风机频率状态,10.显示值,11.设定值,12.PID PV输出,13.最大运转频率,14.最小运转频率,15.设备总台数,16.最小
19、运转台数,17.计算后输出台数,18.静压过低减载,19.静压过高加载,20.频率过高加载,21.频率过低减载,第十二章、供药系统上位机操作,碱排系统补药阀状态,STR系统补药阀状态,碱排系统日用槽液位,STR系统日用槽液位,硫酸输送泵状态,硫酸回流阀状态,硫酸排液阀状态,硫酸贮存槽液位,防冻模式切换开关,第十二章、供药系统上位机操作,碱排系统补药阀状态,STR系统补药阀状态,碱排系统日用槽液位,STR系统日用槽液位,硫酸输送泵状态,硫酸回流阀状态,硫酸排液阀状态,硫酸贮存槽液位,防冻模式切换开关,第十二章、供药系统上位机操作,第十二章、供药系统上位机操作,1、硫酸输送泵手动控制：,（2）硫酸
20、输送泵手/自动选择开关置于“手动”位置，按下“硫酸输送泵开启“按钮，硫酸输送泵启动，按下“硫酸输送泵停止“按钮，硫酸输送泵停止。,（1）硫酸输送泵手/自动选择开关置于“自动”位置，硫酸供药桶液位高于超低液位且碱系统或STR系统日用药桶液位低于低液位，硫酸输送泵启动，硫酸供药桶液位低于超低液位且碱系统或STR系统日用药桶液位高于高液位，硫酸输送泵停止。,2、硫酸输送泵自动控制：,（1）开启供药控制盘主电源和控制电源，以及硫酸输送泵的马达断路器。,（2）硫酸输送泵手/自动选择开关置于“自动”位置，硫酸输送泵-A过载或者选择开关不在自动位置，硫酸输送泵-B启动。反之依然。,第十二章、供药系统上位机操
21、作,硫酸输送泵手/自动选择,硫酸输送泵启动按钮,硫酸输送泵停止按钮,硫酸输送泵过载指示,供药系统总空开,输送泵马达保护器,第十二章、供药系统上位机操作,1、硫酸加药阀门手动控制：,（2）登录权限，输入用户名和密码，默认直接点击进入。,（3）点击H2SO4补药系统中，1#补药阀中，“手动”按钮，点击“ON,阀门开启。点击“OFF,阀门关闭。2#补药阀和回流阀一样的操作。,（1）点击触摸屏画面中”H2SO4系统按钮，进入到硫酸供药流程图，点击1#补药阀，弹出补药阀的操作画面。,2、硫酸加药阀门自动控制：,（2）登录权限，输入用户名和密码，默认直接点击进入。,（3）点击H2SO4补药系统中，1#补药
22、阀中，“自动”按钮，如果碱排日用桶槽液位在低液位一下且供药桶硫酸液位在超低液位以上，1#阀开启，硫酸输送泵启动。2#补药阀中，“自动”按钮，如果STR排日用桶槽液位在低液位一下且供药桶硫酸液位在超低液位以上，2#阀开启，硫酸输送泵启动。回流阀中，“自动”按钮，如果如果防冻模式开启，1#/2#补药阀关闭且供药桶硫酸液位在超低液位以上，回流阀打开，硫酸输送泵启动，1#/2#补药阀开启，回流阀关闭，硫酸输送泵停止。供药桶硫酸液位在超低液位以下，回流阀关闭，硫酸输送泵启动。回流阀中，“自动”按钮，如果如果防冻模式关闭，回流阀关闭。,（1）点击触摸屏画面中”H2SO4系统按钮，进入到硫酸供药流程图，点击
23、1#补药阀，弹出补药阀的操作画面。,第十二章、供药系统上位机操作,第十三章、冷凝器系统上位机操作,冷却水出水流量,冷凝器塔压,冷却水出水温度,废气入口温度,废气出口温度,废液排放泵状态,冷却水入口温度,冷凝器液位状态,废液输送泵状态,冷却水出水比例阀,第十三章、冷凝器系统上位机操作,集合式指示灯,废气/冷却水进出口温度控制器,冷却水出水流量控制器,冷凝器塔压控制器,废液输送泵手/自动选择开关,废液输送泵手动启动按钮,废液输送泵手动停止按钮,第十三章、冷凝器系统上位机操作,1、废液输送泵手动控制：,（2）废液输送泵选择开关置于“手动”位置，点击“启动按钮,废液输送泵启动。点击“停止”按钮,废液输送泵停止。,（1）开启冷凝器控制盘主电源和控制回路以及废液输送泵空开。,（1）废液输送泵手/自动选择开关置于“自动”位置，冷凝器液位高于高液位，废液输送泵启动，冷凝器液位低于低液位，废液输送泵停止。,2、废液输送泵自动控制：,（2）废液输送泵手/自动选择开关置于“自动”位置，废液输送泵-A过载或者选择开关不在自动位置，废液输送泵-B启动。反之依然。,（1）设定废气出口温度值，PID控制器根据输入的实时显示值，调节输出冷却水出水比例阀的开度。,3、冷却水出水比例阀自动控制：,谢谢,
