特种电子级及电子材料气体可研报告.doc

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1、目 录1、总 论51.1概述51.2 研究结论82、市场预测122.1 国内外市场情况预测122.2 产品市场预测133、产品方案及生产规模143.1产品方案确定原则143.2 产品方案确定143.3 产品质量指标143.4生产规模204、工艺技术方案224.1 工艺技术方案的选择224.2 工艺流程简述244.3 消耗定额284.3 自控技术方案324.4 主要设备的选择354.5 项目清洁生产及循环化措施404.6 标准化405、原材料供应及动力消耗415.1 原辅材料供应415.2辅助材料供应425.3水、电和其他动力供应426.建厂条件和厂址选择436.1 建厂条件436.2厂址选择4

2、57、总图运输、储运和土建467.1 总图运输467.2 储运487.3 土建508、公用工程方案和辅助生产设施548.1 公用工程方案548.2 辅助生产设施608.3 仓储609、节 能619.1 节能设计原则619.2 产品能耗指标及分析619.3 节能措施6110、消 防6410.1 消防设计原则和依据6410.2 项目概况6410.3 消防设施和措施6410.4事故应急池6611、环境保护6811.1 厂址与环境现状6811.2 建设项目的主要污染物6811.3 “三废”治理与综合利用措施7011.4 绿化设计7112、劳动保护与安全卫生7212.1 设计依据7212.2 生产过程中

3、职业危害因素的分析7212.3 职业安全卫生主要防范措施7513、工厂组织和劳动定员7913.1 工厂体制及组织机构7913.2 生产组织和劳动定员7913.3 人员来源和培训7914、项目实施计划8115、 投资估算8215.1投资估算编制说明8215.2投资估算编制依据和说明8215.3投资估算及分析8215.4流动资金估算8216、 资金筹措8316.1资金来源8316.2资金使用计划8317.财务评价8417.1 产品成本和费用估算8417.2 销售收入和税金估算8417.3 财务分析8518.结论8718.1 综合评价8718.2 研究报告的结论88 1、总 论1.1概述1.1.1

4、项目名称、建设单位 项目名称：特种气体及电子级气体系列产品建设项目主办单位名称： 企业性质：股份有限公司 法定代表人： 投资项目性质及类型：新建项目1.1.2 主办单位的基本情况 ，创立于2012年8月，由气体有限公司为投资主体，为技术依托而组建的具有高技术含量的气体公司；公司注册资本1000万元，占地约35亩，员工50名，其中工程技术人员16名。专业从事电子级气体（电子级氨、氯气、磷烷、乙硼烷、砷烷、氟化物及其它电子级电子类混合气体）的提纯、储存、销售；同时还有氧、氮、氩、氢气的提纯、储存、销售的公司。1.1.3 项目提出的背景、投资必要性和经济意义1.1.3.1 项目背景电子气体是IC制造

5、过程中必不可少的原料。同时它也广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤维制造等其它诸多领域。IC制造的前道工序如外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等工艺，几乎都需要不同种类和不同纯度的电子气体，正是这些气体通过不同的工艺使硅片具有半导体性能。电子气体的纯度直接影响IC的性能、集成度、成品率；电子气体占IC制造材料成本的约20%，电子气体的价格影响IC的市场竞争力，所以电子气体是IC制造关键材料之一。随着IC制造工艺及技术的发展，芯片尺寸的不断增大，工艺不断提高，特征尺寸线宽不断减小，要求IC制程用的各种电子气体质量纯度、特定技术指标不断提高。目

6、前8英寸以上工艺要求电子气体纯度大都在99.999%（5.0N）以上，有害杂质甚至要求达到10-9（ppb）。电子气体可以用“超纯”、“超净”来表征。 目前世界IC制造中心不断向中国转移，近几年我国IC增长速度达到每年30%左右，作为IC制造必不可少的关键材料电子气体，其需求总量大大超过人们的预期，到2012年国内电子气体年需求将超过30亿人民币。 我国电子气体整体水平和国外还有一定的差距， 8英寸以上IC生产线使用的电子级电子气体几乎全部依赖进口。同快速发展的我国IC产业相比，与之相关的我国电子气体的研究与生产极相对落后。为适应我国集成电路产业的健康稳定可持续发展，提升我国集成电路装备、工艺

7、及材料的自主创新能力和市场的竞争力，解决我国IC、光电子、太阳能、光伏电池、平板显示器、光导纤维等制造业对国外进口电子气体的依赖。我公司对高纯电子气体的生产工艺技术研究已经成熟、非常必要、意义重大。两硅生产企业需要电子级气体及工业气体，作为硅电子产业园区一体化供气配套的气体项目，园区内供气是当前园区建设的基本需求， 有利于资源的优化配置，形成工业定性规模发展之必须，是衡量园区整体流程合理性及一体化程度的标志之一。1.1.3.2 国家政策国发201032号国务院关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定，明确了新一代信息技术（集成电路、新型显示、高端软件、高端服务器等核心基础产业）和新能源（加快太阳

8、能热利用技术推广应用，开拓多元化的太阳能光伏光热发电市场）是我国加快培育和发展的两大战略新兴产业。本项目属于产业结构调整指导目录（2011本）中鼓励类项目的第十一大条中石化化工中第14条规定的电子气，属于新型精细化学品的开发和生产，符合国家及地方相关产业政策要求。1.1.3.3 项目建设的必要性和经济意义（一）信息技术作为科学技术领域发展最快的门类之一，是一个国家由工业化向信息化发展的根本标志，其重要作用已受到国内外的广泛重视，已成为维护国家安全、增强综合国力的关键所在。能源是人类生存和发展的重要基础，能源是经济社会可持续发展的必要条件。发展新能源，是保持我国经济可持续发展、保护环境、提高能源

9、供应安全事关全局的重大战略性任务，对于我国促进产业结构升级，转变经济发展方式，推动经济平稳较快发展有着十分重要的意义。我国自上世纪六十年代中期研制成功集成电路以来，经过四十年的发展，制造工艺已经达到最高90纳米、主流技术0.18微米的技术水平，已经跨入世界半导体晶元加工制造先进国家行列。目前世界半导体制造的中心不断向亚洲，向中国转移，近几年我国IC增长速度达到每年30%左右，光伏太阳能电池、半导体发光材料（半导体照明）和平板显示器件的发展势头也异常迅猛。（二）高纯电子气体是“信息技术”和“新能源”两大战略性新兴产业的关键支撑材料，是高端通用芯片技术、12英寸集成电路芯片生产工艺、高性能半导体材

10、料（半导体照明材料）规模化生产技术、TFT-LCD平板显示技术等领域的关键原材料，同时也是硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的关键材料。电子气体通过外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等关键工艺使硅材料（基底材料）具备半导体等光电性能，它决定了集成电路、半导体材料的性能、集成度、成品率，被称为半导体集成电路制造的“粮食”或“源”，是众多高新技术产业不可或缺的关键原材料，具有通用性强、系列化程度高的特点。长三角及周边地区是我国半导体集成电路产业集聚地，根据半导体集成电路市场需求，不断开拓长三角区域的业务，发挥区域优势，结合中国提供的电子气体产品新技术，为我国信息技术和新能源产业的发展做出积

11、极的贡献。（三）在长三角地区，一共有4家电子材料中心（液化空气张家港材料中心、林德苏州、大阳日酸扬州、昭和电工），他们全部为外资公司，长时间的技术垄断，我们要为民族工业的振兴做出自己的努力。因此，实施新的工程建设，生产以上产品，是很必要的。1.1.4 编制依据、指导思想和原则1.1.4.1 可行性研究报告编制的依据1）可行性研究报告的内容和深度按中国石油和化学工业联合会中石化联产发【2012】115号文关于印发化工投资项目可行性研究报告编制办法（修订版）编制。2）中华人民共和国工业和信息化部公告2013年第35号；3）提供的相关基础资料。4）国家有关法规和技术标准文件；5）与设计有限公司（乙方

12、）签订的项目可行性研究报告编制合同。1.1.4.2 可行性研究报告编制的指导思想和原则 1、本项目“可行性研究报告”按照国家有关工程建设项目可行性研究报告内容和深度的规定，并结合项目具体情况进行编制。2、认真贯彻执行工程设计及工程建设的有关规范、标准。3、工艺技术力求先进、合理、可行，体现国内外先进水平。4、严格按照国家、社会、行业和地区长远发展规划及有关产业政策、技术政策的要求，积极贯彻执行国家及地方的环境保护、“三废”治理、劳动保护、安全卫生、消防方面的法规及其与主体工程建设“三同时”的原则。5、充分依托的基础设施和投资环境，节省项目建设投资。1.1.5 研究范围本可行性研究报告的基本任务

13、是分析论证该项目投资的必要性、工艺技术的可行性及经济上的合理性。其范围为：1）本项目产品的国内、外市场需求预测，产品方案，生产规模的确定及产品价格分析；2）对本项目采用的工艺技术方案进行认证；3）主要设备的选择；4）原材料、公用工程消耗及供应方案确定；6）“三废”处理、劳动保护、消防设施等方案的确定；7）投资估算和财务分析。1.2 研究结论1.2.1 简要结论 经调查研究和分析论证，本报告认为，年产建设项目在技术和经济上都是可行的，其主要结论如下：1）本项目厂址拟建于位于，区内水、电、汽、污水处理、固废处理等公用工程配套齐全，因此本项目选址合理。2）根据国内外市场调查，本项目产品市场容量大，项

14、目实施后可望有较好的经济效益和社会效益。3）本项目建设单位有丰富的化工生产经验，并有较雄厚的技术力量，这为开发本项目产品提供了生产技术和营销的保证。 4）本项目“三废”处理措施切实可行，没有生产工艺污水，对环境造成污染较小。综上所述，本项目的投资是必要的、可行的。1.2.2 主要技术经济指标（表1-1） 表1.1 主要经济技术指标表序号项目名称单位数量备注一产品方案及生产规模1主要产品及生产规模1.1电子级氨t/a1.2电子级磷烷t/a1.3电子级乙硼烷t/a1.4电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化

15、物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气t/a1.5标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）t/a1.6电子级氯气t/a1.7电子级一氧化二氮t/a1.8电子级三氟化硼t/a1.9电子级六氟乙烷t/a1.10电子级一氟甲烷t/a1.11电子级二氟甲烷t/a1.12电子级三氟甲烷t/a1.13电子级八氟环丁烷t/a1.14电子级四氟化碳t/a1.15电子级砷烷t/a二年工作时天四班三运转制三主要原材料用量1工业液氨t/a2工业液氯t/a3医用一氧化二氮t/a4硼氢化钠t/a5磷化铝t/a6碘t/a8液氮t/a9液氩t/a10氦气Nm3/a11液氧t/a12氢气Nm3/a13食品级二氧

16、化碳t/a14环氧乙烷t/a15BF3t/a16C2F6t/a17CH3Ft/a18CH2F2t/a19CHF3t/a20C4F8t/a21CF4t/a22硅烷t/a23砷化锌t/a24稀硫酸t/a四公用动力消耗量1水t/a2电万kWh/a五三废排放量1废水t/a2废气t/a3固废t/a六总定员人1生产人员人2非生产人员人七本项目占地面积m2八综合能耗总量吨标煤/年九单位产品综合能耗吨标煤/吨产品十单位产值综合能耗吨标煤/万元十一工程项目总投资额万元十二年均销售收入万元十三成本和费用1年均总成本费用万元2年均经营成本万元十四年均利润总额万元十五年均销售税金及附加万元十六财务评价指标1总投资收益

17、率%2资本金利润率%3静态投资回收期年4全投资财务内部收益率%5全投资财务净现值（ic=14%）万元万元1.2.3 存在的主要问题和建议1.2.3.1 存在的主要问题特种气体及电子级气体产业属于特种行业的新兴产业，本项目的生产技术在国际、国内处于领先地位。2、市场预测2.1 国内外市场情况预测2.1.1 电子级气体发展情况 电子级气体是IC、LED、LCD、太阳能领域重要的 “源”性气体，没有超纯气体，许多高科技就不可能发展，我国早在“六五”期间就开展超纯气体的系列研究，经过近三十年的技术攻关，尤其是近几年受其下游需求的刺激，中国气体发展发生质的飞跃，中国超纯气体的崛起，改变了国外气体公司在中

18、国一统天下的格局，其中以电子级氨为代表的国产气体，已经成为光伏太阳能企业的主供应商，随着中国光伏发展，国产氨将向质优、价廉的方向发展，其用量将超乎想象，如此大的用气量，正是国产氨竞争的优势，由于氨的化学性质，就近供气将是趋势。2.1.2 电子级气体应用的分布情况(1)电子级液氨 目前，我国电子级氨用户主要集中在光伏、半导体、光导纤、LED以及光伏产业。 (2) 电子级磷烷、电子级砷烷、电子级乙硼烷 使用厂家主要集中在河北、北京、江浙等地区，同时它也广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤及LCD制造等其它诸多领域。(3)含磷烷、乙硼烷组分的混合气体主要应用于LED、半

19、导体、光纤、太阳能等领域，用户多分布于长三角领域。(4) 四氟化碳等含氟化合物在IC 制造工艺过程中大量使用诸如四氟化碳等化合物，含氟气体是重要的不可缺少的电子气体材料，目前应用在6 吋、8 吋线的刻蚀、清洗工艺中。如99.999%的四氟化碳气体国内每年用量约1500瓶，提纯技术及设备、分析测试方法和仪器落后，目前四氟化碳（99.999%）几乎全部从国外进口，每年大约要消耗450多万美金的外汇。(5) 八氟环丁烷为了保护大气臭氧层，目前IC 线上主流的清洗和刻蚀气体之一的C2F6 将被逐步取代，目前国内C2F6 在6吋和8吋线上的用量，每年大约要15000 瓶用量，约合600 吨/年。而八氟环

20、丁烷将替代六氟乙烷担任未来刻蚀和清洗的重要角色。目前国内99.999%八氟环丁烷严重短缺，近几年来由于某些工艺要求使用99.999%的八氟环丁烷，而国外报价很高。 2.2 产品市场预测表2.1 本项目产品价格预测表序号产品名称单位预测价格备注1电子级液氨万元/吨2.42电子级磷烷万元/吨1253电子级乙硼烷万元/吨1424电子级氯气万元/吨165电子级一氮化二氮万元/吨216标准混合气元/瓶600-50007以磷烷、乙硼烷为主要组分的电子气体元/瓶0.2-1.08电子级三氟化硼元/g89电子级六氟乙烷元/Kg60010电子级一氟甲烷元/Kg80011电子级二氟甲烷元/Kg150012电子级三氟

21、甲烷元/Kg160013电子级八氟环丁烷元/Kg180014电子级四氟化碳元/Kg16015电子级砷烷万元/吨1253、产品方案及生产规模3.1产品方案确定原则1）充分考虑国家产业政策、行业发展规划、技术政策、产品结构符合国家清洁生产的要求；2）充分考虑项目产品的市场适应性，采用先进、适用的技术，提高项目的竞争能力；3）充分考虑项目产品技术的先进性，加大技术创新力度，提高产品的技术含量；4）充分考虑项目建设的可靠性，估计各类工程风险，积极采取有效的对策措施，减少风险；5）充分考虑项目产品的环境相容性，三废物质做到综合治理和达标排放，满足环境和可持续发展的要求；6）充分考虑项目收益的合理性，实事

22、求是对该项目的功能性、盈利性等进行全面考虑。根据产品对国家产业政策符合性、市场需求情况预测、工艺技术含量和企业生产的规模效益（产品成本）、三废综合治理、建设投资等综合因素确定生产规模。3.2 产品方案确定经过大量的市场调研和分析，建设项目包括15种产品，即电子级氨、电子级磷烷、电子级砷烷、电子级乙硼烷、电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气、标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）、电子级氯气、电子级一氧化二氮、电子级三氟化硼、电子级六氟乙烷、电子级一

23、氟甲烷、电子级二氟甲烷、电子级三氟甲烷、电子级八氟环丁烷、电子级四氟化碳的生产装置、土建、公用工程及辅助工程等。3.3 产品质量指标3.3.1 电子级氨产品质量指标：执行标准GB/T14601 电子工业用气体 氨中光电子级标准。 表3.1 电子级氨产品质量指标项 目光电子级氨（NH3）纯度（体积分数）/10-2 99.99994氧/氩（O2/Ar）含量（体积分数）/10-6 0.1氢（H2）含量（体积分数）/10-6 0.1一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 0.05二氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 0.1烃（C1C3）含量（体积分数）/10-6 0.2总杂质含量（体积分数）

24、/10-6 0.63.3.2 电子级磷烷产品质量指标：执行标准GB/T 14851电子工业用气体 磷化氢。表3.2 电子级磷烷产品质量指标项 目指 标磷烷(PH3)含量（体积分数）/10-2 99.9997砷化氢（AsH3）含量（体积分数）/10-6 0.1氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6 0.5氮（N2）含量（体积分数）/10-6 1一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 0.5二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 0.5总烃（C1C3）含量（体积分数）/10-6 0.2水（H2O）含量（体积分数）/10-6 1杂质总含量（体积分数）/10-6 3金属总离子供需双方

25、商定颗粒供需双方商定3.3.3电子级乙硼烷表3.3 电子级乙硼烷产品质量指标项 目指 标乙硼烷(B2H6)含量（体积分数）/10-2 99.999氮（N2）含量（体积分数）/10-6 3氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6 1一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 1二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 1甲烷（CH4）含量（体积分数）/10-6 1水（H2O）含量（体积分数）/10-6 3杂质总含量（体积分数）/10-6 10金属总离子供需双方商定颗粒供需双方商定3.3.4标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）表3.4 食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气产品质量指标产

26、品名称环氧乙烷浓度（%（w）二氧化碳浓度（%（w）允差（%）食品级二氧化碳环氧乙烷混合气-1010905食品级二氧化碳环氧乙烷混合气-2020805食品级二氧化碳环氧乙烷混合气-30307053.3.5电子混合气：以电子级磷烷、乙硼烷、硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以电子级氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气供需双方商定。3.3.6电子级氯气产品质量指标：执行标准GB/T 18994 电子工业用气体 高纯氯。表3.5 电子级氯产品质量指标项 目指 标氯（CL2）含量（体积分数）/10-2 99.996氧（O2）含量（体积分数）/10-

27、6 4氮（N2）含量（体积分数）/10-6 20一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 1二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 10烃（C1C3）含量（体积分数）/10-6 1水（H2O）含量（体积分数）/10-6 3注：1、C1C3系指CH4、C2H2、C2H4、C2H6 2、高纯氯中金属和颗粒的要求及检验由供方与用户商定。3.3.7电子级一氧化二氮产品质量指标：GB/T 14600电子工业用气 氧化亚氮。表3.6 电子级氧化亚氮产品质量指标项 目指 标氧化亚氮（N2O）含量（体积分数）/10-2 99.9994二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 0.5一氧化碳（CO）

28、含量（体积分数）/10-6 0.1烃C1C5（以甲烷计）含量（体积分数）/10-6 0.1氮（N2）含量（体积分数）/10-6 3氧（O2）含量（体积分数）/10-6 0.5水（H2O）含量（体积分数）/10-6 1一氧化氮（NO）含量（体积分数）/10-6 供需双方商定二氧化氮（NO2）含量（体积分数）/10-6 供需双方商定杂质总含量含量（体积分数）/10-6 供需双方商定3.3.8电子级三氟化硼产品质量指标：GB/T 14603电子工业用气 三氟化硼。表3.7 电子级三氟化硼产品质量指标项 目指 标三氟化硼（BF3）纯度(摩尔分数)，10-2 99.999氮（N2）含量(摩尔分数)，10

29、-6 2氧+氩(O2+Ar)含量（摩尔分数），10-6 1二氧化碳（CO2）含量（摩尔分数），10-6 1四氟化碳(CF4)含量（摩尔分数），10-6 1四氟化硅（SiF4）含量（摩尔分数），10-6 5总杂质含量（摩尔分数），10-6 10颗粒供需双方商定3.3.9 电子级六氟乙烷表3.8电子级六氟乙烷质量指标项 目指 标C2F6含量（摩尔分数），10-299.999%N2含量（摩尔分数），10-65O2含量（摩尔分数），10-61CO含量（摩尔分数），10-61CO2含量（摩尔分数），10-61H2O含量（摩尔分数），10-61THC含量（摩尔分数），10-61Other Halocarb

30、on含量（摩尔分数），10-6103.3.10电子级一氟甲烷 表3.9电子级一氟甲烷质量指标项 目指 标CH3F含量（摩尔分数），10-299.99N2含量（摩尔分数），10-680O2含量（摩尔分数），10-620H2O含量（摩尔分数），10-6103.3.11电子级二氟甲烷表3.10电子级二氟甲烷质量指标项 目指 标CH2F2含量（摩尔分数），10-299.99N2含量（摩尔分数），10-68O2含量（摩尔分数），10-62CO2含量（摩尔分数），10-65H2O含量（摩尔分数），10-65其它氟碳含量（摩尔分数），10-650酸度(HF)含量（摩尔分数），10-60.13.3.12电子级

31、三氟甲烷表3.11电子级三氟甲烷质量指标项 目指 标CHF3含量（摩尔分数），10-299.999%N2 含量（摩尔分数），10-65O2 含量（摩尔分数），10-62H2O 含量（摩尔分数），10-63酸度(HF) 含量（摩尔分数），10-60.13.3.13电子级四氟化碳表3.12电子级四氟化碳质量指标项 目指 标CF4 含量（摩尔分数），10-299.999O2+Ar 含量（摩尔分数），10-61N2 含量（摩尔分数），10-64CO2 含量（摩尔分数），10-61CO 含量（摩尔分数），10-61SF6 含量（摩尔分数），10-61其它氟碳含量（摩尔分数），10-61H2O含量（摩尔分

32、数），10-61酸度(HF)含量（摩尔分数），10-60.13.3.14电子级八氟环丁烷表3.13电子级八氟环丁烷质量指标项 目指 标C4F8 含量（摩尔分数），10-299.999N2,O2,CO2,CO 含量（摩尔分数），10-63O2 含量（摩尔分数），10-61其它氟碳含量（摩尔分数），10-610H2O含量（摩尔分数），10-62酸度(HF)含量（摩尔分数），10-60.13.3.15电子级砷烷表3.14电子级砷烷质量指标项 目指 标AsH3含量（摩尔分数），10-299.999O2+Ar含量（摩尔分数），10-61N2 含量（摩尔分数），10-63CO含量（摩尔分数），10-61C

33、O2含量（摩尔分数），10-61CH4含量（摩尔分数），10-61H2O含量（摩尔分数），10-63PH3（摩尔分数），10-60.5总杂质含量（摩尔分数），10-610颗粒供需双方商定金属离子供需双方商定3.4生产规模3.4.1生产制度、年操作日生产装置年操作日按300天计算，其中电子级氨按每天24小时连续运行设计，其它品种按每天8小时白班计算。3.4.2生产规模3.4.2.1电子级氨装置设计能力为吨年，年生产日330天，24小时连续生产，平均吨日。3.4.2.2电子级磷烷装置设计能力为吨/年。年生产日330天，白班间歇生产，平均kg日。3.4.2.3电子级乙硼烷装置设计能力为吨年，年生产日

34、330天，白班间歇生产，平均1kg日。3.4.2.4电子混合气：以电子级磷烷、电子级乙硼烷、电子级硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以超纯氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均吨日。3.4.2.5标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气）装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均吨日。3.4.2.6电子级氯气装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均吨日。3.4.2.7电子级一氧化二氮装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均吨日。3.4.2

35、.8电子级三氟化硼装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均kg日。3.4.2.9电子级六氟乙烷装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均kg日。3.4.2.10电子级一氟甲烷装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均kg日。3.4.2.11电子级二氟甲烷装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均kg日。3.4.2.12电子级三氟甲烷装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均kg日。3.4.2.13电子级八氟环丁烷装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均kg日。3.4.2.14电子级四氟化碳装置设计能力为吨年

36、，年生产日330天，白班间歇生产，平均kg日。3.4.2.15电子级砷烷装置设计能力为吨年，年生产日330天，白班间歇生产，平均kg日。4、工艺技术方案4.1 工艺技术方案的选择4.1.1电子级液氨工艺技术方案：采用工业氨为原料，经多级纯化分离脱除有害杂质组分，采用低温精馏技术脱除轻、重杂质组分，实现电子级液氨的工业化生产。4.1.2电子级磷烷电子级磷烷（PH3）合成工艺方案：采用金属磷化物与水反应制备磷烷气体。经多级吸附脱除重组份和低温精馏脱除轻组份制取电子级磷烷气体。反应原理如下：AlP+3H2O-Al（OH）3+PH34.1.3电子级乙硼烷电子级乙硼烷（B2H6）合成工艺方案：采用金属硼

37、氢化物与碘反应制备硼烷气体。经多级吸附脱除重组份和低温精馏脱除轻组份制取电子级硼烷气体。反应原理如下：2NaBH4+I2-B2H6+2NaI+H24.1.4标准混合气（食品级二氧化碳-环氧乙烷混合气） 按照中华人民共和国标准化法的规定，参照与生产该产品有关的标准和文献，制定了企业标准，作为组织生产该产品及相关工作的依据，以确保该产品的生产、包装、运输、使用安全和产品质量稳定。4.1.5电子混合气：以电子级磷烷、乙硼烷、硅烷（电子级氮/氢/氩/氦/二氧化碳平衡气）为主要组分配制的电子混合气，以电子级氟化物（以电子级氧为平衡气）为主要组分配制的电子混合气执行标准GB/T 5274(等同采用ISO6

38、142)。以磷烷、乙硼烷、硅烷为主的电子混合气体如：N2-PH3、N2-B2H6、N2-SiH4等。我国近三十年的研究成果。符合混合气技术规格，数据准确可靠。气瓶经过处理，气体质量可充分保证。已向国内许多厂家提供此种电子混合气体，生产工艺成熟可靠。4.1.6电子级氯以工业液氯为原料经一级精馏塔脱除重组分水、三氯化氮等重组份，进入二级精馏塔脱除氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃等轻组份，实现电子级氯的工业化生产。国家标准GB/T 18994 电子工业用气体 高纯氯。4.1.7电子级一氧化二氮电子级一氧化二氮生产线，产品广泛应用于半导体集成电路等领域。执行国家标准：GB/T 14600电子工业用气 氧化亚氮。4.1.8电子级三氟化硼电子级三氟化硼生产线，产品广泛应用于半导体集成电路等领域。该工艺适合电子级三氟化硼生产，没有环境污染问题。执行国家标准GB/T 14603电子工业用气 三氟化硼。 4.1.9电子级六氟乙烷，电子级一氟甲烷，电子