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1、线路板制作原理,目的,对普通多层PCB制作的工艺流程有一个基本了解PCB分很多种,在此我们以最常见的普通多层硬板为例进行介绍.,噢!,基本制作流程,基本制作流程,多层线路板制作,包括两大部分:内层制作工序 外层制作工序,开料(Board Cutting),前处理(Pre-treatment),图形转移(Image transter),光学检查(AOI),铜面粗化(B.F or B.O),排板(Lay up),压合(Pressing),钻管位孔(X-Ray),修边(Edge trimming),内层基本制作流程,定义:将覆铜板裁剪为所需的尺寸。,锔料(Baking),切料(Laminate Cu
2、tting),锣圆角(corner Rounting),打字唛(Mark stamping),锔料:为了消除板料在制作时产生的内应力。令到板料尺寸(涨缩性)稳定性加强。去除板料在储存时吸收的水份,增加材料的可靠性。,切料:将一张大料根据不同板号尺寸要求切成所需的生产尺寸。,锣圆角:为避免在下工序造成Handling 及品质问题,将板料锣成圆角。,打字唛:将生产板的编号资料附印在板边,令各工序能识别与追溯不同的板号。,制作流程(开料),图形转移:就是在处理过的铜面上贴上或涂上一层感光性膜层,在紫外光的照射下,将照相底版(ART-WORK)上的线路图形转移到敷铜箔基材的铜面上,形成一种抗蚀的掩膜图
3、形,那些未被抗蚀剂保护的不需要的铜箔,将在随后的化学蚀刻工艺中被蚀刻掉,经过蚀刻工艺后再褪去抗蚀膜层,得到所需要的裸铜电路图形。,制作流程(图形转移),丝网印刷(Screen Printing)图形转移工艺 干膜(Dry Film)图形转移工艺 液态光致抗蚀剂(Liquid Photoresist)图形转移工艺 电沉积光致抗蚀剂(ED膜)制作工艺 激光直接成像技术(Laser Direct Image),图形转移的方法,图形转移的方法,目前较为常用的为干膜工艺和液态光致抗蚀剂(也相应称为湿膜工艺)湿膜工艺以膜薄,分辨率(Resolution)高,成本低,操作条件要求低等优势得到广泛应用,特别适
4、应制作内层的图形转移.我们这里主要介绍湿膜工艺工艺.,工艺流程,前处理入板 涂覆 预烘 曝光 显影 干燥 蚀刻 去膜,制作流程(内层图像转移),工艺原理,液态光致抗蚀剂(简称湿膜)是由感光性树脂,配合感光剂、色料、填料及溶剂等制成,经光照射后产生光聚合反应而得到图形。,基板前处理主要是解决表面清洁度和表面粗糙度的问题。液体光致抗蚀剂的粘合主要是通过化学键合反应来完成的。为 保证这种键合作用,铜表面必须新鲜、无氧化且呈未键合的自由状态,再通过适当粗化,增大表 面积,便可得到优良的粘附力。而干膜具有较高的粘度和较大程度的交联,主要是通过机械连接来完成其粘附过程。因此液体抗蚀剂侧重要求铜 箔表面的清
5、洁度,而干膜抗蚀剂是侧重要求铜箔表面的微观粗糙度。,工艺制作流程-前处理,工艺制作流程-前处理,前处理的方式 化学清洗法 物理清洗法(机械),磨料刷辊式刷板机浮石粉刷板,工艺制作流程-前处理,前处理方法比较,处理后板铜面与再氧化之关系,基材经过前处理后表面已无氧化物、油痕等,但如滞留时间过长,则表面会与空气中的氧发生氧化反应,前处理好的板应在较短时间内处理完。,工艺制作流程-前处理,浮石粉刷板,机械刷磨板,化学处理法,快,慢,氧化速度,工艺制作流程-涂覆,涂覆指使铜表面均匀覆盖一层液态光致抗蚀剂。其方法有多种,如离心涂覆、浸涂、网印、帘幕涂覆、滚涂等。丝网印刷设备要求低,操作简单容易,成本低。
6、但不易双面同时涂覆,生产效率低,膜的均匀一致性不能完全保证。滚涂(Roller Coat)可以实现双面同时涂覆,自动化生产效率高,可以控制涂层厚度,适用于各种规格板的大规模生产,但需设备投资。(我公司采用)帘幕涂覆也适宜大规模生产,也能均匀控制涂覆层厚度,但设备要求高,且只能涂完一面后再涂另一面,影响生产效率。,工作条件:无尘室黄光下操作,室温为2325,相对湿度为555%,作业场所保持洁净,避免阳光及日光灯直射。涂覆操作时应注意以下几方面1)若涂覆层有针孔,可能是光致抗蚀剂有不明物,应用丙酮洗净且更换新的抗蚀剂。也可能是空气中有微粒落在板面上或其他原因造成板面不干净,应在涂膜前仔细检查并清洁
7、。2)若涂覆层厚度不均匀,应加稀释剂调整抗蚀剂的粘度或调整涂覆的速度。3)无论采用何种方式,光致涂覆层(Photoimageable covercoating)都应达到厚度均匀、无针孔、气泡、夹杂物等,皮膜厚度干燥后应达到815。4)因液态光致抗蚀剂含有溶剂,作业场所必须换气良好。5)工作完后用肥皂洗净手。,工艺制作流程-涂覆,P1,A1,P2,A2,A2,Grooved Rubber Roller,Doctor Roller,Resist,Doctor Roller,Roller Coat涂覆方式,工艺制作流程-涂覆,预烘的目的是蒸发油墨中存在的溶剂,使液态光致抗蚀剂膜面达到干燥,以方便底片
8、接触曝光显影制作出图形。条件:温度805,时间约2030分钟,工艺制作流程-预烘,工艺制作流程-曝光,液态光致抗蚀剂经UV光照射后发生交联聚合反应,受光照部分成膜硬化而不被显影液所影响。,被曝光部分:菲林透光的区域在紫外光照射下,光引发剂吸收光能分解成自由基,自由基再引发光聚合单体进行聚合交联反应,形成不溶于稀溶液的体型大分子结构。未被曝光部分:菲林遮光的区域保持涂覆后的附着状态,将被显影液冲掉。,曝光的作用是曝光机的紫外线通过底片使菲林上部分图形感光,从而使图形转移到铜板上。,工艺制作流程-曝光,曝光室操作环境环境控制:1、温、湿度要求:温度:20 2,湿度:50 10RH%2、“洁净室”建
9、立:净化等级达到10K级 3、照明光源要求:因湿膜属于感光性材料,工作区应采用黄光。,工艺制作流程-曝光,工艺制作流程-显影,显影的作用:是将未曝光部分的干菲林去掉,留下感光的部分。,显影的原理:未曝光部分的感光材料没有发生聚合反应,遇弱碱Na2CO3(1.0%)溶解。而聚合的感光材料则留在板面上,保护下面的铜面不被蚀刻药水溶解。,为使膜层具有优良的抗蚀抗电镀能力,显影后应再干燥,其条件为温度100,时间12分钟。固化后膜层硬度应达到2H3H。,工艺制作流程-干燥,1.蚀刻的作用:是将未曝光部分的铜层蚀刻掉。,线路蚀刻原理:,工艺制作流程-蚀刻,工艺制作流程-褪膜,褪膜的原理:是通过较高浓度的
10、NaOH(1-4%)将保护线路铜面的菲林溶解并清洗掉。,内层Open/Short的主要问题种类:,内层开路(I/L Open),1.,内层短路(I/L Short),类型(Type),1.,2.,3.,6.,4.,5.,7.,9.,8.,10.,2.,3.,4.,5.,板料凹痕(Dents on laminate),曝光垃圾(Exposure dirt),板料擦花(Scratch on laminate),膜下垃圾(Dirt under wet film),曝光过度(Over exposure),擦花菲林(Scratch on GII),蚀刻过度(Over-etching),擦花铜面(Poor
11、 handling after etching),铜面氧化(Cu surface oxide),膜起皱(Folded wet film),板料污渍(Resin dust),膜起皱(Folded wet film),膜胶渣(Dry film scum),风刀/压水辘垃圾(Dirt air knife/roller),类型(Type),擦花膜(Scratch on wet film),6.,显影不净(Under-developing),常见问题种类,类型(Type),诱发因素(Problem Causes),图例(Appearance),1.,显影/蚀刻胶渣,描述(Description),2.,
12、3.,显影不净,擦花膜/铜面,前处理水洗 显影水洗/喷咀/干板 过滤网失效/规格/方法 显影及蚀刻线保养 菲林的设计,辘膜/曝光后擦花 显影后擦花 蚀刻/啤孔期间擦花 运输/放取板的方法,工具,显影段浓度不稳定 加换药的方法 水洗压力/喷咀 压水辘的保养,常见问题种类,类型(Type),诱发因素(Problem Causes),图例(Appearance),4.,描述(Description),5.,6.,曝光过度,曝光垃圾,板料凹痕,抽气气压不足 菲林局部变形 曝光能量过高 曝光能量不均匀,板边纤维/树脂粉 板边铜碎/清洁方法 设备油污 头发丝,来料问题(抽查方法)搬运方法/工具 放取板料的
13、方法 日常检查方法,-,常见问题种类,贴干膜:,贴膜机将干膜通过压辘与铜面附着,同时撕掉一面的保护膜。,制作流程(内层图像转移),冲孔的原理:是利用CCD对目标点做定位及对焦,通过冲针的作用冲出所需孔位,给予后工序的光学检查及排板工序使用。,冲孔的精度要求:一般冲孔的精度要求为:小于或等于2mil。,冲孔板的图例:,Target hole,Punching hole,制作流程(OPE),制作流程(AOI检查),AOI-Automatic Optical Inspection 自动光学检查仪.,该机器原理是利用铜面的反射作用使板上的图形可以被AOI机扫描后记录在软件中,并通过与客户提供的数据图形
14、资料进行比较来检查线路缺陷的一种机器。,黑氧化/棕化的目的首先是粗化内层板的铜面,然后生成一层氧化铜(黑氧化)或有机金属膜(棕化),以提高压合后的抗剥强度,使半固化片对铜的表面有较大的粘合力。另外一个作用是防止铜面直接接触环氧树脂,因其在高温高压下会产生水分而降低结合力。,制作流程(黑氧化/棕化工序),制作流程(黑氧化/棕化工序),黑氧化/棕化的作用:,处理前,黑氧化后,棕化后,-表面比较-,单黑氧化,铜面,棕化,水平棕化工艺的定义:通过水平化学生产线处理产生一种均匀,有良好粘 合特性的有机金属层结构,使内层粘合前铜层表面受控 粗化,用于增强内层铜层与半固化片之间压板后粘合强 度的一种严格的适
15、于制造高质量多层线路板的工艺技术。,水平棕化工艺的优点:工艺简单、容易控制;棕化膜抗酸性好,不易出现粉 红圈故障;生产制板质量稳定一致。,制作流程(黑氧化/棕化工序),工艺简介:用半固化片将外层铜箔与内层,以及各内层与内层之间连结成为一个整体,成 为多层板。,制作流程(排压板工序),工艺原理:利用半固化片的特性,在一定温度下融化,成为液态填充图形空间处,形成绝缘层,然后进一步加热后逐步固化,形成稳定的绝缘材料,同时将各线路各层连接成一个整体的多层板。,制作流程(排压板工序),制作流程(排压板工序),Mass lamination 大量无销钉层压方式:,Mass lamination 大量无销钉
16、层压方式:是指直接用铜箔与板固化片与内层基板压合的大批量层压方式。该方式操作简单快捷,产量大的特点。缺点是只对四层板适用。对于高于四层以上的板时,需要采用内层预先用铆钉铆合后与Mass lamination相结合的方式。,制作流程(排压板工序),制作流程(排压板工序),Pin lamination,从以上图中可以看出:用PinLamination的方式,需要在内层板、铜箔、半固化片上开出同样形状的工具孔,而且在所有相关工具上开孔:上下夹具板、所有分割钢板。而多种多样的Project会产生板尺寸的多样性,决定了工具的多样性、复杂性。,制作流程(排压板工序),制作流程(排压板工序),制作流程(排压
17、板工序),对于图二的情况,用公式二计算:公式二:,无尘排板室要求:无尘要求:粉尘数量小于100K 粉尘粒度:小于0.5m 空调系统:保证温度在18-22C,相对湿度在50-60%风淋系统:进出无尘室有风淋清洁系统,防止外界的粉尘 进入无尘室内。地面回风系统:由于排板房内经常会有半固化片粉尘掉在 地上,人走过时会带动粉尘传播,影响压 板板面品质。所以有些公司采用地面回风 系统,将掉在地上的粉尘同过回风系统过 滤掉。,制作流程(排压板工序),表面缺陷,压板缺陷分析,压板缺陷分析,压板缺陷分析,压板缺陷分析,整体缺陷,整体缺陷,缺陷分析,压板中的一个主要缺陷:对位不正(misregistration
18、)压板为何会出现对位不正?造成对位不正的原因有以下几点:A.压板时,树脂流动造成内层板滑移,引起多层板层与层之 间对位不正。B.多层板钉板时会出现层与层之间对位不正。C.多层板压板时板料胀缩不一致,导致层间对位不正。D.在进行图像转移时也会出现对位不正.这就不是压板造 成的缺陷了。,缺陷分析,如何解决对位不正的问题呢?,A.对于压板滑移造成的对位不正,应该从以下几点考虑:1.压板程序中设定的操作压力过大,应该减小压力。2.排板时应选用较低树脂流量的PREPREG。3.钉板时可以适当增加鸡眼钉的数量,钉板会阻止滑移。B.对于钉板造成大的对位不正,从以下两点考虑:1.2/3 与4/5面的啤孔标粑(
19、OPE标粑)不一致,应从菲林图像 转移上找原因。2.注意钉板操作的打钉方向垂直向下,不能倾斜用力,造成钉歪板。3.叠板中使用半固化片张数较多,或者排板层数较多时,容易钉板 重影。因此应尽量使用自动打钉机同时钉板,钉完板后再用X-RAY机检查一下,是否有重影。,缺陷分析,关于板料胀缩引起的对位不正:保持板料的一致性。使用时尽量保持使用相同供应商的 材料,不允许不同供应商材料的混用。保持所用半固化片的一致性。保持压合工艺条件的一致性。保存所有材料的使用记录,及工艺流程参数的记录,便 于追溯。掌握各种材料、各类半固化片排板的尺寸变化规律,提 供给生产作参考。压合条件应注意两点:1.压力应该采用较小的压力,以 减小材料的内应力,从而减少压板后材料的尺寸变化。2.应使材料充分固化,提高材料的尺寸稳定性。,缺陷分析,通过机器的X光透射,通过表面铜皮投影到内层的标靶,然后用钻咀钻出该标靶对应位置处的定位孔。定位孔的作用:1、多层板中各内层板的对位。2、同时也是外层制作的定位孔,作为内外 层对位一致的基准。3、判别制板的方向,什么是XRAY钻孔?,制作流程(X-RAY钻孔及修边),修边:根据MI要求,将压板后的半成品板的板边修整到需要的尺寸,打字唛:在制板边(而不能在单元内)用字唛机,将制板的编号、版本、打印在板面上以示以后的工序区别,制作流程(X-RAY钻孔及修边),有问题吗?,