《振动模式》PPT课件.ppt

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1、1,其它振动模式,薄圆片压电振子的径向伸缩振动;其它压电振子:薄圆环的径向振动,薄球壳的径向振动,薄片的厚度伸缩振动能陷振动模,2,振动模式,材料参数,等效电路,器件设计,阻抗、导纳,3,薄圆片压电振子的径向振动,对于压电常数d31=d32和弹性柔顺常数s11=s22的压电晶体,例如钛酸钡、铌酸锂等晶体,可用它的z切割薄圆片的径向振动。用柱坐标(O-rz),圆片面与z轴垂直。因为是薄圆片,所以可以近似认为垂直于圆片面方向的应力Xz=0。,4,薄圆片压电振子的压电方程组,因为薄圆片只有径向伸缩形变,所以沿r 方向和方向的Xr0,X0,而切应力Xr=Xrz=Xz=0。因为电极面就在圆片面上,所以只

2、有沿z方向的电场强度分量Ez0,而沿r和方向的电场强度分量Er=E=0。,5,又因电极面是等位面,故有(Ez/r)=0。选X、E为自变量,并注意到弹性柔顺常数s11=s22以及压电常数d31=d32,于是薄圆片压电振子的压电方程组为:,(5-37),6,第二类压电方程组,若以(x、E)为自变量,有(5-37)式可得,7,实验上常用杨氏模量Y和泊松比代替弹性柔顺常数sE11、sE12,将Y=1/sE11,=-sE12/sE11关系代入上式得:,8,(5-38)式就是以应变和电场(x、E)为自变量,用柱坐标表示的薄圆片压电方程组。其中沿r方向的伸缩应变xr=(ur/r),沿方向的伸缩应变x=ur/

3、r+(u/)/r。因为薄圆片的径向伸缩振动具有圆对称性,所以(u/)=0。在此情况下,沿方向的伸缩应变简化为x=ur/r。,9,薄圆片压电振子的振动方程,若圆片密度为,则小的质量为(见图5-7);若为小块bcde沿径向的位移rddr,则小块沿径向加速度为2ur/t2。小块的运动方程为:,10,薄圆片压电振子的质量元,图5-7,11,由于dr和d都很小,故有,12,忽略X与X的差别(即认为X=X)。将这些结果代入到上式后,即得小块的运动微分方程式为,,即:,(5-39),13,将压电方程组(5-38)式代入上式,并注意到(Ez/r)=0,即得,14,利用关系,代入,15,薄圆片压电振子的波动方程

4、。,(5-40),其中波速:,16,波动方程式的解,薄圆片压电振子的波动方程式的解为,其中:k=/c,J1(kr)为一阶贝塞尔函数。First order Bessel function,(5-41),17,现在来求满足边界条件的解。若薄圆片的边界为机械自由,则在边界上的应力Xr等于零。即,由(5-38)式的第一式,时,(5-38)式,18,若电场强度分量为:,并注意到,代入到上式得:,(5-42),19,利用边界条件r=a时,Xr|a=0,即可确定任意常数A,由,即得,(5-43),20,将(5-43)式代入到(5-41)式即得满足自由边界条件的解为,(5-44),由(5-44)式代表的波形

5、,如图5-8所示。,21,图 5-8 自由圆片的径向伸缩振动(a)自由圆片中的波形(b)自由圆片的伸缩情况,(a),(b),22,23,将(5-43)式代入到(5-42)式即得沿r方向的伸缩应力为,(5-45),24,沿方向的伸缩应力为:,(5-46),25,沿r方向和方向的伸缩应变为:,(5-47),26,电位移为:,27,薄圆片压电振子的等效电阻,通过压电振子电极面的电流I为,而电极面上的电荷Q为,28,积分时注意到:,即得,29,于是得到电流为,(5-48),30,薄圆片压电振子的等效阻抗,压电振子的等效阻抗Z为,将(5-48)式代入上式的,31,因为薄圆片压电振子的机电耦合系数kp为,

6、以及,将这些关系代入上式得,32,(5-49),薄圆片压电振子的等效阻抗,k=/c,33,谐振频率和机电耦合系数,谐振时压电振子的等效阻抗Z=0,即:G=1/Z=,这就要求,即:,34,或,其中:r=2fr,fr=谐振频率。,(5-50),35,钛酸钡的泊松比约为=0.30,代入上式:,36,查贝塞尔函数的数值表,可得上式最小的根为:,(5-51),由此得到薄圆片压电振子的谐振频率为,(5-52),37,同理可得:,当,时,,当,时,,38,反谐振时,压电振子的等效阻抗Z=,即G=1/Z=0,这就要求,(5-53),39,因为反谐振频率fa稍大于谐振频率fr,故可假设,或者,即:,或者,40,

7、将J0和J1在谐振频率处用泰勒级数展开得:,(5-54),41,将(5-54)式代入(5-53)式后,(5-53)式分子为:,42,(5-55),(5-53)式分母为,43,由(5-50)式知,或者,44,将这些关系代入到(5-55)式得,45,最后得到,46,即:,(5-56),47,由上式可解出薄圆片压电振子的机电耦合系数kp为,48,或者,(5-57),49,(5-58),50,谐振频率关系式(5-52)式以及机电耦合系数关系式(5-57)式对压电陶瓷也成立。实验上常用(5-52)式确定材料的杨氏模量Y,(5-57)式确定材料的机电耦合系数kp,通过低频电容Clow的测量,确定介电常数:

8、,51,以及压电常数:至于泊松比,则可通过下式确定:(5-59),52,其中:fr0=薄圆片压电振子的基频,fr1=薄圆片压电振子的一次谐波频率。(确切的说法是fr0为薄圆片的基音频率,fr1为薄圆片的一次泛音频率,对于压电陶瓷fr02.61 fr1左右)。(5-59)式的适用范围是:,(5-60),53,薄圆片压电振子的径向伸缩振动(小结),介电常数,半径a;厚度lt;低频电容Clow,fr0:薄圆片压电振子的基频,fr1:薄圆片压电振子的一次谐波频率。,54,杨氏模量的确定,55,压电常数,平面机电耦合系数,56,其它压电振子,薄圆环压电振子的径向振动 薄球壳的球径向振动 薄片的厚度伸缩振

9、动,57,薄圆环压电振子的径向振动,如图5-9所示,薄圆环的极化方向与z轴平行(即轴向极化),平均半径为r,厚度为lt,宽度为lw,并有rlt以及rlw.设圆环的方向为2方向,极化方向为3方向,增加的方向为1方向。因为圆环的半径远大于圆环的宽度和厚度,所以圆环在外加电场的作用下,可以认为只产生轴对称的径向振动.除了沿圆周(即切向)的应力X1(即x)外,其余的应力、切应力皆等于零。,58,图 5-9 薄圆环的径向振动,59,又与3方向垂直的电极面是等位面,所以可以认为E1=E2=0。选应力和电场(X、E)为独立变量,即得薄圆环的压电方程组为,(5-61),60,考虑薄圆环上的一小块(如图5-9所

10、示),作用在小块上的径向力分量为:,(5-62),61,由牛顿第二定律可得径向运动的微分方程式为:,(5-63),其中为薄圆片的密度,ur为环的径向位移。,62,将(5-61)式中第一式代入(5-63)式,并注意到xr=ur/r,即得,,(5-64),63,若外加电场为E3=E0ejt,在此电场作用下,薄圆环产生受迫振动,这时(5-64)式的解为:,(5-65),其中:,64,将(5-65)式代入(5-61)式得电位移为:,(5-66),其中:,65,自由介电常数与夹持住介电常数之间的关系为:,通过电极面的电流为:,66,因为电压V=E3lt,故得薄圆环压电振子的导纳为:,(5-67),67,

11、当G=时,薄圆环产生谐振,谐振频率fr为;,(5-68),或,68,当G=0时,薄圆环产生反谐振,反谐振频率为:,(5-69),或,69,由此得到机电耦合系数k31与fr、fa的关系为:,(5-70),70,薄球壳的球径向振动,薄球壳的极化方向与径向平行,球壳内外表面为电极面,球壳厚度为lt,平均半径为r,并有r lt,选球的径向为3方向,、的增加方向为1、2方向,其边界条件为:E1=E2=0,E30;X3=X4=X5=X6=0,X10,X20。,71,图 5-10 薄球壳的径向振动,72,选应力和电场(X、E)为独立变量,即得薄球壳的径向振动的压电方程组为:,(5-71),73,对于压电陶瓷

12、的弹性性质和压电性质在与极化垂直的面上是各向异性的,故有X1=X2、sE11=sE22、d31=d32。令,74,代入到(5-71)式即得:,(5-72),75,球壳中的情况与圆环相似,xc与径向位移ur之间的关系为:,波动方程式为:,(5-73),76,若外加电场为E3=E0ejt,在此电场作用下,上式的解为:,(5-74),其中:,(5-75),77,球壳的导纳为:,(5-76),78,其中平面机电耦合系数 kp为,79,当G=和G=0时可得,谐振频率:,反谐振频率为:,80,由此得到平面机电耦合系数为:,81,薄片的厚度伸缩振动,薄片的极化方向与厚度方向平行,片面为电极面,片的长度为l、

13、宽度为lw、厚度为lt,并有llt,lwlt。因为只考虑沿厚度方向传播的平面波,频率很高,故可以认为片的侧面被刚性夹住,即可认为:,x1=x2=x4=x5=x6=0,x30,82,薄片的厚度伸缩振动,图 5-11,83,设片的绝缘性能良好,没有漏电电流,故可认为D1=D2=0,D3/z=0,选应变和电位移x、D为独立常数,可选用第四类压电方程组为:,(5-78),84,波动方程为:,(5-79),其中uz为沿z方向的位移.,85,(5-79)式的解为:,(5-80),86,利用自由表面边界条件:,确定系数A、B的大小。,时,,时,,87,由(5-78)式以及(5-80)式可得:,其中:,88,

14、89,薄片的导纳为:,(5-81),90,厚度伸缩振动机电耦合系数的定义为:,其中:,为薄片的静态电容。,(5-82),91,由(5-81)式可得反谐振频率和谐振频率为:,(5-83),92,切变振动模式 shear mode,面切变振动模式 face shear mode厚度切变振动模式 thickness shear mode,应用:高频器件,93,面切变振动模式,x,y,d360,94,面切变振动模式:又称为轮廓切变振动模式。当压电片做面切变振动模式时,其主平面的一条对角线伸长,另一条对角线缩短,对角线中点为节点。,95,对石英晶体来说,面切变的常用切型为CT切型和DT切型,它们的切型符

15、号为:yxl。在CT切型中=3738,即:yxl37;在DT切型中=-52-53,即:yxl-52。,96,CT切型,DT切型,97,厚度切变振动模式,98,弯曲振动模式 bending mode,宽度弯曲振动模式 width bending mode厚度弯曲振动模式 thickness bending mode,应用:低频器件,99,length,width,thickness,电极分割线,宽度弯曲振动模式,100,电极面,厚度弯曲振动模式,101,102,能陷振动模式能阱振动模式,点振子振动和点电极振子振动;energy-trap vibration mode,103,采用厚度伸缩或者厚度

16、切变(剪切)振动模式可以制成频率达到数十兆赫兹(107Hz)的振子。但是来源于径向或者纵向振动的高次泛音所形成的杂波干扰大。消除干扰的方法:调整振子几何尺寸;能陷模式,104,能陷模式实际上是:厚度伸缩、厚度切变、厚度扭曲振动模式;只是振子电极面远小于压电陶瓷片的总面积,且与厚度有适宜的匹配关系。振动能量绝大部分集中在点电极范围内,形成“能量封闭”的振动模式。在交变电场作用下,沿厚度方向产生振动,其振幅随着至电极中心距离的增加,呈指数式衰减。,105,厚度伸缩 TEn:thickness extension厚度切变 TSn:thickness shear厚度扭曲 TTn:thickness t

17、orsion 厚度切变和面切变的耦合波,106,谐振频率与压电陶瓷片的厚度有关。为提高频率通常将压电陶瓷片磨得很薄,有时考虑到压电陶瓷自身强度太低,可用特制的陶瓷片作垫片来防止压电陶瓷片损坏。常用于高频场合。,107,设晶片沿x方向的尺寸无限大,研究位移沿x方向的切变波。在晶片上下主表面为自由机械边界条件下,位移的解为:,x,y,z,式中:lt为片厚,为角频率,k为z方向的波数。,108,波数k的表达式为:,式中:f0为无限宽压电片(白片)厚度切变振动的基频;n为泛音次数。,109,以基波n=1为例:当频率f高于f0,波数k为实数,表示波能够沿z方向传播;若频率f低于f0,波数k为虚数,表示波

18、能够沿z方向做指数衰减;为f0晶片的截止频率。,110,由于电极质量的负载效应和压电效应的反作用,使压电片的电极区、非电极区的密度以及弹性常数均又微小差别,导致电极区基频f0降到f0以下。,电极,f0,f0,f0,111,当激励电场频率为f,而且f0ff0时,振动能量被限制在电极区域。这种波叫做能陷波,其振动模式称为能陷模式。这样基片所产生的高次泛音的干扰也就随即消失。能陷振动模式在高频滤波器中有广泛的应用。,112,由于能陷振动模式可以使晶片两端面的影响减小到忽略不计,而且同一晶片上数个振子互相之间互不干扰,这些就是能陷振子和单片压电滤波器的基本原理。但是在设计时还必须考虑其端面以及邻近振子的影响。,113,小结,较为详细地求解了薄圆片压电振子的径向伸缩振动;得到机电耦合系数与谐振和反谐振频率之间的关系;简单地介绍了几种其它压电振子的振动模式:薄圆环的径向振动,薄球壳的径向振动,薄片的厚度伸缩振动。切变振动,弯曲振动,能陷振动模。,114,英国第4代机敏级攻击型核潜艇2008年6月下水(Class Astute)安装二0七六声纳系统,

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