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1、化學品供應作業系統安全探討,大 網,一、前言二、彩色濾光片暨TFT-LCD製造流程三、化學品使用分類四、化學品危害性分類五、化學品供應系統現況六、化學品供應系統供應流程七、中央監控系統八、化學品供應注意事項九、結論,前 言,化學品供應(含液態與氣態)為製造產業很重要的一個角色，一旦供應系統的任一環節出了問題，對整個工廠的安全運作影響甚大。一般最常見的危害為火災、爆炸、洩漏、逸散等之物理性、化學性、生物性危害。對人員、設備、環境及製程產品損失與公司形象是一大威脅。根據新竹科學園區83年至87年災害分析資料顯示，在光電及半導體產業中，因化學品問題所引發之職業災害佔發生災害類型第二位,日本相關產業製
2、程災害事故分析表,薄膜區,黃光區,蝕刻區,去光阻區,測試區,薄膜工程,配向工程,液晶工程,面板組裝,LCM區,清洗區,Cr濺鍍區,光阻塗佈,曝光區,顯影區,蝕刻區,ITO濺鍍區,光阻剝離區,成品,成品,原料,玻璃原料,彩色濾光片暨TFT-LCD製造流程,TFT PROCESS,LCDPROCESS,ColorFiliterProcess,TFT-LCDProcess,化學品使用分類,化學品危害性分類,化學品供應系統管材之選用,1.酸鹼溶液:透明C-PVC+PFA Double Tube(兩管間可通氮氣,並接排 氣系統,以消除異味)2.有機溶劑:SUS316LEP 防止靜電產生3.腐蝕性溶劑:透
3、明C-PVC(外)+PFA(內),化學品供應系統管材之選用,化學品供應系統現況分析,1.中央供應式:泵浦輸送、人工加壓輸送2.人工供應式:泵浦輸送、人工加壓輸送,化學品供應系統現況分析,中央供應式:泵浦輸送、人工加壓輸送,化學品供應系統現況分析,槽車,貨車,儲槽,碼頭區,化學庫房,潔淨室,廢液收集槽,化學供應室,管線,分配輸送系統,手拉車,手推車,堆高機,中央監控系統,1.TRANSFER UNIT INTRODUCTION,2.DILUTION UNIT INTRODUCTION,3.SUPPLY UNIT INTRODUCTION,化學品供應系統供應流程,化學品供應系統供應流程說明,13.
4、化學品儲存槽,2.過濾器,3.排氣管,4.抽風流量調節閥,8.氣動閥,7.壓力平衡器,1.化學品供應車,5.調壓閥,9.定量槽,10.水流抽氣機,12.泵浦,11.手動閥,14.偵測器,化學品供應系統供應流程說明,1.TRANSFER UNIT零件解說圖,2.補充化學品動作,a.由USER啟動P1 PUMP進行補充化學品動作,當H SENSOR ON時,USER即關閉P1 PUMP停止補酸動作,化學品供應系統供應流程說明,3.定量補充化學品動作,a.啟動P PUMP及A4自動閥進行補充化學品動作,當OVERFLOW SENSOR ON時,由A3自動閥動作進行排 酸至OVERFLOW SENSO
5、R OFF時即停止排酸動作,b.當排酸動作停止時,依序開啟氣動閥A1進行DIW補進動作,再由A2氣動閥作動透過A/S水流抽氣機進行混 酸動作及輸送化學品至DILUTION UNIT,化學品供應系統供應流程說明,c.濕氮氣經由M5手動閥、調壓閥、流量計及E1閥時,DIWATER產生一含濕度之氮氣用以緩衝稀釋槽內之 壓力,也可作用調解溶劑之濃度,2.WET N2 BOX動作,a.啟動A1氣動閥補進DIW至WET N2 BOX直至H SENSOR ON為止,同時N2之調壓閥及E1閥開啟進行調節 流量壓力動作,b.在DIW補進WET N2 BOX至H SENSOR ON時,藉由N2把多餘氮氣經由EX排
6、出動作,化學品供應系統供應流程說明,3.補充化學品動作,a.當化學品稀釋槽空桶時,發出REQUEST信號,由TRANSFER UNIT補酸至DILUTEION UNIT動作,b.開啟A5、A6氣動閥進行DIW補進動作,直至C SENSOR ON時先關閉A5閥,而A6閥點放控制至濃度分析 儀判定OK時,停止DIW補進動作,化學品供應系統供應流程說明,4.循環動作,a.開啟氣動閥A1、A3,再啟動P1 PUMP經過F1及F2過濾器進行循環動作,b.化學品循環動作經由M24及M23手動閥時,濃度分析儀會分析化學品濃度數值,以確保化學品濃度在設定 標準值內,c.經由濃度分析儀測定CHEMICAL已混酸
7、完成時,始可供酸至SUPPLY UNIT之動作,化學品供應系統供應流程說明,2.補充化學品及循環動作,化學品供應系統供應流程說明,中央監控系統,中央監控系統-訊號傳遞流程,Chemical Valve Box(CVB)設計,警報設計,即時警報資料,歷吏警報資料,化學供應及藥液儲存槽安全設計注意事項,不相容性化學品分開儲存 儲槽或儲櫃須為耐壓、耐燃材質、並裝設 有洩漏偵測 器及警報 機械排氣通風 至少1ft3/(min x 樓面積ft2)考慮排氣口及進氣口位置 自動緊急備用電源供應系統 火災阻隔設計 合適消防系統(如CO2滅火系統)採無穿牆(Pass Through)設計,化學供應及藥液儲存槽安
8、全設計注意事項,標示及物質安全資料表 門禁嚴格管制 高危害性化學品管線採用雙套管 閥件接頭或轉接處應有化學品分歧盒(CVB)CVB內有洩漏偵測器及排液裝置 進行換酸時需全程著合適之個人防護器具 化學品暫存量以不超過8小時存量為基準 值 有機溶劑區電氣全採防爆系統 緊急沖身洗眼設備 防漏堤設備,化學品洩漏緊急應變處理程序,Step一:阻斷洩漏源,任何液體不許輕易觸碰Step二:依緊急通報程序進行通報及圍籬標示Step三:由ERT人員(至少二人以上)穿著適當防護具 後,才可進行處理Step四:利用試紙確認化學品屬性,並偵測現場環境Step五:利用吸液棉條(片)或防爆型吸塵器等方式 進行除污作業Step六:最後用清水再進行沖洗,並確認已無殘留化 學品Step七:進行個人防護具、除污工具等除污Step八:廢棄物需用塑膠袋至少包二層並標示清楚,依事業廢棄物處理,結 論,一、化學品供應系統適當管材選用二、適當的廠務供應支援措施三、緊急連絡通報系統建立四、緊急應急藥品和防護器具準備五、供應系統及管路明確標示六、MSDS齊全且放置明顯區七、預防設計重於事後補救,報告完畢!敬請指教!,
