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1、Silvaco TCAD仿真流程及语法规则,Page 2,0主要内容,Page 3,1 仿真流程,TCAD仿真流程,1.1 仿真流程,Page 4,1.2.1 输入命令,输入命令流,Page 5,go athena,line x loc=0 spac=0.1,line x loc=1 spac=0.1,line y loc=0 spac=0.02,line y loc=10 spac=0.2,init c.phos=2e13 oreit=111 two.d,tonyplot,1.2.2 程序运行,命令逐行运行实时运算信息,Page 6,1.2.3 输出结果,实时输出结构文件*.str日志文件*
2、.log提取的数据*.dat,Page 7,1.2.4 结果分析,Tonyplot显示（Display）和分析（Tools）Tonyplot导出数据查看实时输出,Page 8,Page 9,2 语法规则,2.1 通用格式,通用格式，由command和parameter组成“n”为数值型参数，如“10”“c”为字符串参数，如“silicon”“|”表示从中括号中的参数选其1,Page 10,command parameter1=parameter2=parameter3|parameter4,go athena,diffuse time=36 hours temp=1250 f.o2=1.2,s
3、olve vgate=0.1,例子：,2.2 语法规则,命令可以简写，以不与其他简写相冲突为原则，如“deposit”可以用“depo”取代不区分大小写命令和参数之间、参数和参数之间以空格分开一行写不完的在该行的末尾加反斜杠“”(注意“”前需留有空格)，则下一行和该行将被视为同一个命令“#”进行注释空行不运行,Page 11,参数类型参数命名单属性：完整单词或缩写，diffuse,left,material,xj多属性参数：单词的连接，2d.max.conc,temp.val,c.phos,2.3 参数规则,Page 12,2.4 目录结构,Page 13,可执行程序的快捷方式,组件库,二维工
4、艺仿真器,版本号,模型文件、模板、材料参数等,用户手册及组件更新的说明文档,各版本的新特性说明文档,可执行程序,二维器件仿真器,示例库,一维工艺仿真的子示例库,2.5 文件类型,输入文件“*.in”（DeckBuild界面的仿真输入文件）结构文件“*.str”（工艺仿真或器件编辑器得到的器件结构）器件仿真结果文件“*.log”（器件仿真时存储仿真结果）设置文件“*.set”（Tonyplot的显示设置）掩膜结构文件“*.lay”（光刻的掩膜信息）提取的结果文件“*.dat”（提取得到的数据）“*.lib”（C编译器编写的函数文件）其他文件类型：“*.sepc”，“*.opt”，,Page 14
5、,Page 15,3 语法学习及书写建议,3.1 语法学习,学习资料程序自带的EXAMPLE：EXAMPLE路径，X:sedatools examples.用户手册：ATHENA手册位置：X:sedatoolslibAthena.R docsathena_users1.pdfSILVACO官方网站 SILVACO中国,Page 16,3.2 语法书写建议,添加注释、分成多行及空行变参数仿真可用“set”活用“CtrlC”和“CtrlV”,Page 17,增强可读性，便于查找和修改,3.3 Silvaco TCAD学习建议,电脑以及仿真程序始终只是工具，真正的发现还是来自于实践，两者不可偏废电脑只能解决问题而不能提出问题，所以电脑的功能永远有限，要学会寻找问题仿真真，尽信软件不如没有软件在使用中学习，而不是在记忆中学习,Page 18,4 总结,本课的主要内容Silvaco TCAD的仿真流程Silvaco TCAD的语法规则及学习和书写建议下一课主要内容工艺仿真器介绍工艺仿真流程,Page 19,Page 20,谢谢！,欢迎提问,
