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20、第8章光刻胶,一,光刻胶的类型凡是在能量束,光束,电子束,离子束等,的照射下,以交联反应为主的光刻胶称为负性光刻胶,简称负胶,凡是在能量束,光束,电子束,离子束等,的照射下,以降解反应为主的光刻胶称为正性光刻胶,简称,8,1光刻胶的类型,光。