镀膜机操作及镀膜工艺指导书.doc

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1、镀膜机操作及镀膜工艺指导书受控状态及编号文件编号GL/WI-RD-03-25页码Page 1 of 30部门技术部发布日期2013年12月9日拟制徐 威审核批准变更 履历12007-05-28文件整合将老版文件改为新版的格式聂旭光22007-08-15内容新增1、增加产品镀膜前烘烤要求 Page 15周霞2、增加表单 Page 20周霞32007-10-09客户审核要求1、增加变更履历 Page 1杨莎2、去掉产品镀膜前烘烤要求 Page 15周霞3、5#镀膜机增加光栅增透 Page 15聂旭光42008-04-29内容新增新增镀膜应急情况处理办法 Page 7.8冯浩52008-09-09内

2、容新增 Page 12冯浩62009-04-13内容变更更新3#镀膜机作业流程 Page 9-14 何健72009-04-24内容新增新增4#镀膜机作业流程 Page 19-21何健82009-05-18客户审核要求新增镀膜产品切换要求 Page 21何健92009-08-05文件整合全部更新 全文冯浩102010-01-15内容变更1.变更4#5#6#机台清洗周期 2变更4#工艺参数冯浩112010-04-7内容新增1.新增7.95um/10.8um光栅镀膜工艺 page9-142.增加405nm增透工艺 page20徐威122010-7-28内容变更1. 变更3#镀膜机保养规范 Page

3、132.变更4#镀膜机工艺参数 Page 18-223.变更5#镀膜机工艺参数 Page 25-264. 变更6#镀膜机工艺参数 Page 30徐威袁超132010-9-13内容新增新增镀膜工艺卡片 Page 18，32叶小兵142010-9-20内容新增新增3#，4#镀膜机烘烤温度点检要求冯浩152011-4-18内容新增新增镀膜工艺卡片三洋BD414蓝光偏小AR、正常AR、偏大AR徐威162011-11-21文件整合全部更新 全文靖泽兵172011-12-30内容变更部分内容调整 Page 3.4.7靖泽兵182012-2-8内容变更表单变更 Page28靖泽兵192012-3-12内容变

4、更表单变更 Page28靖泽兵202012-5-21内容新增1. 增加测温时机，时机为停机大于等于24小时后测温。2. 明确8.2.4中C条处理办法靖泽兵212012-12-26内容变更表单变更 Page28靖泽兵222013-1-5内容新增新增阳极筒更换注意事项 Page16徐威232013-1-14内容新增1.新增清扫注意事项及膜料存放要求 Page3、42.新增下伞条件 Page 83.新增离子源存放要求 Page 164.变更设备清洗流程 Page 13、15、20、225.变更配件更换要求 Page 14、21徐威242013-12-9应客户要求增加产品面别一览表 Page 29-3

5、0杨莎252014-4-23内容变更Sio2加料变更 Page 4徐威一、目的为了规范镀膜作业员镀膜操作，特制定该文件。二、适用范围本文件适用于参与镀膜操作的全体人员。三、设备及辅助材料3.1 1#：昭和真空镀膜机；3.2 2#：昭和真空镀膜机；3.3 3#：莱宝真空镀膜机；3.4 4#：韩一真空镀膜机；3.5 5#：现代南光ZZS1100真空镀膜机；3.6 6#：现代南光ZZS1100真空镀膜机；3.7其它设备及辅助材料：镀膜材料、吸尘器、铜刷、锤子、镊子、丙酮、口罩、手套。 四、镀膜机制作产品范围编号名称适用产品4.11#昭和镀膜机作业流程全反、增透膜等4.22#昭和镀膜机作业流程全反、增

6、透膜等4.33#莱宝镀膜机作业流程光栅、滤光片、分光、全反、增透膜等4.44#韩一镀膜机作业流程滤光片、分光、全反、增透膜等4.55#南光镀膜机作业流程分光、增透膜等4.66#南光镀膜机作业流程增透膜等4.7镀膜产品切换要求生产中减少产品切换频率五、镀膜作业内容后留下一工序5.1镀膜流程图OKNG报废产品性能检查光控、晶控确认添料清扫开机关机下伞进气镀膜排气（抽真空）上伞5.2镀膜操作说明昭和莱宝韩一南光开机参考设备部文件参考设备部文件参考设备部文件参考设备部文件清扫清扫完毕清扫电子枪周边防护板清扫遮料板清扫洁坩埚周边清扫支架清扫镀膜机四周防护板盖住坩埚1、 使用工具：铜刷和吸尘器2、清扫流程

7、： 注意事项：整个清洁过程中操作人员必须戴口罩、手套；遮料板每罩清扫，每3罩反射镜更换1次，并拆网喷砂处理。(3)用铝纸包的护板每5罩反射镜(35罩AR)须更换。添料1、添加SiO2时，先将坩埚周围卫生清洁再将烧结成块的SiO2取出，然后加入新的SiO2膜料。添加时，用添料勺一边添加一边压紧，最终添加到膜料与坩埚上边沿齐平即可。2、添加TiO2时，需将前一次熔出的坑填平。 添加膜料注意相对应坩埚序号，及所需添加的材料名称； 膜料添加完毕后，需将坩埚周边的多余膜料清除干净。膜料的存放要求：1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔内保存2、已开启的膜料，0.5KG以内的放1包干燥剂，0.5KG以上的放2包

8、干燥剂。SiO2 添加图SiO2 添加后图：TiO2 添加后图：1、添加SiO2时，先将烧结成块的SiO2取出，然后加入新的SiO2膜料，添加时，用专用治具一边添加一边压紧（见图示），最终添加到膜料与坩埚上边沿齐平即可。2、添加Ti3O5时，将前一次熔出的坑填平即可。3、添加ZrO2时，只需将前次使用的膜料取出，更换成新膜料即可，膜料必须放置到坩埚中心位置。 添加膜料注意相对应坩埚序号，及所需添加的材料名称； 膜料添加完毕后，需将坩埚周边的多余膜料清除干净。膜料的存放要求：1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔内保存2、已开启的膜料，0.5KG以内的放1包干燥剂，0.5KG以上的放2包干燥剂。SiO

9、2 添加图SiO2 添加后图SiO2 添加后图：TiO2 添加后图：1、添加SiO2时，先将坩埚周围卫生清洁再将烧结成块的SiO2取出，然后加入新的SiO2膜料，添加时，用添料勺一边添加一边压紧（见图示），最终添加到膜料与坩埚上边沿齐平即可。2、添加TiO2时，将前一次熔出的坑填平即可。3、添加Si时，添加的膜料需低于坩埚边缘2mm3mm。 添加膜料注意相对应坩埚序号，及所需添加的材料名称； 膜料添加完毕后，需将坩埚周边的多余膜料清除干净。膜料的存放要求：1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔内保存2、已开启的膜料，0.5KG以内的放1包干燥剂，0.5KG以上的放2包干燥剂。SiO2 添加图SiO2

10、 添加后图：TiO2 添加后图：1、添加SiO2时，先将坩埚周围卫生清洁再将烧结成块的SiO2取出，然后加入新的SiO2膜料，添加时，用专用治具一边添加一边压紧（见图示），最终添加到膜料与坩埚上边沿齐平即可。2、添加TiO2时，需将前一次熔出的坑填平即可。3、添加Si时，添加的膜料需低于坩埚边缘2mm3mm。 添加膜料注意相对应坩埚序号，及所需添加的材料名称； 膜料添加完毕后，需将坩埚周边的多余膜料清除干净。膜料的存放要求：1、不使用的已熔膜料需放入干燥塔内保存2、已开启的膜料，0.5KG以内的放1包干燥剂，0.5KG以上的放2包干燥剂。SiO2 添加图SiO2 添加后图：TiO2 添加后图：

11、光控、晶控确认每罩均需更换光控片1、镀FM时更换20个光控片；2、镀AR时更换4个光控片。 更换过程中注意保持光控片表面洁净。 更换后需在镀膜原始数据记录表中做好更换记录。使用光控时：每罩均需更换光控片，同时检查晶振寿命值，寿命值10时必须更换晶振片；单独使用晶控时，每罩检查晶振寿命值：1、镀GT产品时，晶振寿命值3时必须更换晶振片；每更换阳极筒时也必须更换晶振片2、镀除GT以外其它产品时，晶振寿命值8时必须更换晶振片；3、晶振片更换好后，需检查晶振频率是否正常显示，寿命值是否为0，若不是，则需重新更换。 更换过程中注意保持光控/晶控片表面洁净； 更换后需在镀膜原始数据记录表中做好更换记录。使

12、用光控时：每罩镀膜前需检查光控片使用状况，并根据下罩镀膜产品决定是否需要更换光控片（例：光控共40个点，若已用28个点，而下一罩需要用16个点，则28+16=4440，故在镀下一罩之前需更换光控片），同时检查晶振寿命值，寿命值16时必须更换晶振片；单独使用晶控时：检查晶振寿命值，寿命值10时必须更换晶振片；晶振片更换好后，需检查晶振频率是否正常显示，寿命值是否为0，若不是，则需重新更换。 更换过程中注意保持光控/晶控片表面洁净； 更换后需在镀膜原始数据记录表中做好更换记录。1、检查晶振片寿命值，寿命值96%时，必须更换晶振片。2、晶振片更换好后，需检查晶振频率是否正常显示，寿命值是否98%，若

13、不是，则需重新更换。 更换过程中注意保持光控/晶控片表面洁净； 更换后需在镀膜原始数据记录表中做好更换记录。上伞将装好镜片的伞架放置到镀膜机工件架上，并确认是否放置到位。 上伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。将装好镜片的伞架放置到镀膜机工件架上，并确认是否放置到位。 上伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。将装好镜片的伞架放置到镀膜机工件架上，并确认是否放置到位。 上伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。参考镀膜装取片作业指导书GL/WI-RD-13-02排气（抽真空）1、用无尘布擦拭密封圈和门边沿，以防脏污影响抽真空速度；2、关闭真空室门，点击面版上的“排气开始”键,进

14、入自动排气、加热状态。 记录开始排气的时间点3、检查镀膜机自动运行状态：“Power Supply”是否保持“ON”状态。1、用无尘布擦拭密封圈和门边沿，以防脏污影响抽真空速度；2、关真空室门，按VENT键(关放气阀)，设备即进入抽真空状态。 记录开始排气的时间点1、用无尘布擦拭密封圈和门边沿，以防脏污影响抽真空速度；2、关闭真空室门，按一下“RUN”键，设备进入自动排气、加热状态。 记录开始排气的时间点3、检查自动运行的几个AUTO开关状态：ROTATION，POCKET，SHUTTER，HEATER，APC（RVC300；充氧需要），电子枪、加热是否均为EXT模式。 熔Si时需手动熔料1、

15、用无尘布擦拭密封圈和门边沿，以防脏污影响抽真空速度；2、关闭真空室门，同时开烘烤，进入排气状态。 记录开始排气的时间点 在抽真空同时要如实记录抽真空时间。3、预熔膜料 SiO2膜料不需要预熔。镀膜镀膜制程文件选择：镀膜机电脑操作软件界面中依次选择：“成膜实行” “镀膜条件名选择”（根据产品制造单产品名称选择镀膜制程文件，如：FM-23I81选择制程文件“M-23I81” ）“成膜开始”，则设备进入自动运行状态。 在整个自动过程中，注意调整电子束光斑的位置和大小。 镀膜过程中需观察光控曲线极值点走势是否正常，进氧是否正常,真空度是否稳定,若不正常则需在镀膜原始数据记录表中记录异常状况。1、按ST

16、EP键、再按8键，检查程序编辑是否正确。2、按STEP键，再按7键，检查所镀膜系是否正确。3、按AUTO键、 START键，则设备进入自动运行状态。 在整个自动过程中，注意调整电子束光斑的位置和大小。 镀膜过程中需观察监控速率是否稳定，束流是否正常，进氧是否正常,真空度是否稳定,若不稳定则需在镀膜原始数据记录表中记录异常状况。检查镀膜程序调用是否正确，若确认无误，单击HOPE程序界面中绿色START键，则设备进入自动运行状态。 在整个自动过程中，注意调整电子束光斑的位置和大小。 镀膜过程中需观察监控速率是否稳定，束流是否正常，进氧是否正常,真空度是否稳定,若不稳定则需在镀膜原始数据记录表中记录

17、异常状况。1、当真空度达到3.0E-3Pa且抽真空时间达到2小时时可进行镀膜；2、镀膜前确认所镀产品型号，寻找该产品的镀膜程序，并根据程序规定进行镀膜。3、镀膜完成后关闭烘烤保持高真空5分钟后关闭高阀。 镀膜时同种膜料的光斑放置位置要一致，光斑扫描大小要一致。 电子枪电流调节不可忽大忽小，时常使用的电流调节位置做好标记，以便下次使用时参考。 Si膜料镀完后要将坩埚中的膜料突起熔平才能旋转坩埚，以免坩埚卡住。 当镀膜过程中发现膜料喷溅时，需及时关闭蒸发挡板，并记录此时晶振所显示的厚度值，待膜料预溶至无喷溅现象时方可继续镀膜。 镀膜过程中需观察监控速率是否稳定，束流是否正常，进氧是否正常,真空度是

18、否稳定,若不稳定则需在镀膜原始数据记录表中记录异常状况进气1、镀膜完成后，镀膜机触膜屏控制面板上“排气系”界面自动进入 “大气”状态。2、若需手动放气，在镀膜机触膜屏控制面板上“排气系”界面选择“手动” 关闭“MV1MV2” （Polycold开始除霜，35时除霜完成）点击“WSW”（开始进气）。 开门时间点需记录到镀膜原始数据记录表中。1、镀膜完成后等待腔体门自动打开；2、若需手动放气，则按下VACUUM SELECT菜单中放气阀VENT键。 开门时间点需记录到镀膜原始数据记录表中。1、 镀膜完成后，镀膜机将按以下顺序动作：MV OFF（设定时间），HEATER OFF（设定时间），ROTA

19、T10N OFF 冷却结束（设定时间），LV开，充气，开门。2、若需手动放气，则待POLYCOLD除霜结束后按下白色VENT键等待自动开门。 开门时间点需记录到镀膜原始数据记录表中。温度降至220后打开放气阀待真空室门自动打开。 开门时间点需记录到镀膜原始数据记录表中。下伞将伞架从镀膜机工件架上取下，放置到净化工作台中。 下伞时需带石棉网手套，避免烫伤； 下伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。将伞架从镀膜机工件架上取下，放置到净化工作台中。 下伞时需带石棉网手套，避免烫伤； 下伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。将伞架从镀膜机工件架上取下，放置到净化工作台中。 下伞时需带石棉网

20、手套，避免烫伤； 下伞时应避免手或袖口等碰触镜片，造成镜片脏污。参考镀膜装取片作业指导书GL/WI-RD-13-02 1.当车间温度低于22时，每罩产品镀完膜后等温度降至200以下开进气阀，开门后等温度降至50以下取伞。2.当车间温度高于22时，按照原工艺进行生产。机参考设备部文件参考设备部文件参考设备部文件参考设备部文件5.3镀膜后自检5.3.1光学性能检查：A. 镜片冷却至常温后，取1、3、5圈各一片，测试光学性能（见测试清单），并按镀膜批号保存好镀膜曲线；B. 光栅产品冷却至常温后，每圈伞片边缘各取一片，去胶并测试衍射比值；C. 若测试光学性能OK，则将测试片归还到吸塑盒中原位置后，将测

21、试曲线与对应产品一同后流品质抽检；D. 若测试光学性能NG，则及时通知当班组长，当班组长若能自行调整则调整后再知会项目负责人，若不能自行调整则第一时间通知产品负责人，待产品负责人制定调整方案后再做调整，调整状况均需详细记录到镀膜原始数据记录表中。5.3.2外观检查：A. 每罩取测试了光学性能的3片产品进行外观检查；B. 检查方式：置于强光灯下，目视检查；C. 检查项目：麻点、喷点、雾状、手指印、水渍等；D. 处理方法：3片中只要发现有1片不良，及需上报当班组长，由组长确认是否可继续生产，当组长不能判定时，需上报项目负责人，由项目负责人确定是否可继续生产，同时项目负责人需制定改善方案。六、膜料更

22、换及使用6.1膜料更换膜料名称SiO2SiTiO2 Ti3O5 Ta2O5 Nb2O5 Al2O3 H4 M1常规更换周期每次洗设备后更换15天（15天为蒸着使用时间）15天（15天为蒸着使用时间）20天（(20天为蒸着使用时间)更换流程添加新膜料酒精擦拭清水冲洗坩埚喷砂将坩埚中的膜料敲出投入生产镀膜过程中膜料污染达到规定使用天数熔料有杂质或严重污染局部小面积污染将污染的膜料敲出添加新料 高折射率材料熔料遵循先大光点将膜料颗粒熔化,再中光点进行小范围熔(光点控制成小圆圈路线),最后小光点大面积的扫描(整个坩埚内全部扫描到,使药品得到充分的溶化)的原则； 熔料次数2次，手动熔料电流控制见附件。

23、低折射率材料不需要进行熔料。 更换膜料后需将更换信息记录到镀膜原始数据记录表中。备注 此药品属于使用量比较小的药品,在平时使用过程中选择小瓶盛装拿起使用,原装的大瓶膜料放入干燥箱中保管. 此药品属于使用量比较小的药品,在平时使用过程中选择小瓶盛装拿起使用,原装的大瓶膜料放入干燥箱中保管.6.2熔料6.2.1昭和、莱宝镀膜机都是设备自动熔料；6.2.2 韩一镀膜机熔料当真空达到8.0E-5Torr时进行Si材料预熔，预熔前先将电子枪2调到手动状态并开启电子枪及高压电源，将扫描X、Y分别调整到6慢慢加大束流至100mA等待60s再慢慢加到200mA等待90s这时Si已慢慢熔化，在降束流将至150m

24、A并将扫描X、Y调整到0等待60s，再慢慢加到250mA等待90s，再慢慢加到350mA等待90s，再慢慢加到450mA等待30s，将扫描X、Y分别调整到10并慢慢降束流至200mA等待20s, 再慢慢降束流至100mA等待20s，再慢慢降束流至50mA等待20s，再将束流慢慢降到0扫描X、Y分别调整为0，关闭电子枪将其调到自动状态。熔料曲线：Tio2/M105010015020025030035040001002003004005006007006.2.3 南光镀膜机熔料：当真空计显示为5.0E-3时,方可预熔膜料。将工转电压调至100V,熔料，开电子枪灯丝, 调节遥控盒上束流使电流表2显示

25、为0.5A预热5分钟，（若用电子枪,则把电子枪选择开关指向枪），开扫描电源, 开高压, 慢慢加大束流,注意观察真空室内光斑的位置, 不断调节X,Y扫描移动光斑,在坩埚的位置,使膜料均匀预熔, 当束流达到规定值,膜料预熔放气,直到真空计显示放气量只降不升时,再把光斑放到坩埚中间烧1分钟左右,关电子枪束流,关预置。 熔Al2O3时将X扫描加一圈Y扫描加半圈熔料曲线：七、设备清洗7.1昭和镀膜机清洗7.1.1清洗周期A. 镀FM时：3天/周期(15罩FM)；B. 镀AR时：7天/周期(105罩AR)；C. FM+AR的混合生产时，先安排生产FM,后生产AR,更换周期不超过105罩AR(1罩FM=7罩

26、AR).拆卸坩埚周围盖板7.1.2清洗流程图放置到干燥柜中取出镀膜机内坩埚送喷砂房喷砂包铝纸的护板需更换新的铝纸清水冲洗干净拆卸真空室内的底板、左右护板、伞架、挡板、电子枪护板清洁加热管边缘，工件架边缘，机内侧壁沉积膜料用铜刷或刮刀用酒精擦拭用吸尘器将粉尘吸除用铝纸将电子枪盖好清洁电子枪周边吸除镀膜机内掉落的膜料及粉尘用酒精擦拭擦拭扩散泵上方真空室、POLYCOLD管道及真空室内壁用酒精浸泡并擦拭用1000#砂纸打磨清洁电子枪体更换枪灯丝安装电子枪、电子枪护板、真空室内的底板、左右护板及挡板排气测试护板清洗要求：拆卸人员与喷砂人员共同填写昭和镀膜机清洗交接表。排气要求：温度设定300，抽真空1

27、小时，并试枪空镀5-10分钟。7.1.3配件更换A、电子枪灯丝更换l 1#电子枪灯丝更换周期：25天/周期(25天为镀膜机工作时间)；l 2#电子枪灯丝更换周期：每次清洗机台时更换。l 在生产周期内出现电子枪灯丝打火或枪灯丝烧断情况时可更换枪灯丝,。l 更换新的枪灯丝后要预热10分钟以上。l 更换下的枪灯丝须贴上小标签，并在小标签上注明更换时间、人及几号电子枪.注：作业员更换枪灯丝时组长需监督确认，并在镀膜原始数据记录表中记录更换信息,以便在下次清洗设备时由组长判定是否再次更换枪灯丝.B、光控片更换l 1镀FM时安装全部的光控片(20个）；l 镀AR时安装4个光控片。注：1、 更换光控片时，需

28、保持光控片表面清洁；2、 更换光控片后需在镀膜原始数据记录表中记录更换信息；3、 更换后的光控片统一放置保管，积攒到一定数量后由采购部门统一外发返工抛光后再次利用。4.更换套铜时须对应放置，换下的套铜放置于夹具中。4、C、光控灯泡更换l 更换周期：7天/周期（7天为工作时间）l 更换周期内如果发现光信号发生波动较大时或出现极值点偏差时，则当即更换光控灯泡。注：更换光控灯泡后需在镀膜原始数据记录表中记录更换信息；7.2莱宝镀膜机清洗7.2.1清洗周期A、整个清洗周期，只能镀AR产品100罩，镀其他产品需做折算：l 1罩光栅增透=1罩AR；l 1罩光栅=0.25罩AR；l 1罩G2K=3罩ARB、

29、若需镀光栅，必须在设备清洗后优先镀，且只能镀108罩，再镀只能镀光栅以外产品。7.2.2清洗流程图护板清洗要求：拆卸人员与喷砂人员共同填写莱宝镀膜机清洗交接表。排气要求：温度设定280，排气（抽真空）一小时，并试枪及离子源空镀5-10分钟将管道内水排出盖上离子源盖板拆卸坩埚周围盖板取出镀膜机内坩埚拆卸真空室内的底板、左右护板、伞架、挡板送喷砂房喷砂用酒精擦拭清洁烘烤盘边缘，加热管边缘，工件架边缘沉积膜料用铜刷或刮刀吸除掉落的膜料及粉尘擦拭扩散泵上方真空室、POLYCOLD管道及护板用酒精擦拭安装4块通水护板安装其他护板清洁电子枪体用1000#砂纸打磨用酒精浸泡并擦拭更换枪灯丝排气测试放置到干燥

30、柜中清水冲洗干净清洁电子枪周边用吸尘器将粉尘吸除用铝纸将电子枪盖好通水测试（先通热水后通冷水）7.2.3配件更换A、电子枪灯丝更换l 以GT计算，当枪灯丝使用值为400时，需洗枪，换枪灯丝。l 在生产周期内出现电子枪灯丝打火或枪灯丝烧断情况时可更换枪灯丝,。注：1、当镀一罩GT时枪1使用值加1，枪2加0；2、当镀一罩AR时，枪1使用值加1，枪2加4；3、作业员更换枪灯丝时组长需监督确认，并在镀膜原始数据记录表中记录更换信息,以便在下次清洗设备时由组长判定是否再次更换枪灯丝.l 更换新的枪灯丝后要预热10分钟以上。B、晶振片更换l 镀GT产品时，晶振寿命值3时必须更换晶振片；l 镀除GT以外其它

31、产品时，晶振寿命值8时必须更换晶振片；l 光控控制时，晶振寿命值10时必须更换晶振片；l 每更换阳极筒时也必须更换晶振片；l 当发现镀膜速率不稳时及时更换晶振片；注：1、更换晶振片时，需保持晶振片表面清洁；2、 更换晶控片后需在镀膜原始数据记录表中记录更换信息；l 装好后，检查晶振频率是否正常显示，寿命值是否为0。C、阳极筒更换l 以GT计算，镀7罩GT后需要更换阳极筒；l 以AR计算，镀15罩AR后需要更换阳极筒；l 超过一个12小时未用时也应该更换阳极筒；注：1、更阳极筒后需在镀膜原始数据记录表中记录更换信息；2、 镀光栅时要求离子源功率DP控制在5.00.1。（通过调整BV值控制）l 从

32、其它产品转镀光栅产品时，需要更换阳极筒。D、离子源清洁及存放l 更换硼化镧后，使用时间48小时时，每更换阳极筒时都需清洁一次离子源；使用时间48小时时，每更换2次阳极筒时清洁一次离子源。l 当离子源陶瓷环若出现明显破损，需更换。l 当离子源不使用时须加盖盖好，使用时须将盖取出。l 当镀膜机开门时间2小时则须将离子源取出放入干燥柜中存放。E、硼化镧与加热器更换l 使用时间250H时，需更换硼化镧与加热器；l 更换后需计时归零，同时将时间计时器设定为250H。F、石墨加热器及硼化镧的预使用及硼化镧“消毒l 石墨加热器的预热当更换新的石墨加热器时，需对加热器和硼化镧进行预热除气的操作，具体步骤如下：

33、=按照操作指南安装新部件=关上真空室门并在“idle”状态下抽真空至3.0E-5mbar=通冷水，在APS控制面板MENU 6菜单中设置以下参数： Operating mode local HEATER CURRENT 30A HEATER POWER 0KW=按下“HEATER”按钮，等待加热器的预热时间完成。=改变HEATER CURRENT(加热器电流)到40A并等待预热时间完成。=按照每次10A逐渐增加HEATER CURRNET至100A，每一步都需等待预热时间完成。=按照每次20A逐渐增加HEATER CURRNET至200A，每一步都需等待预热时间完成。=将HEATER POWE

34、R（加热器功率）设置为1.8kw并等待预热时间完成。完成以上步骤后，加热器的参数已设置为正常工作时的状态。l 硼化镧的预热=将离子源设置为LOCAL模式=按下“HEATER”，等待加热器加热完毕。(在约500S)=在MENU3菜单将32号离子源中设置为以下参数Coil current 0.5AAPS shutter delay time 0secDischarge pre-current 10ADischarge pre-time 0secBias voltage 0VDischarge idle current 0AGas 1 start flow 10sccmGas 1 trigger d

35、elay 0secGas 1 ramp time 0secGas 1 end flow 10sccm=按下“SOURCE”点火程序和适应阶段将在到达设定的参数之前自动运行。在开始阶段，DISCHARGE VOLTAGE将比BIAS VOLTAGE要高，（在MENU1菜单中查看当前值）=每次10A增加DISCHARGE CURRENT到30A。（在MENU2菜单中更改）注：每一步都需等待几分钟直到离子源稳定（放电电压缓慢减小）。=减小GAS 1 FLOW 到8sccm。=增加DISCHARGE CURRENT 到40A。 =增加COIL CURRENT到1.00A注：现在DISCHARGE VO

36、LTAGE 应该比BIAS VOLTAGE要低。=将BIAS VOLTAGE设定为120V以启动偏压控制，此时DISCHARGE VOLTAGE应该近似为90-100V。让APS以此状态运行至少20-30分钟 =依次按下SOURCE 和HEATER关闭离子源和加热器。l 硼化镧“消毒”当硼化镧表面被氧化时，称为“中毒”，其外在表现为硼化镧表面变为土黄色，此时需对其进行“消毒”除气操作。消毒原理是硼化镧表面在氩离子环境中再生。具体操作如下：1）清洁用莱宝专用工具将阳极桶取出并更换，将离子源加热器、硼化镧及其附件取出进行清洁，后安装到位。2）关上真空室门抽真空至2.0E-5mbar。3）按HEAT

37、ER键，启动离子源加热器并自动等待300秒。4）按MENU键、3键，进入离子源参数设置，并设置SET30，如下；COIL CURRENT 0.5 ADISCHARGE PRE CURRENT 10 ADISCHARGE PRE TIME 10sDISCHARGE CURRENT 10ABIAS VOLTAGE 0.0 VDISCHARGE IDLE CURRENT 10AGAS 1 GAS 2GAS START FLOW /sccm 20 0GAS END FLOW /sccm 20 05）按SOURCE键，启动离子源=当离子源第一次点火后DISCHARGE PRE CURRENT（放电电流）

38、可能小于10A并且离子束可能会闪烁。如果在离子源内部产生电弧，则可能触发低压保护而关闭离子源，同时会出现F：DISCHARGE VOLTAGE的报警提示。=按下“ACKN”键消除报警。=重新启动离子源直到在此条件下有稳定的放电电压。=按照一定的增量逐渐增加参数的数值。如下表 6）7）8）9）COIL CURRENT0.5A1.0A1.5A2.0ADISCHARGE PRE CUNRRENT20A20A20A20ADISCHARGE CUNRRENT20A20A20A20AGAS FLOW GAS 1(sccm)20202020注：当离子束不再闪烁并且看起来稳定时，进入下一步。例如：离子源参数不

39、再改变时，可进入下一步 =将DISCHARGE PRE TIME设置为60秒，并按以下步骤进行。10）11）12）COIL CURRENT2.0A2.0A2.0ADISCHARGE PRE CUNRRENT20A20A20ADISCHARGE PRE TIME60s60s60sDISCHARGE CUNRRENT30A40A40AGAS FLOW GAS 1(sccm)202015=完成以上步骤后，偏压控制启动（偏压设置大于0）13)14)15)16)17)DISCHARGE CUNRRENT40A40A40A40A50ABIAS VOLTAGE80V100V120V120V120VGAS F

40、LOW GAS 1(sccm)1515151212=按照最近的离子源参数运行至少15分钟，直到COIL CURRENT（线圈电流）和BIAS VOLTAGE（偏压）稳定。检查 =启动镀膜时候使用的离子源设置（不充氧气）消毒完成后的离子源参数应该接近“中毒”之前的状态。=开门后取出硼化镧观察其颜色，如果是丁香蓝（LaB6的典型颜色），则消毒完成，可以正常工作。7.3韩一镀膜机清洗7.3.1清洗周期A. 镀IR-CUT、FM时：2天/周期；B. 镀BS时：3天/周期，中间可穿插个别护板更换；注：组长确认可以适当延长清洗周期（延长时间不可超过12小时）7.3.2清洗流程图护板清洗要求：拆卸人员与喷砂人员共同填写韩一镀膜机清洗交接表。排气要求：温度设定300，抽真空一小时，并试枪及离子源空镀5-10分钟用铝纸盖好离子源取出镀膜机内坩埚拆卸真空室内的底板、左右护板、伞架、挡板等放置到干燥柜中送喷砂房喷砂清洁加热管边缘，工件架边缘，机内侧壁沉积膜料用铜刷或刮刀清洁电子枪周边吸除掉落的膜料及粉尘擦拭扩散泵上方真空室、PO