净化车间洁净度与温湿度控制课件.ppt

上传人:小飞机 文档编号:3812005 上传时间:2023-03-23 格式:PPT 页数:17 大小:2.58MB
返回 下载 相关 举报
净化车间洁净度与温湿度控制课件.ppt_第1页
第1页 / 共17页
净化车间洁净度与温湿度控制课件.ppt_第2页
第2页 / 共17页
净化车间洁净度与温湿度控制课件.ppt_第3页
第3页 / 共17页
净化车间洁净度与温湿度控制课件.ppt_第4页
第4页 / 共17页
净化车间洁净度与温湿度控制课件.ppt_第5页
第5页 / 共17页
点击查看更多>>
资源描述

《净化车间洁净度与温湿度控制课件.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《净化车间洁净度与温湿度控制课件.ppt(17页珍藏版)》请在三一办公上搜索。

1、,ASOLAR净化车间洁净度与温湿度控制合肥品澳工程动力部朱善成2019.8.2,JASOLAR洁净室介绍什么是洁净室?洁净室 Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。摘白GB50073-2019洁净厂房设计规范由于半导体工业所制作的渠成杷路元件尺寸嫣表小,在一决小小的溶片上,整合了许许多多的元件,因此在制造的过修中就必须防止外界杂质污染源(包抬尘埃、金属离子、各吴有机物等),因为这些污来得可以造成元器件性能的劣化及严品成品和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁冷的环统中进行,以尽量将污烧

2、源和片隔离,JASOLAR洁净室的构造是怎样的?比较项目全面垂直层流方式部分层流方式乱沈方式室内全部为高洁净度区域洁净通道内为高洁净度区域室内洁净度不高蠡露华炭佘降的动导少作人员对油净度的需华麦余降的活动而导道内200-400次/h换气次数下降风速045m/s下降凤速0.25-0.45m/s20-50其它区100-200次/h设各费用,JASOLAR洁净室的洁净度是如何确定的?Cla9s10 Class100 Class1000-Class1 0000米的检子少于1个的粒子少于10个粒直径(pm)米的粒子少于100个1立方英尺为单位空间Class10000:大于0.5微米的子少于10000个直径05徽米的全埃粒子为比较标准,

展开阅读全文
相关资源
猜你喜欢
相关搜索

当前位置:首页 > 生活休闲 > 在线阅读


备案号:宁ICP备20000045号-2

经营许可证:宁B2-20210002

宁公网安备 64010402000987号