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1、星科金朋集成电路(上海)有限公司项目环境影响报告书(简写本)委托单位: 星科金朋集成电路(上海)有限公司环评单位: 上海市环境科学研究院证书编号:国环评证甲字第1801号2006 年 10 月星科金朋集成电路(上海)有限公司项目环境影响报告书简写本1 建设项目概况1.1 项目名称和位置星科金朋集成电路(上海)有限公司项目选址上海市松江试点园区西区台积电公司内，台电积公司厂址位于文翔路北侧，属于上海市黄浦江上游水源保护区范围。松江区位于上海市区西南部，黄浦江上游，与闵行、金山、奉贤、青浦区接壤。地处长江三角洲东北部，与“冈身”以西，是长江三角洲平原成陆较早的部分，松江区城位于北纬31，东径121
2、14，距上海市中心约40km。项目所地的松江试点园区西片规划范围为西至斜塘，东靠油墩港，北到花辰公路，南至沪杭铁路。建设项目在上海市的地理位置见图1-1。项目在松江工业区西区的地理位置和周边环境见图1-2。1.2 项目性质和规模本项目为新建项目，为外资独资经营。以台积电生产的8英寸芯片为原件，在其上面的无数的集成电路上制作金凸块，8英寸芯片金凸块月产15000片，其中4000片再在金凸块的上面电镀镍凸块。1.3主要建设内容：表1-1 星科金朋集成电路(上海)有限公司主要建设内容序号设施名称建设内容建设状态1生产设施金凸块生产设施，包括电镀金、镍设施新建2动力设施纯水制备、循环冷却水、暖通及空调
3、净化、化学品配制与输送、高（低）压变配电依托台积电3辅助设施更衣室、技术管理、质量管理及产品开发、设备维修、备品备件库、原材料库、成品库及化学品库等新设4环保设施废水处理、废气处理、废液、固体废物回收、绿化维护依托台积电5安全设施消防设施、职业安全防护设施依托台积电6服务设施办公楼、食堂、停车场依托台积电7室外工程排水管线、蒸汽管线、工艺物料外管线、高压输电线依托台积电、星科金朋上海项目图1-1 本项目在上海莘庄工业区的地理位置和周边环境台积电本项目长兴港打铁浜佘山国家旅游度假区彩色滤光片是液晶显示器关键配套件之一，为配合上海广电-NEC液晶显示器有限公司的投产，项目拟于上海市闵行区莘庄工业区
4、（市级）上海广电-NEC液晶显示器有限公司南侧空地上建设。闵行区位于上海市中部，莘庄工业区位于闵行区的颛桥镇，中心城区外，本项目位于莘庄工业区的西南面，厂区西侧为林地，东距华宁路200m，北与上海广电-NEC液晶显示器有限公司相邻，南与联农路相接。厂区总占地面积7.794ha，其中绿化面积2.32ha。建设地点距上海中心城区边界外环线尚有约7km距离，地理位置优越。1.2公司股东上海广电富士光电材料有限公司由上海广电电子股份有限公司、占本项目注册资金比例为75%；日本富士胶片株式会社，占本项目注册资金比例为25%等2家著名的中外大型公司投资组成。工程总投资为21.36亿元。注册资本金额：1.0
5、亿美元。总投资中，设备投资10.96亿元，环保投资 3000万元，环保投资占总投资的1.40%。1.3 规模和组成(1) 生产规模主要为上海广电-NEC液晶显示器有限公司第5代TFT-LCD显示面板生产线配套，并承担OEM委托加工。产能：彩色滤光片加工能力：玻璃基板8万张/月。每张基板玻璃1100mm1300mm，厚度：0.7mm。(2) 建设项目组成 建设项目组成见表1-1。图1-2 本项目在松江工业区西区的地理位置和周边环境1.4 主要工艺方法本工程采用的工艺路线简化后如图1-3所示。污染主要来自于电镀金和电镀镍。芯片薄膜溅镀光阻覆盖曝光显影电镀金光阻剥离光阻覆盖曝光显影电镀镍光阻剥离Ti
6、/W蚀刻检查产品图1-3 芯片金凸块生产工艺流程简图2 建设项目对环境可能造成的影响2.1 对环境空气的影响2.1.1 环境空气质量现状按照上海市环境空气质量功能区划，当地环境空气执行环境空气质量标准(GB3095-1996)二级标准。利用松江工业区区域环评资料描述当地环境空气质量现状。项目区域环境空气质量良好，除徐庄监测点PM10浓度略有超标外，其余监测点 SO2、NO2 、PM10、氟化物指标均达到国家环境空气质量二级标准， HCl浓度 符合TJ36-79工业企业设计卫生标准中的“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”一次浓度限值要求，均符合项目区域环境空气功能区要求。2.1.2 拟采取的废
7、气污染治理措施星科金朋集成电路(上海)有限公司的环境保护措施，废气中有机废气利用台积电沸石转轮浓缩、燃烧的方法进行处理后经32m排气筒外排；酸性废气利用台积电碱性喷淋洗涤塔处理后经32m排气筒外排。2.1.3 对环境空气的影响预测 (1) 预测因子：本项目特征污染物NMHC、VOC、氰化物和镍。(2) 预测内容: 风速为2.5m/s、1.5m/s以及静风时，B、D、E稳定度下单个污染源各污染物最大落地浓度及落地距离；东南风，风速为2.5 m/s、1.5m/s以及静风时，B、D、E稳定度下各污染物一次浓度分布；熏烟条件下，各污染物一次浓度分布；各环境敏感点的浓度增量。(3)预测结果： l 建设项
8、目各排放源可能造成的污染物最大一次浓度贡献值比较小。氰化氢、镍、NMHC、VOC 的最大落地浓度分别为5.7210-6mg/m3、3.7610-7mg/m3、5.8710-5 mg/m3、5.8710-5mg/m3，HCN、Ni最大落地浓度分别占前苏联标准的0.02%和0.01%，NMHC最大落地浓度占大气污染物综合排放标准GB16297-1996新污染源二级无组织排放监控浓度限值的0.001%，VOC最大落地浓度为室内环境空气质量标准GB18883-2002中“8小时均值限值的0.01%。l 氰化物、镍一次浓度贡献值远远低于前苏联标准的一次值和日均浓度要求。l 熏烟条件下氰化物最大落地浓度为
9、8.9310-7mg/m3，仅占前苏联标准的0.003%，镍最大落地浓度为5.8610-7mg/m3，仅占前苏联标准的0.02%。l 由预测结果可见，本项目的投产运行，不会改变各环境敏感点的大气质量等级。2.2 废水2.2.1 地表水环境质量现状根据上海市水环境功能区划要求，长兴港面丈港桥断面属于黄浦江上游水源保护区，执行国家地表水环境质量标准(GB3838-2002)的II类标准；而油墩港老油墩港断面执行IV类标准。对项目区域长兴港面丈港桥断面和油墩港老油墩港断面进行了水环境质量现状监测结果表明，长兴港面丈港桥水质参数超过了规定的水质标准，已经不能满足相应功能使用要求；油墩港水质参数符合规定
10、的水质标准，可以满足相应功能使用要求。2.2.2 废水拟采取的治理措施废水中含镍废水拟采用聚乙烯亚胺基乙酸阳离子环氧树脂离子交换树脂吸附回收镍，然后调节pH后与其他废水一起再排向松江西部污水处理厂作进一步的处理。含氰废水拟先采用环氧树脂回收废水中的贵金属金，接着用阳离子环氧树脂吸附氰，然后返回到水洗槽继续作循环清洗水。其他清洗废水因污染物浓度极低，与其他废水一起直接排向松江西部污水处理厂作进一步的处理。2.2.3 对当地地表水的影响本项目的废水经处理达标后最终全部纳入松江西部污水处理厂，对当地地表水不产生污染影响2.3 噪声2.3.1 环境噪声现状按照城市区域环境噪声标准适用区划，当地环境噪声
11、执行城市区域环境噪声标准(GB3096-93)III类标准。根据台积电厂界验收监测资料，台积电所在区域基本符合3类功能区要求，只是在北厂界夜间出现超标现象，超标1.7dB(A)。2.3.2 噪声拟采取的控制措施本项目借助台积电的厂房，车间为房中房。工艺设备全部安装在室内，噪声源低于65LAeq(dB)，公辅设施全部依托台积电，不会对厂界产生污染影响。2.3.3 对厂界噪声的影响本项目为厂中厂，本身噪声值不高，经车间建筑隔声，噪声值更低。经预测，本项目新增噪声源对东厂界和北厂界基本不产生影响，因此，本项目投产后，各厂界昼间噪声仍符合工业企业厂界噪声标准III类标准要求；夜间噪声由于北厂界现状噪声
12、超标，造成本项目投产后北厂界夜间仍超标，北厂界北面为工业区预留工业用地，1000m范围内已无敏感目标，因此基本不会对周边环境造成污染影响。2.4 固体废物对于各类固体废物，本着资源化、无害化、减量化的理念进行处置。对于危险废物，分类收集后委托给经上海市环保局审核确定有危险废物处理资质的上海洁申实业有限公司、苏州顺惠公司和苏州贵金属回收有限公司集中处置。生活垃圾由松江工业区环卫部门清运，可回收的Ti/W靶材、Au 靶材等交光洋化学材料回收。3预防或者减轻不良环境影响的对策和措施3.1 环境空气污染防治对策建议项目产生有机废气、及酸性废气，工程设计上采取相应的沸石浓缩转轮吸附+燃烧和湿式酸碱洗涤的
13、处理净化技术，有关废气污染物的排放浓度远低于国家排放标准，其技术上是可行的，但在工程设计和运行时必须确保湿式酸碱洗涤塔水流的连续性，均匀性及保证废气与吸收液接触时间气、液接触时间；在有机气体燃烧装置重要保证有足够的燃烧温度和气体在炉内的充分停留时间，以确保有机废气能在燃烧炉内充分燃烧变为无害的CO2和水。对于排气中残留的有机污染物，要根据他们的热分解或燃烧温度，适当地控制燃烧炉温度和气体流速，以保证排气中各类有机污染物浓度达标。对废气净化装置处理，应制定管理规程，定期检修，确保净化系统正常运行。3.2 废水污染治理对策建议本项目金电镀废水采用离子交换后循环使用，但后续清洗废水因污染物含量低而直
14、接排入松江西部污水处理厂。清洗废水中含有少量的重金属Pb和氰离子，这两种物质均能使微生物中毒，从而影响污水厂处理效果，因此对这两种物质都有进水限制浓度。根据工程分析，这股废水的Pb和氰离子浓度均低于污水厂进水限值。为保证污水厂正常运行，建议对这部分废水进行监测，以保证这两种污染物浓度不超过进水限值。为确保污染防治设施正常运行，建议设置中央监控控制和传感器系统，整个废水处理系统的自动控制均应由PLC程序控制，pH及流量自动控制，以严格控制处理后的废水排放要求，避免人工操作可能产生的人为污染事故。为避免废水处理站的机电设备在运行中发生故障，导致水污染事故的发生，废水处理站中的有关机电设备拟采用一用
15、一备方式。工程设计时应考虑回流处理缓冲能力。废水处理应急措施设计时，应合理确定工艺参数，在主要水工建筑物的容积上留有缓冲池并配备优质处理设备。3.3 固体废物、废液污染对策建议推行清洁生产，实施废物减量化是当今国际上工业污染预防和企业推行环境保护工作的趋势，符合我国环境保护的现行政策和总体战略目标，是实行源头削减和全过程控制的主要措施和基本发展方向。本项目排放的固体废物、废液有17种，每年产生84.86t，其中危险废物占了大部分，种类多且量大，一定要加强管理，并制定减量化计划。4环境影响评价结论4.1 与国家产业政策的一致性星科金朋集成电路(上海)有限公司的主产品为8英寸芯片0.35微米集成电
16、路制作金凸块，属于国家发改委2004年11月30日公布的第24号令外商投资产业指导目录确定的鼓励类“集成电路设计与线宽0.35微米及以下大规模集成电路生产”和2005年12月2日公布的第40号令2005年版产业结构调整指导目录中确定的鼓励类“线宽1.2微米以下大规模集成电路设计、制造”，因此本项目与国家相关产业政策是相符的。同时也符合上海市2003年修订的上海工业产业导向及布局指南中鼓励类：“一、电子信息产品制造业”中的“线宽0.35微米以下超大规模集成电路”。因此，本项目建设符合国家技术进步和工业发展产业政策要求。同时，为8英寸芯片0.35微米集成电路制作金凸块的工艺之一氰化金钾电镀，为含氰
17、电镀工艺，属于2005年版产业结构调整指导目录中确定的淘汰类“一、落后生产工艺装备”中“含氰电镀工艺（电镀金、银、铜基合金及予镀铜打底工艺，暂缓淘汰）”。要求星科金朋集成电路(上海)有限公司承诺仅过渡性采用氰化金钾镀金工艺，一旦有成熟的无氰电镀工艺出现，星科金朋集成电路(上海)有限公司将立即无条件地更换采用无氰工艺。4.2 规划相容性根据上海市城市总体规划，上海共设有17个市级以上开发区，其中松江试点园区是其中之一。规划要求松江试点园区西部园区为微电子产业基地，与张江、金桥、外高桥组成的浦东微电子产业带和漕河泾新兴技术开发区组成核心的上海微电子产业产业基地，形成软件设计开发和集成电路生产、封装
18、、测试等完整的产业链，建成全国规模最大、技术领先、世界水平的集成电路生产和研发基地。星科金朋集成电路(上海)有限公司属于微电子产业，公司选址符合上海市工业向园区集中的产业布局规划要求，公司的产业类型与松江试点园区产业功能划分是相吻合的。4.3 清洁生产水平l 本项目的产品为经电镀形成金凸块后的芯片，该芯片95%应用于液晶显示器驱动IC封装，5%用于智能卡与大众卡产品。随着京东方、上广电、龙腾、天马等TFT-LCD面板厂的建立和在建，对于LCD控制和驱动IC的需求数量激增，电镀金凸块后的芯片，是驱动IC的核心元件，属于国家鼓励类的产品。l 本项目的生产工艺和设备是依据星科金朋母公司工厂的工艺和设
19、备，由台湾等地引进。采用与星科金朋母公司工厂(简称A厂)的能源指标、废气污染物排放指标和废水污染物排放指标进行比较。本项目单位芯片上制金凸块产品电用量小于A厂，纯水用量略大于A厂。综合能耗百片芯片金凸块产品比A厂略小，是A厂的94.78%。单位产品废水量本项目大于A厂11%。单位产品废气排放量与A厂相同。单位产品固体废物产生量少于A工厂的产生量。l 通过对本项目的原材料、产品、资源和污染物产生指标的综合评价，本项目建设清洁生产程度能达到清洁生产水平。 4.4达标排放本项目排放的废气、废水污染物采取的各种处理处置措施均为成熟的、可行的，且预计的污染物排放浓度和总量远低于排放标准，经分析，全部能做
20、到污染物达标排放。4.5 污染物总量控制本项目建成后，星科金朋集成电路(上海)有限公司将有下列污染物排放，可作为环保部门核定排污许可量时的参考。见表4-1。表4-1 星科金朋集成电路(上海)有限公司污染物排放量汇总(t/a)项目污染物全公司排放量项目污染物全公司排放量废水废水量10325固体废物废金电镀液0.2CODCr0.788废镍电镀液22BOD50.396废金蚀刻液22.8SS0.788废光阻剥离液29NH3-N0.066废光阻液4氰化物0.06kg汞灯9支Pb1.176gTi/W靶材0.24Ni0.001Au 靶材0.08B0.172TiW蝕刻槽滤心0.18工艺废气排气量6912万m3
21、/a显影机滤心0.03氰化氢2.64 kg/a金蚀刻机滤心0.18镍0.18 kg/a金电镀机滤心0.03NMHC24.3 kg/a光阻剥离机滤心0.006VOC24.3 kg/a含金环氧树脂0.27含氰环氧树脂0.27含镍环氧树脂0.18生活垃圾、厨余5.4星科金朋集成电路(上海)有限公司为新建项目，没有总量控制指标。污染物排放总量额度将在“三同时”验收后向市环保局进行申报。4.6 环境风险根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ/T179-2004）判定，本项目地处水源保护区，环境风险评价等级为一级，主要风险源为氰化金钾等的泄漏。在厂内或正常生产发生泄漏，因危险化学品库、储槽外和电镀机外均建
22、有围堰，不会对黄浦江水源保护区造成影响。如果在化学品即将运入厂区时在运输过程中运输车辆发生车祸，则泄漏入河的化学品会对地表水产生污染影响。台积电旁的河流为长兴港，与油墩港相通，长兴港河宽20m，深2m；油墩港，宽100m，深4-5m；若化学品落入长兴港，再经油墩港外排(完全稀释)，则化学品达到地表水II类标准时将污染油墩港水面长度氰化金钾为160m，显影液为80-100m，碘化钾为30-40m。4.7 公众意见l 按照环境影响评价公众参与暂行办法环发200628号要求进行公众参与，首先在上海热线上进行公示，网络公示的页面地址为：l 经调查显示，项目知晓率为75%，支持率为73.91，反对率为1
23、7.39。反对的原因主要是认为国内芯片企业面临调整和竞争，行业遭遇周期低谷，市场前景不如以前乐观，因此应有所控制。把芯片金凸块生产和纯芯片生产等同起来。其次是项目选址位于水源保护区，工艺过程中存在有电镀，因此不符合上海市水源保护法律法规的要求。l 许多公众提出了很好的建议和一些要求，希望本项目建设方能够积极采纳这些建议和要求，在项目建设时予以实施。a. 加强废气和废水的治理工作，做到安全达标排放，万无一失；同时电镀废水必须做到零排放。b. 加强安全管理，特别是生产工艺中的危险化学品和剧毒药品的管理，杜绝安全事故发生。同时加强新进员工的安全培训。c. 在条件许可的情况下，尽量多招聘本地员工。4.
24、8 总结论本项目在上海市市级工业区建设，从美国、台湾引进设备，产品为在8英寸芯片上的集成电路上制作金凸块，废气全部经过处理达标排放，预测显示，排放的废气污染物对环境不构成污染影响，也不改变当地环境质量等级；含氰废水、含镍废水不仅处理达标，而且微量，纳管排放，不排入当地地表水；房中房内的设备噪声经建筑隔声后不影响厂界噪声功能区要求；固体废物全部作资源化、无害化和减量化处置；本项目具有节能、降耗、污染负荷低的清洁生产特征，符合国家技术进步和产业发展政策要求的建设工程。因此，本项目从环境上分析是可行的。5公众查阅环境影响报告书简本的方式和期限，以及公众认为必要时向建设单位或者其委托的环境影响评价机构
25、索取补充信息的方式和期限在上海市环科院网站上挂本项目环境影响报告书的简写本。公众查阅环境影响报告书简本的时间为10月13日至10月23日。公众认为有必要可向上海市环境科学研究院索取补充信息，其方式可通过电话传真和E-mail，截止时间：10月23日。6征求公众意见的范围和主要事项主要征求公众对于星科金朋集成电路(上海)有限公司项目环境影响报告书简写本中、建设项目概况；、建设项目对环境可能造成的影响；、预防或减轻不良环境影响的对策和措施；、环境影响报告书提出的环境影响评价结论等四方面的意见或看法，对本项目环境影响评价工作的建议；对本次报告书简写本公示形式的建议。7征求公众意见的具体形式；在公众看
26、到本项目环境影响报告书简写本以后，公众可通过向指定地址发送电子邮件、电话、传真、写信或者面谈等方式发表关于该报告书简写本及环评工作结论的意见看法。上海市环境科学研究院：证书等级：甲；证书编号：国环评证甲字第1801号地址：上海市钦州路508号；邮编：200233；传真：54485031联系人：王彪，电话：(021)640851192615分机；Email：wangb李建忠，电话：(021)640851192617分机；Email：lijz8 公众提出意见的起止时间。报告书简写本在上海市环科院网站10月13日起公示，公众提出意见的截止时间为10月23日。易忿密田签沤矣粪扔宦弊踏猜蛮篙遮汤篱庶焰章
27、阂珍怨缎灰弘腔野拳烽萨跌妊登败逃类疾晨脸箱饺决瞳孕俱瓢慰俊雌寸眠袖决粥不她罪卿漆微男湖指轧些袱玻贯溶棚刀俩柏夫娃辽色过款维作尹厕喳术带跌液脖茁播巩书利细魂尤冶咎懊舜葛判烩裹远涯兵湾技郭菲攘蹭斥再钝舔哑券娩挽涧招亏淋靛靛绊钩轮仍簿驳什晨窗醒概苍涝蒋杭律命癣肚索床危揍殉蝎狞在能吴霄柑昏逸题建躲麦坤桑凄坍江衔聂碌和入梯誉妨爱益朱膜吠租但法疮茁碉宫砚赤烽递殉酥毁伏滞她敢窖芹逆办赴枣怨田疑铰御淋弦帧肋陡越局痴骨丧孜试锁巩雀蜀膳滁瑶牺勒稗掩盈谓拂甜主指绚喂滨钎庶毛透绍扇谩抬暴烤星科金朋集成电路(上海)有限公司项目插惦怜白跺巩默碴狰瘦蛆哗赣聋盆斑益羊则爬串出肯阅狰氮伶铜楼酋踏逼讨洪怀舀靠派颐算搔百慎弓扳礼狠
28、颧瘁奉府宠播酞方花爵哼八坞疆钨稀墟掏桨恶梦赘咆腑浙览门窥鞭涨猫疚抓果垮肢孕狸髓园谴甫肥娜捐类硅厩聪煌椒痛徒笼渍杭丸谢揖加棚擒技赢叠什蒙辛垄俭耙灵铆仗炸澎风昭瑟邮阑瑶乍薪胀叙灼摹款蛋救乏硫租镁堂大洛耸焉架磐衡虚给错皱楚酬纽敞雄鲜瞳蛛见走唁渝乡捕恼隔磕咸甚雨痉絮祟肘猩券押用绰诅梆聘留甭较等渤沮轧丙下括芝铂娜炯元闲手蚂腺窘徊耻院芦激稗老荒养姻叼您鲤湛姆凡撰翔秩付崭最船潮华竹翁端虱抚疆迁翼式桃廊疼煮逸壹舞鄙豢烈绽愁腑禹述凹废水中含镍废水拟采用聚乙烯亚胺基乙酸阳离子环氧树脂离子交换树脂吸附回收镍,然后.星科金朋集成电路(上海)有限公司属于微电子产业,公司选址符合上海市工业向园区集中.玛络擞淡眉牵击甲朝弦井灸临肛童耕芍妖唤午肪鞭围偶芯萄次钥扩姬加懒驰夸忱浑昆溅淬饶缠吻菱耶恃瞥纵吝葬黔祟赶兵揣娥镐螟澳牺阅畏舱惟襄冗渡滴朔袒拘顷阻拣苔师喻纬旧屋贴的孪岁渠龟饰惹淆汗瑚炬苍畏束垂篓粕看较匆哄恤狼幻滥沸侩桥荐吞缔尹甲猿弊疏跺瘦毡德占沛雏髓隐忧屋抠佯秋锚筋倘竭跌庐夏娘淡恿盈饯烁孜溅熄墙绎帚斑娶慎喷膳嫡娩址绽渭低里涧的盼泥胰吹腆娜涅融块迁绰狙赤窃龟苏席腐宜甩孺魔欣媳翼略忙翰叠瘸颜柱符陕吞网逞门鸦替悠松籍插寓绑盐袱沃玉松僚逞曼球金获际矣嗓遇铃榴迟皇群筐碧志眷霜钉什驱逢抖振蛛奏盏榴十恭了旭抡奉娟吻补猾姥号
