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1、 工序能力及工序能力指数的计算,1.基本要点2.工序能力的定量表征,1.基本要点,(1)只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可靠性水平高的产品。(2)工序能力指数是一种表示工艺水平高低的方便方法，其实质作用是反映工艺成品率的高低。(3)“6设计”是在工序能力指数分析基础上对生产工艺水平的新要求，其实质作用也是反映工艺成品率的高低。,1.基本要点,预备知识关于测试数据的“分布”,关于正态分布,工序能力及工序能力指数的计算,1.基本要点2.工序能力的定量表征,2.工序能力的定量表征,(1)工序能力(2)潜在工序能力指数：Cp(3)实际工序能力指数：Cpk(4)单侧规范值情况的工序能力指数CPL
2、和CPU(5)Cp和Cpk的常规计算方法,2.工序能力的定量表征,(1)工序能力 通常工艺参数服从正态分布 N(,2)正态分布标准偏差的大小反映了参数的分散程度。绝大部分数值集中在3范围内，其比例为99.73%,2.工序能力的定量表征,(1)工序能力 通常工艺参数服从正态分布 N(,2)正态分布标准偏差的大小反映了参数的分散程度。绝大部分数值集中在3范围内，其比例为99.73%通常将6称为工序能力。6范围越小，表示该工序加工的工艺参数越集中，则生产出成品率高、可靠性好的产品的能力越强，即固有能力越强。,2.工序能力的定量表征,(2)潜在工序能力指数CP 为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求
3、的程 度，工业生产中广泛采用下式定义的工序能力指数：CP=(TU-TL)/6=T/6 通过积分可得工艺成品率为：可得工序能力指数与成品率之间的关系：规范范围 CP 工艺成品率 不合格品率 3 1 99.73%2700PPM 6 2 99.9999998%0.002PPM 结论：工序能力指数越高，成品率也越高。,2.工序能力的定量表征,(3)实际工序能力指数：CPK,2.工序能力的定量表征,(3)实际工序能力指数：CPK 在元器件生产中，采用闭环工艺控制的情况并不多，大多为“间接”工艺控制，很难使两者重合。例如，IC中的扩散工艺，并不能在扩散过程中随时监测方块电阻Rs的变化情况，因此不能做到在R
4、s达到规范中心值时结束扩散。实际上都是先做试片，根据试片测试结果调整工艺条件。实践表明,对于这种“间接”控制的工艺，工艺参数分 布中心值与规范 中心值偏移的程度一般为1.5。,实际工艺能力指数CPK计算公式：,偏离为1.5情况下Cpk与Cp的关系：若工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移的程度为1.5，即：（-(TU+TL)/2）=1.5，由上式可得：Cpk=Cp-0.5 即工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移为1.5的情况下，Cpk要比Cp小0.5。如果Cp2，Cpk只有1.5。因此，有时将Cp称为潜在工序能力指数，将Cpk称为实际工序能力指数，简称为工序能力指数。,2.工序能力的定量表征,(4)单侧规范值情况的工序能力指数CPL和CPU：如果要求参数大于某一下限值TL，无上限要求，工序能力指数应按下式计算：CPL(TL)/3 若TL，则取CPL为零，说明该工序完全没有工序能力。如果参数规范只规定了上限值TU，无下限要求，则工序能力指数应按下式计算：CPU(TU)/3 若TU，则取CPU为零，说明该工序完全没有工序能力。,2.工序能力的定量表征,(5)Cp和Cpk的常规计算方法 计算Cp和Cpk的关键是计算母体正态分布的均值和标准偏差。常规计算方法为：通常用下述计算方法计算得S，作为母体分布标准偏差的近似值。,2.工序能力的定量表征,(5)Cp和Cpk的常规计算方法,
