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1、,微波等离子体技术-学习汇报,背景介绍,01,02,03,Contents,理论基础,应用现状,微波等离子体技术,01,02,03,背景介绍,1 背景介绍,微波等离子体特点：电子温度高 5eV15eV产生气体范围宽大气压强 10-6Torr,1 背景介绍,现有放电技术,微波等离子体技术,01,02,03,理论基础,2 理论基础,气体的微波击穿,1,2,3,4,微波传输系统中传输功率与模式场的关系,微波激励气体放电的电子速度分布函数,微波电子回旋激励系统中气体放电的击穿条件,微波电子回旋激励系统中的放电击穿功率,5,微波放电的击穿电场,6,微波放电能量馈入结构的要求,2 理论基础,微波等离子体的
2、反应器结构,波导耦合型,圆柱谐振腔型,ECR(电子回旋谐振)型,2 理论基础,微波等离子体的反应器结构,波导耦合型,微波等离子体技术,01,02,03,应用现状,微波等离子灯,光通量 光强 亮度 照度 光效 色温 相关色温 显色指数,利用频率为2459MHz电磁能量来激励硫粉等发光物质，使其在石英泡壳中形成等离子体并发光的无极放电灯。,微波等离子灯,改变附加填充物对某一性能的改变（激励硫粉发光）（1）氪85 提高灯泡的启动性能（2）NaI等物质 改变硫灯相关色温（3）低电离势物质 提高光色的空间均匀性，熄灭特性，起 辉可靠性等（4）氙气 提高光效（同时加少量氩气，提高启动性能）（5）氖气，少量
3、氩气 降低放电电压，缩短启动时间改变主要发光物质（1）InBr(溴化铟)更接近太阳光谱，显色指数95，光效高于100lm/W（2）SnBr2(二溴化锡)，汞为辅助填充物，缓冲气体氩气配套光具 反光罩与导光管,微波等离子灯,理论基础（1）发光原理硫在高温下主要以S2分子存在。在高气压1MPa和高温640摄氏度下，分子能级的激发引起紫外线辐射强烈的自吸收，使得可见光大大加强。（2）等离子体灯发光系统的光谱自吸收理论（3）等离子体发光系统扩散控制的击穿机理（4）微波等离子灯热状况理论分析微波输入功率越大，能量传递过程更加充分，等离子体温度上升，使趋肤效应的屏蔽作用更加明显,微波等离子灯,国内研究现状：微波等离子体灯并没有真正推广原因（1）没有真正的自主知识产权（2）稳定性差、光色偏绿、寿命短等缺点没有攻克,谢谢！,
