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1、半导体硅片事业部,1、简介2、主要产品3、精英团队4、质量认证5、环境控制6、品质监测7、主要测量设备概览8、产品控制ERP系统9、硅片产品处理流程10、联系我们,硅材料事业部简介,FTS半导体硅片事业部由东芝陶瓷株式会社（现更名为Covalent）、三井物产有限公司，Ferrotec集团共同出资组建。在2002年引进日本东芝陶瓷生产线和技术，并推出了4至6英寸硅片的生产。这是第一家外商独资企业在中国大陆最大的晶圆制造工厂。2002年开始硅片项目。2004年完成第一期投资，每月产能300000pcs抛光片。2006年完成第二期投资，每月产能400000pcs抛光片。2010年从Covalent
2、（原东芝陶瓷株式会社）引进多晶体技术，开始自己的晶棒拉制业务。Ferrotec Semiconductor Wafer Department is invested by Toshiba Ceramics(renamed asCovalent),Mitsui&Co.,Ltd.and Ferrotec Group.It introduced 4 to 6 inches silicon waferproduction line and technology from Toshiba Ceramics of Japan in 2002.It is the firstwholly foreign-ow
3、ned and biggest wafer manufacture company in China Mainland.2002 Silicon wafer project press conference and begin2004 First part completed,Polished wafer 300,000pcs/month2006 Final completed,Polished wafer 400,000 pcs/month2010 Introduction of crystal technology from Covalent,start own brand busines
4、s.,主要产品,4英寸、5英寸、6英寸硅片100mm、125mm、150mm Silicon Wafer搀杂剂：硼/磷，砷，锑等等。Dopant：Boron/P-,P+,P+;As,Sb/N+,N+,精英团队,Ferrotec硅材料事业部是由一个有丰富晶圆制造经验、技术力量强大的团队组成。超过30的工程师、技师和质量检查人员在日本接受过至少三个月的专业培训。Ferrotec Silicon Wafer Manufacture Department has a strong team with longwafer manufacturing experience.Over 30%engineer
5、s,operators and inspector had a long time training in Japan.,质量认证,质量是我们的生存的关键质量是我们的成长的根本 质量的理念首先是在生产的每一个过程。ferrotec是致力于不断提高产品质量，以满足客户的需求，超越客户的期望。,ISO9001：2008,ISO14001：2004,ISO9001：2008,ISO/TS16949：2002,环境控制,由东芝空调，中国电子工程设计院提供环境控制。净空房的面积：1000级净空房有650平方米（退火，CVD，包装）100级的净空房490平方米（最终洗净和最终检查）纯水：Kurita的水，
6、工艺气体：液态空气支持系统24小时监控，净空房颗粒计数器实时监控空气分析，ICS-1000（NOx/SOx/NH3），生产现场有温度，湿度监视器By Toshiba air conditioner、ChinaElectronics Engineering Design InstituteClean room size：Class-1000 650m2(Anneal,CVD,Packing)Class-100 490m2(final clean,inspection)DI water：Kurita water，Process Gas：Air LiquidSupport system monito
7、r，Clean room particle counterAir analyst ICS-1000（NOx/SOx/NH3），Temperature、moisture monitor,品质监测,ferrotec配备全套先进的测量和检测设备，生产装置系统在制造过程中追求最高质量标准，以达到同行业中不可替代的竞争优势。,主要的测量设备,产品控制ERP系统,硅片产品处理流程,多晶硅,拉晶,滚磨,截断,切片,研磨,腐蚀,热处理,背面处理,倒角,抛光,洗净,检查,包装,出荷,联系我们,上海申和热磁电子有限公司半导体硅片事业部Shanghai Shenhe Thermo-magnetics Co.,Ltd Semiconductor Wafer Dept.Add：中国上海宝山城市工业区山连路181号200444No.181 Shanlian Rd,Baoshan Industury Garden,Shanghai,China.200444Telephone：+86-21-3616 0798Fax No.：+86-21-3616 0797E-Mail：Web:http:/http:/,
