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9、第4章 化学气相沉积,4.1 化学气相沉积合成方法发展,化学气相沉积乃是通过化学反应的方式，利用加热等离子激励或光辐射等各种能源，在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。化学气相沉积的英文词原意。
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11、薄膜淀积与外延技术,超薄膜: 10nm薄膜: 50nm10mm典型薄膜: 50nm 1mm厚膜: 10mm 100mm,单晶薄膜多晶薄膜无序薄膜,5.1 概述,采用一定方法，使处于某种状态的一种或几种物质原材料的基团以物理或化学方式附着于衬。
12、第六讲薄膜工艺之化学气相淀积,主讲人,李方强,化学气相沉积合成方法发展,化学气相沉积乃是通过化学反应的方式,利用加热,等离子激励或光辐射等各种能源,在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术,化学气。
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14、2 薄膜沉积的化学方法,概 念：薄膜制备过程中，凡是需要在一定化学反应发生的前提下完成薄膜制备的 技术方法，统称为薄膜沉积的化学方法。条 件：化学反应需要能量输入和诱发优缺点：设备简单成本较低甚至无需真空环境即可进行； 化学制备工艺控制复杂。
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