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1、ESD靜電防護措施作業辦法Approved byChecked byDepartmentPrepared by劉曜達林俊良製造工程部陳褔成 Revision HistoryDateRev.DescriptionEditor2003/08/16A首次發行陳褔成1.0 目的為防止靜電現象，造成零件遭受破壞，致使生產成本增加，故訂定此作業辦法，讓人員、零件及工作場所能與導電性線路相連接，而維持在相同的電位，避免靜電的產生，或提供適當的方式讓可能發生的靜電，快速的消失。2.0 範圍由零件接收入庫起，到成品包裝出貨過程中，所有的使用單位，皆納入管理辦法。3.0 權責單位 3.1生產處負責以下項目之建置及
2、監測。3.1.1 靜電手環：作業員凡有接觸電子零件與PCBA者，每日上班時即需戴靜電手環，至靜電手環測試器量測，並記錄於表格中(表格由各組長或助理更換與存檔)。靜電手環新品與不良品向各組長申請或更換。3.1.2 防靜電鞋：規定生產員工每日上班進入廠區前即穿靜電鞋，至二，三，四樓(西側門口)生產處主要入口處旁靜電鞋測試器量測，並記錄於表格中(表格由各組長或助理更換與存檔)。靜電鞋新品與不良品向各組長申請或更換。3.1.3 手套： 廠內目前使用手套種類及時機如下: 3.2 製造工程部負責以下項目之建置及監測3.2.1 防靜電桌墊：每季(3.6.9.12月份)檢測一次，由製造工程部負責量測與記錄存檔
3、。3.2.2人體接地線：每月檢測一次，由製造工程部負責量測與記錄存檔。3.2.3 導靜電地板：每年檢測一次，由製造工程部負責量測事宜與記錄存檔。 3.3 品質保證處負責各項防靜電措施之稽核，每月至少執行一次。4.0 作業內容4.1 目前工廠人體靜電防護措施:為防止靜電敏感之零件，周圍有任何靜電存在，目前工廠人體靜電防護措施的工作場所，其工作桌面舖設靜電桌墊，同時接上接地線，引入大地，工作人員則須配戴靜電手環/靜電手套與穿靜電鞋。(如下圖示)靜電桌墊導靜電地板靜電手環靜電手套接地線靜電鞋(人員防靜電措施示意圖)4.2各種IC的耐靜電壓值參考表 (QE/陳淑華 提供)各類材料對靜電的敏感度及等級分
4、類:項次型號對靜電敏感的範圍(V)備註1VMOS3018002MOSFET1002003GAASFET1003004EPROM100？5SAW*150- 5006JFET14070007OP-AMP19025008CMOS25030009SCHOTTKY diodes300250010Film resistors300300011Bipolar transistors380700012ECL500-150013SCR680-100014SCHOTTKY TTL100025004.3 各項防護措施介紹:4.3.1 靜電手環: (規格:手環阻抗值為103105/接地線為106) 靜電手環的作用在於
5、工作時，兩種物質磨擦及空氣中移動所產生的靜電荷經由靜電手環導入地端，而不直接傷害到人體及產品，所以靜電手環一端必須與人體接地線緊接，而另一端，必須與手環上之皮膚接觸(不可寬鬆)。4.3.2 防靜電鞋: (規格:阻抗值為106108)靜電鞋的作用在於工作時，因人體移動磨擦與本身均帶有靜電，為防護產品遭受人體靜電破壞，故要穿靜電鞋將靜電導入地面。 4.3.3 防靜電桌墊: (規格:阻抗值為上層106109/下層103105)靜電桌墊的作用在於工作時，產品置放於桌面上時，空氣中移動產生的靜電荷經由靜電桌墊，其上層為防靜電，能把靜電吸收擴散到底層為導電層，再借由接地線把靜電導出。 4.3.4 人體接地
6、線: (規格:阻抗值為103以下)與靜電手環/靜電桌墊配合使用，目地在疏導靜電的排除。 4.3.5 導靜電地板: (規格:阻抗值為104106)與靜電鞋配合使用，目地在疏導靜電的排除。4.3.6 手套: (規格: 防靜電防滑手套阻抗值為106109/，導靜電手套103105，白色超細白棉手套、白手套、粗手套其阻抗值為1013)4.3.6.1生產線作業人員只要有直接接觸到IC及PCBA者會因人體所帶之靜電所影響(如SMT、DIP、F1、組裝線有接觸PCBA者、包裝線有接觸PCBA者)皆需戴導靜電(或防靜電)工作手套及配合戴靜電手環、穿防靜電鞋、接人體接地線。4.3.6.2生產線作業人員沒有直接接
7、觸到PCBA者皆只要戴白色超細棉手套、穿防靜電鞋即可。4.3.6.3工程師、非生產線作業員、參觀人員等，有接觸到產品者皆需戴防靜電手套。防靜電手套的作用在於工作時，避免因手拿物品產生靜電而傷害產品及避免手汗之污染。4.4 其他防護措施介紹:4.4.1 工作檯之防靜電措施工作檯表面鋪上防靜電桌墊並確實接地。作業人員統一配戴靜電手環、確實接地及穿著防靜電鞋、並與導靜電地板配合，此乃最基本靜電防護。4.4.2工作流程之防護措施4.4.2.1輸送帶方式作業時，輸送帶及其他各裝置須確實設備接地。4.4.2.2烙鐵插頭須接地，使用自動烙鐵裝置時，則整部機器須設備接地。 4.4.2.3 PC板、IC類、零件
8、盒，必須放置於已接地之防靜電桌墊，並注意不要與易帶電之塑膠零件放在一起。半成品務必以導電泡棉隔離排放或存放於蜂巢式導電箱中再實施搬運，切勿疊板。4.4.3成型/檢驗元件成型或檢驗完畢之元件，裝回進貨所用之防靜電包裝或防靜電盒(袋)。4.5運送流通過程從IC入庫開始，在流通過程中，各種IC的運輸、生產、庫存，充分的靜電防止與保護是絕對必要的。IC必須以防靜電之塑膠套管包裝存放，當拿出於線上作業時，務必以防靜電盒(盤)放置。4.6管理規定 4.6.1確認作業人員的靜電手環，及人體接地線的狀態檢查，不能有斷線。4.6.2確認靜電桌墊的接地(生產線負責)及各種生產設備及輸送帶機之接地(MED負責)，是
9、否良好。4.6.3凡直接碰觸產品或半成品之作業人員均需配戴靜電手環或導(防)靜電手套。4.6.4若有直接碰觸IC之人員，則必須配戴靜電手環。4.7測試儀器測試步驟與規格4.7.1 靜電手環測試器測試步驟與規格手部配載靜電手環，將手環接地線連接測試器測試孔，再用手按著墊板，如果接地系統良好各種生產設備及輸送帶機之接地是否良好，綠色”GOOD”燈會點亮，並發出聲響。（若不正常則High 或Low 的燈會亮起）測試孔墊板指示阻抗值(美規)低良好高800K800 K-9M9M4.7.2 靜電桌墊測試器測試步驟與規格將靜電桌墊測試器背面四個接觸點直接放置於防靜電桌墊上量測，由上面顯示窗看其紅色值落於何刻
10、度。防靜電桌墊上層規格106-109 ，下層規格103-105 。顯視窗刻度101-105 為導電性防靜電範圍106-109 為擴散性109-1012為抗靜電性1012 為絕緣性4.7.3 人體接地線量測器測試步驟與規格4.7.3.1 測試步驟a. 插上電源插頭(電源系統需有接地)。b. 選擇電源的極性:極性顯示燈一定要亮，如不亮則需反切極性選擇開關。c. 打開電源開關，此時FAIL紅燈會亮且應有警報聲響起(聲音可隨意調整)。接地線測試器d. 請將測試線末端鱷魚夾夾在您欲測試的接地系統地線上，此時警報聲應停止，顯示接地狀況OK的綠燈也會亮起，如警報聲不停，即表示接地系統有問題。4.7.3.2接
11、地線規格摘要l 尺寸:6.5*16*20l 重量:1.14公斤l 電源:115V/230Vl 警告聲喇叭音量:78Db-88Dbl 警告聲參考阻抗:1K歐姆 (日本規格)l 極性選擇開關4.7.4 靜電鞋測試器測試步驟與規格腳穿上防靜電鞋後單腳踩在測試板上，然後用手指去按下測試點，若PASS的燈亮代表測試OK，其測試值在標準範圍內， FAIL HI或FAIL LO的燈亮表示不通過測試，測試完後再測試另外一支腳是否OK。指示阻抗值(美規)低 (FAIL LO)良好 (PASS)高 (FAIL HI)800K800 K-9M9MFAIL LO PASS FAIL HI 測試點 測試板4.8 注意事項:4.8.1若有防靜電措施不良即馬上更換或設備損壞請工程師處理。4.8.2測試儀器校驗日期請生產處依照儀校室規定日期送校驗。4.8.3請生產處員工確實依照防靜電標準規定實施。5.0 相關程序5.1靜電手環(靜電鞋)量測記錄表 ( F1343 )。5.2靜電桌墊量測記錄表 ( F1344)。5.3導靜電線量測記錄表 ( F1345 )。5.4導靜電地板量測記錄表 ( F1346 )。 6.0 附件ESD靜電防護措施作業辦法英文版
