基于DSP湿度传感器测试系统(毕业论文).doc

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1、 本科毕业论文（设计）题目基于DSP技术的湿度传感器测试系统的设计及固件开发学生姓名 杨 荣 辉专业名称 电气工程及其自动化 指导教师 2009 年05月09日基于DSP湿度传感器测试系统硬件设计及固件开发 电气工程及其自动化05级电器一班 杨荣辉 20058601026摘要 湿度是我们日常生活中经常接触的物理量，湿度的检测需要采用湿度传感器来进行。在我国，各行各业对湿度传感器的需求量很大，但是测试的低效率限制了产量的进一步提高。因此如何解决传感器的自动批量测试问题成为制约生产效率提高的主要因素。 本文介绍了电容式湿度传感器复数电压法测量原理，建立了基于D S P 技术的湿度传感器复数电压法测

2、量模型，并将此模型应用于电路设计，简化了电路，减少了误差环节，为实现高精度快速测量提供了理论依据。 本文设计了湿度传感器的测试系统，使用T MS320LF2407A作为主器件对硬件电路设计;利用高速SPI 接口的D/ A芯片MAX5722产生正弦波:利用US B接口芯片PDI USBDI2 进行高速U S B总线传输;利用数字电子开关CD4051 进行多路通道选择设计，增强了系统的灵活性、适应性与扩展性。 本系统实现了3 2 路电容式湿度传感器的性能参数电容值( 0和品质因数值( Q ) 的高精度、高速测量，在对30-100pF 的电容性元件进行测量时，其用误差为0 . 2 %。该系统的实现解

3、决了湿度传感器生产过程中检测误差大和速度慢的问题，也为组建其它类似的检测系统提供了可以借鉴的方法和系统构架 。关键词 :DS P ; US B总线; 湿度传感器; 复数电压DSP-based humidity sensor technology, test system Hardware design and firmware developmentAbstractHumidity is often in our everyday life of the physical contact, moisture and humidity detection require the use of m

4、ass Sensilla to. In our country, all walks of life to the humidity sensor in great demand, but the testing of low Limits the production efficiency further improved. So how to solve the sensor problem as automatic volume testConstraints to enhance production efficiency as the main factor.In this pape

5、r, capacitive humidity sensor plural voltage measurement principle, based on DSP technology Plural operation voltage of the humidity sensor measurement model, and this model is applied to circuit design, simplifying the Circuit to reduce the error link in order to achieve rapid high-precision measur

6、ement provides a theoretical basis.In this paper, the design of the humidity sensor test system, the use of T MS320LF2407A as the master device on the hardware circuit design; the use of high-speed SPI interface of the D /A chip MAX5722 have a sine wave: the use of US B interface chip PDIUSB DI 2 hi

7、gh-speed USB bus transmission; the use of digital electronic switching CD 4051 for the design of multi-channel selection to enhance the systems flexibility, adaptability and scalability.The system achieved a 3 2 Road, capacitive humidity sensor capacitance value of the performance parameters (0 and

8、quality factor Value (Q) high-precision, high-speed measurement, in the 30 - 100 p F of the capacitive components measured, the quoted error of 0.2 percent. Of the system to solve the humidity sensor to achieve the production process and the error detection The problem of slow, but also the formatio

9、n of other similar detection systems can learn from the methods and systems Framework. Key words: DSP; USB-bus; humidity sensor; plural voltage目 录一 绪论61.1课题背景61.2湿度测量在生产生活中的应用及意义61.3课题相关领域发展现状71.3.1 湿度传感器及敏感元件发展现状71.3.2数据采集及传感器测试技术现状81.3.3 DS P技术的应用状况91.3.4 通讯技术方式9二 湿度传感器102.1 伸缩式湿度传感器102.2 蒸发式湿度传感器

10、112.3 露点传感器112.4电子式湿度传感器122.4.1电阻式湿度传感器132.4.2电容式湿度传感器132.4.3热敏电阻式绝对湿度传感器172.5其它类湿度传感器172.5.1电磁波湿度传感器182.5.2吸收式湿度传感器182.6小结18三方案设计及测量原理183.1引言183.2 湿度传感器测量原理193.2.1 电容式湿度传感器的等效形式及单元测量电路193.2.2电容式湿度传感器复数电压法测量电路203.2.3复数电压法电容式湿度传感器性能测试数学模型的建立203.2.4 基于DS P技术的复数电压法测试数学模型的应用243.3 硬件模块的实现方案253.4 通讯方式方案选择

11、263.5 总体方案设计27四 湿度源设计284.1湿度的产生284.2湿度标准294.3湿度源设计314.4 保证湿度源精度的必要措施33五 硬件电路设计及编程345.1 硬件电路设计345.1.1 TMS320LF2407A主板设计355.1.2 正弦波产生电路的设计385.1.3串行通讯口设计325.1.4电子开关设计425.2固件编程43六 误差分析及结果486.1 硬件电路误差分析486.2 结果及分析50七 后言51参考文献52致谢53一 绪论1.1 课题背景现代信息技术的三大支柱是传感器技术、通讯技术、计算机技术，它们分别构成了信息技术系统的“ 感官” 、“ 神经”和“ 大脑”。

12、传感器技术是信息社会的重要技术基础，传感器的数量、质量直接决定了信息技术系统的功能和质量。传感器作为捕捉信息的器件，在高度信息化社会的科学技术发展中占有重要的地位。 传感器发展的总趋势是集成化、多功能化、智能化和系统化。传感器领域的主要技术正在现有基础上延伸和提高，加速新一代传感器的开发和产业化。微电子技术，大规模集成电路技术、计算机技术，光电子技术，超导电子等新技术的发展，均为加速研制新一代传感器提供了发展的条件。 当今世纪是人类全面进入信息电子化的时代，随着人类探知领域和空间的拓展，使得人们需要获得的电子信息种类日益增加，需要信息传递的速度加快，信息处理能力增强，因此要求与此相对应的信息采

13、集技术一传感技术必须跟上信息化发展的需要。它是人类探知自然界信息的触觉，为人们认识和控制相应的对象提供条件和依据。作为现代信息技术的三大核心技术之一的传感技术，将是当今世界各国在高新技术发展方面争夺的一 个重要领域。 传感器是流程自动控制系统和信息系统的关键基础之器件，其技术水平直接影响到自动化系统和信息系统的水平，自 动化技术水平越高，对传感器技术依赖程度越大。在信息社会中，人们为了推动社会生产力的发展，需要用传感器来检测许多非电量信息，如力、压力、流量、速度、温度、湿度以及生物量等等。不难看出，传感器技术是涉及国民经济及国防科研各领域的重要技术。一些早己形成传感器产业的发达国家已经把传感器

14、技术作为重点技术加以发展。 湿敏传感器属于敏感类传感器，目前世界年产湿度传感器的数量是非常大的，我国的产量也是可观的，仅气象、环保、纺织、生化等行业需求量就很大，另外农业、食品、木材、煤炭等对湿度传感器的需求也在不断增加。1.2湿度测量在生产生活中的应用及意义 空气湿度与人类关系密切。人们的日常生活和生产活动以及动植物的生长和生存，都与周围环境的湿度息息相关，从日常生活、家电、交通、到医疗、气象、工农业都需要进行湿度测量。如:为防止库中的食品、武器弹药、金属材料等物品霉烂、生锈必须保证在干燥的环境中;而水果、种子、肉类等又需要保证在一定湿度的环境中，这些都须对湿度进行测量与控制。茶叶、烟草等加

15、工各类纺织企业更离不开对湿度的控制。在家电上湿度测量广泛应用于空调机、微波炉、摄像机等电器。在农业生产中也大有作为，果园、大棚蔬菜 蔬菜大棚的湿度需控制在7 0 % R H以止)等种植都需对湿度进行监控。 随着科学技术的发展，对湿度控制需求越加迫切，要求湿度传感器向微型化和集成化方向发展，同时要求传感器抗污染。对环境湿度的控制将直接影响产品质量和产品的成败问题。如纺织厂的棉纱质量与湿度有直接关系，湿度要进行控制。纺织工业加工原料主要是纤维材料，纤维材料具有吸湿的特性，吸湿量多少与环境空气的湿度有关。因此，随着工农业，国防、科技及整个国民经济的迅猛发展，对环境湿度的控制和检测越来越受到人们的重视

16、，市场也越来越大。1.3课题相关领域发展现状1.3.1湿度传感器及敏感元件发展现状 传感器属于多学科交叉、技术密集的高技术产品，其技术水平决定于科学研究的水平，而我国在传感器研究方面科研投资强度偏低，科研设备落后，加之我国存在科研和生产脱节的现象，所以影响了传感器科研成果的转化，造成了我国传感器产品综合实力较低，阻碍了传感器产业的发展。 高分子湿度传感器的研究始于1938年， 由美国的达姆( F.W. Dummore ) 在金属丝状电极的上面浸涂一层聚乙烯醇和氯化铿的混合感湿膜， 而研制出的浸式氯化铿湿度传感器。此后， 电解质、有机高分子、各种感湿材料组成的传感器相继出现。自从1978年芬兰V

17、aisla公司成功地研制了Humicap以来， 高分子湿度传感器优异性能在国际上获得了越来越多领域的承认， 特别是湿度量程宽、响应时间短、湿滞回差小、制作简单、成本低等优点， 成为其它湿度传感器激烈的竞争对手。在气象、纺织、集成电路生产、家用电器、食品加工及蔬菜保鲜等方面得到了广泛的应用。我国从 1980年开始研制高分子湿度传感器。随着应用的深入和扩大， 我国研制的高分子湿度传感器的某些性能已得到了很大的提高， 有的接近或赶上了国外有的厂家生产的湿度传感器。 敏感元件与传感器发展的总趋势是集成化、多功能化、智能化和系统化。传感器领域的主要技术正在现有基础上予以延伸和提高，加速新一代传感器的开发

18、和产业化 1 . 微机械加工技术 ( ME MT技术)将高速发展，成为新一代微传感器、微系统的核心技术，是 2 1世纪传感器技术领域中带有革命性变化的高新技术。它不仅可以制成简单的三维结构，而且可以做成三维运动结构与复杂的力平衡结构。采用 ME MT技术形成的微传感器和微系统，具有划时代微小体积、低成本、高可靠等独特的优点。 2 . 新型敏感材料将加速开发，微电子、光电子、生物化学、信息处理等各种学科，各种新技术的互相渗透和综合利用，可望研制出一批先进传感器。 3 ， 传感器应用领域得到新的拓展，二次传感器和传感器系统的比例大幅度增长，集成化、智能化传感器与变送器将会呈现畅销势头。1.3.2

19、数据采集及传感器测试技术现状 数据采集技术( Data Acquisition ) 是信息科学的一个重要分支， 它研究信息数据的采集、存贮、处理以及控制等作业。在智能仪器、信号处理以及工业自动控制等领域，都存在着数据的测量与控制问题。将外部世界存在的温度、压力、流量、位移以及角度等模拟量 ( Analog Signal )转换为数字信号，再收集到计算机并进一步予以显示、处理、传输与记录这一过程，即称为“ 数据采集”。相应的系统即为数据采集系统 数据采集系统的任务:采集传感器输出的模拟信号并转换成计算机能识别的数字信号，然后送入计算机，根据不同的需要由计算机进行相应的计算和处理，得出所需的数据。

20、与此同时，将计算得到的数据进行显示或打印，以便实现对某些物理量的监视，其中一部分数据还将被生产过程中的计算机控制系统用来控制某些物理量。 随着电子计算机的广泛应用，社会的数字化程度越来越高，数据采集也随之越来越重要。数据采集技术在许多场合，如航天、航空、通信、交通、邮电等都得到了大量的应用。传感器输入信号可以是模拟信号( 如温度、压力、电阻、电压、电流、应变等) ;也可以是数字信号( 如开关状态监测、事件捕获、测频计数等) ，测量结果经模块内部A / D转换后用R S - 4 8 5 通讯方式经屏蔽双绞线送至主计算机进行采集，用户可根据需要采用相应的软件对采集到的信号进行处理。1.3.3 DS

21、 P技术的应用状况 DSP的发展己有20年历史了,DSP芯片己达到相当高的水平， 每天都有新的DSP应用产品开发成功并走向市场，成为IT产业中最活跃的领域。今天绝大部分DSP的开发工具和DSP应用产品并不是DSP芯片厂自己创造和研究，DSP芯片制造商的主要注意力放在改进芯片设计、改革制造工艺，想法提高运算速度、增加功能、降低功耗、减小成本等方面，而不可能再花大力气去从事开发工具、应用软件和实际应用系统的研发。现在国际上己形成包括DS P芯片设计、制造，DSP开发工具研制生产，应用和咨询共同组成的产业链。全球有5万多客户选用T I 定制的软件开发环境，使他们能非常容易地将D S P综合到他们的系

22、统中去。今天大多数DS P应用产品都不是D S P芯片制造商事先设计好的，很多甚至是从未想到过的，都是数以千计的小公司在寻找各种各样的商机、开发新的软件和新的产品，为今天的人类提供琳琅满目的数字化产品. 当前DSP主要应用己经广泛十分广泛应用于:宽带Internet 、无线通信系统、数字消费电子和汽车电子等等。而且DSP的应用领域仍在不断地扩大，发展迅速异常。1.3.4 通讯技术方式 针对PC机而言，主要的通讯方式有3 种;RS -232串行总线，USE接口和并行接口，其中使用最常见，也是最方便的是前两者。 1 . RS -232串行通信总线 RS -232串行通信是由美国电气工业学会 ( E

23、 IA) 1969年推荐的，是目前常使用的串行通信总线接口，在异步串行通信中应用最广。标准串行接口的电气特性，有满足可靠传输时的最大通信速度和传输距离指标。这两个指标之间具有相关性，适当降低通信速度，可以提高通信距离，反之亦然。它标准的信号传输速率最高只能达到20 kb/s ，最大传输距离仅为15 米。 RS - 232 采用与一般微处理器、单片机不同的逻辑电平。它的逻辑0规定为+5-+15 V之间，逻辑1电平为-5 - 15 V之间。在实际应用中需要进行微处理器和RS - 232 间信号电平的转换。 2 .通用串行总线USB 当今的计算机外部设备都在追求高速度和高通用性，为了满足用户的需求，

24、日本 NEC 于 1994年 11月推出了 USB ( Universal Serial Bus )通用串行总线协议的第一个草案专用于低、中速的计算机。外设USB可把多达127个，外设同时连到用户的系统上，所有的外设通过协议来共享 US B的带宽其 12 Mbps的带宽，对于键盘、鼠标等低、中速外设是完全足够的。在2000年发布USB规范版本2.0中，已经将 USB支持的带宽提升到480 Mbps .USB允许外设在主机和其它外设工作时进行连接配置使用及移除，即所谓的即插即用Plug & Play ， 同时USB总线的应用可以清除PC上过多的v 0端口而以一个串行通道取代，使 PC与外设之间的

25、连接更容易。自从1996年2月USB规范版本1.0发布短短几年间USB不光成为了微机主板上的标准端口，而且还成为了所有微机外设包括键盘、鼠标、显示器、打印机数字相机、扫描仪和游戏柄等等与主机相连的标准协议之一，这种连接较以往普通并口parallel port和串口serial port的连接而言主要的优点是速度高功耗低支持即 插即用Plug & Play和使用维护方便。二 湿度传感器 最早的湿度测量主要利用毛发或纤维在不同湿度下其长度发生变化，随着社会需要向高精尖领域的发展，尽管这种湿度测量方法仍在使用，但己远远不能满足各种要求。当今已很成熟的湿度测量方法有:利用伸缩、利用水的蒸发、检测露点、

26、检测物质的电特性、利用电磁波和利用吸收式等特殊功能与应用领域的湿度测量传感器。 湿度测量中用到两个很重要的参数:绝对湿度和相对湿度，绝对湿度是指单位体积湿气中水蒸气的质量。相对湿度是指湿气中水蒸气的摩尔分数与相同温度和压力条件下饱和水蒸气的摩尔分数之百分比。 根据湿度测量原理的不同，将湿度传感器给与不同的分类。2.1 伸缩式湿度传感器 根据伸缩式湿度传感器测定的选材，可分为毛发性和尼龙丝型湿度传感器。毛发湿度传感器是利用脱脂毛发的线性尺寸随环境起的水汽含量而变的原理制成。尼龙丝湿度传感器是利用其线性尺寸的变化与气体中湿度之间的关系来确定气体的湿度。 伸缩式湿度传感器具有装置简单，使用方便等特点

27、。若将伸缩式湿度传感器与记录仪配套使用，则可以连续记录气体中的相对湿度。伸缩式湿度传感器在常温测量中具有使用价值。但这种湿度传感器的精度不高，误差范围大约为士s % 2 R H，响应速度低，在吸湿与脱湿过程中有迟滞现象。实验证明，湿度在9 0 以上时，毛发湿度计是不可靠的。湿度在 1 0 %以下时，其灵敏度也大大降低。2.2 蒸发式湿度传感器 蒸发式湿度传感器，一般称为干湿球湿度计，由两支完全相同的温度计组成， 一支称干球温度计， 温泡暴露在空 气中， 测量环境温度T，另一支温计用特殊纱棉包裹与水容器相连保持湿润，当湿球周围空气处于不饱和状态时，湿球纱棉上的水分就不断蒸发，由于水分蒸发需要吸收

28、热量，从而使湿球的温度下降为为干湿差，则湿球吸收的热量根据定压比热计算为 (2-1)式电 C ， 是以S 为质量单位的 定压比热，M。 是空气的 摩尔 质量， 若L9水的蒸发潜热，则水蒸发需要的潜热是: (2-2)根据能量守恒定律， 整理后可得: (2-3) ) （2-4）式中,成为干湿球系数。 干湿球测湿法原理简单，但其测量受到风速、温度计本身准确度、大气压力测量准确度等因素的影响，尤其是方程系数A值，取决于仪器结构、使用条件等多种因素的影响。因此对于干湿表的测量状况和湿度值计算方法必须十分注意。2.3 露点传感器 露点传感器是利用冷却方法使气体中的水汽达到饱和而结露，根据结露点的温度来测量

29、气体中的相对湿度。露点是流体的液相和气相平衡的温度点。在露点上，只存在饱和水蒸气的一个值。因此，只要知道压力，便可根据此温度确定绝对湿度。最常用的测量露点的方法是将欲测其温度的表面冷却，直到露珠 ( 或雾)初次冷凝其上为止，这是，立即读出表面温度。此时对于冷面上气体的湿度，冷面将对应于唯一的温度，准确地测量此时冷面的温度，即为该气体的露点温度测量露点的瞬时冷凝有光电法、电阻法和核子法等多种方法，其中光电法应用得最为普遍。光电法要求冷凝表面的抛光达到与镜面一样的反射度。光束射在镜上，一个或几个光传感器接收镜面反射的光，冷凝使反射到传感器的光量发生突变 ( 参见图2 - 1 ) 。电阻法的冷凝器是

30、在绝缘材料的表面上镶嵌金属电极，发生冷凝时，表面的电阻就发生变化。核子法冷凝器中，a或p粒子辐射源的位置与冷凝表面平齐。当辐射源上形成冷凝时，辐射检测器便测出粒子流中的水滴。 冷凝式光学露点仪的关键技术之一是镜面制冷。目 前采用的制冷方式主要是半导体制冷和液氮制冷两种。半导体制冷便于进行连续控制，可对冷凝结露的过程进行连续测量，达到动态平衡后确定露点。液氮制冷成本低，实现容易，测量周期短，当时存在的缺点是制冷过程不易做到连续，只能进行单次测量 。2.4电子式湿度传感器 电子式湿度传感器是利用一些物质的电特性与周围气体湿度之间具有一定关系来确定气体的湿度。可分为电阻、电容、电解式，电阻与电容组合

31、式，热敏电阻式湿度传感器等。电子传感器配测湿仪器近年来发展极为迅速，应用领域在逐步拓宽，如工业、农业、食品业、家庭生活、环境保护、医药卫生等领域;测量范围有粮食存储、食品加工与存储、金属表面、药品、加工与存储、工作间卫生间、房屋建筑、大气监测等湿度测定;便于远距离传感，特别适合于自 动控制系统中湿度的控制和监测。2.4.1电阻式湿度传感器 它是利用某些吸湿性能较好的物质吸附水汽后，其电阻率变化的原理来测定相对湿度，一般在中湿度 ( 4 0 %- 9 0 %R H)使用电阻型湿度传感器。电阻式湿度传感器根据所用的吸湿材料来分，有固体电解质湿度传感器、高分子有机物湿度传感器、半导体陶瓷湿度传感器等

32、。 固体电解质湿度传感器，它在无碱玻璃衬底上涂敷氯化铿电解质组成湿敏电阻。这类传感器必须经常清污，而且耐热性能差，响应速度慢，故应用较少。高分子有机物湿度传感器，它在氧化铝基片上印刷固化了一对梳齿状金电极，金电极表面涂敷了一层感湿膜组成的。虽然结构简单，但迟滞现象严重，故使用价值不大。半导体陶瓷湿度传感器，金属氧化物半导体陶瓷材料具有线性和热稳定性好，抗污染能力强，响应时间短，寿命长，适用范围宽等优点因而这类传感器发展很快、品种多，故特别适用于湿度的半自 动测量。半导体陶瓷湿度传感器有Mg Cr204- TiO : 型和ZnCr204 系列，国产MSc 一工 和MS c -I I型湿度传感器均

33、属Fe3O ; 半导体陶瓷型。2.4.2电容式湿度传感器 电容式湿度传感器利用某些物质吸附水汽后，其电介系数发生变化，从而引起电容量改变的原理工作。该元件的基本结构是在基片上镀上一层梳状金底部电极， 再涂上高分子感湿膜， 然后在膜上面镀上另一层透水性好的金膜作为部电极。有的湿度传感器再盖上一层多孔网罩以增加抗污染能力， 延长使用命。 早期感湿膜多采用醋酸纤维素及其衍生物。目前大多采用的是醋酸丁酸纤维素。电容型湿敏材料常见的还有聚苯乙烯、聚酞亚胺、酪酸醋酸纤维等感湿材料。这类湿度传感器近十年研究得比较活跃， 其主要优点是响应时间快， 滞后性小， 在低湿处的灵敏度也高， 稳定性好， 制作简单， 易

34、于实现小型化和集成化。主要缺点是抗高湿能力差， 长期稳定性有待进一步研究。 电容式湿度传感器用的电介质通常有两类;高分子有机介质和陶瓷。近年来，等离子体复合膜和玻璃陶瓷作为介质的电容式湿度传感器得到较快发展。在低湿度下 ( 3 0 %R H以下)适用电容型湿度传感器为宜。 电容式湿度传感器的感湿机理是基于电极间的高分子感湿材料吸附环境中的水分子时，其介电常数也随之变化，其电容量与环境中水蒸气相对压( 习P o )关系可由下式表示:式中：为真空介电常数：为相对湿度U%RH时高分子的介电常数；S为电容式传感器有效电容面积；D为高分子感湿膜厚。 其中 (2-6) （2-7） 式中: ， 为相对湿度0

35、 % R H时高分子的介电常数:a , b 为常数; 为相对湿度U %R H时，高分子中吸附水的介电常数。 高分子湿度传感器在结构上等同于一个变介电参数的平板电容器，当被测环境湿度变化时，感湿膜吸附水分子使电容器的介电参数增大。平板电容的数学表达式如下所示: （2-8） （2-9） 式中：-材料在不同相对湿度下的介电常数； -0%RH介电常数 K是常数 u是相对湿度 -是元件在不同相对湿度时的电容量 S下电极面积 d感湿膜厚度对于一个固定的元件， S,d均可视为常数，可以设： （2-10） 所以： （2-11） 由上式可以 看见，C ; 与U 呈线性关系， 从而由 元件电 容量的 大小，即可决

36、定环境中相对湿度的大小。 湿敏电容的主要优点是灵敏度高、产品互换性好、响应速度快、湿度的滞后量小。便于制造、容易实现小型化和集成化 ，其精度一般比湿敏电阻要低一 些。高分子电容型湿度传感器的典型产品有RSD - 2型，其响应即可测范围( 0 -99 % RH)都很好，但在高湿度情况下连续使用易于劣化。 高分子电容型湿度传感器属三层式结构，即上层为方块电极金属膜层，中间是聚酞亚胺膜，下层是叉指状电极金属膜层，采用半导体硅片作为衬底材料 l 61薄膜电容式湿度传感器结构如图 2-20薄膜电容式湿度传感器体积很小，高分子感湿膜很薄，并且将感湿电容制在基板上，基板起支撑感湿电容、增加机械强度的作用，可

37、防止感湿膜伸缩及变形而使电容值发生变化，要求基板的材质对水的反应是惰性的，可用玻璃等材料制作。在基板上，利用微电子技术手段中的蒸金、光刻、腐蚀等技术，制成一对下电极。 下面以聚酞亚胺膜作介质的高分子电容式湿度传感器为例介绍一下高分子电容式湿度传感器。利用了聚酞亚胺膜可逆的吸收和放出水分子使其介电常数随之变化的工作原理。元件采用聚酞亚胺( PI ) 为感湿材料，是将聚酞亚胺酸( P A ) 涂在基片上，经亚胺化后制成的。吸水后，其介电常数与环境的相对湿度具有线性关系。PI本身的介电常数很小，只有 2.93 ，而水的介电常数在室温时为8 0 。已有很多理论和经验公式来描述 P I和水复合物的介电性

38、，并与试验结果作详细比较，根据looyenga 的半经验关系式: （2-11） 式中的 和: 分别为复合物、 P I 和水的 介电 常数，v为P I 吸水的体 积百分数.湿度越大， P I 薄膜吸附的水分子越多，v越大，复合物介电常数就增大，正是根据这一原理制成P I 薄膜电容式湿度敏感元件.当然，在P I 薄膜吸收或放出水分子时，也会引起薄膜厚度的变化，但因 P i膜很薄，薄膜厚度的变化对电容值的影响比介电常数对电容值的影响要小得多，主要是介电常数的变化引起电容值的改变. 聚酞亚胺是典型的高分子电容式湿度传感器，是有很大溶解性的高分子电解质，其溶液对温度、浓度及湿度都敏感，浓溶液比稀溶液稳定

39、，可在低温下贮存较长时间。制备湿度传感器时，将聚酞亚胺调至合适浓度，成膜，并进行水环化 1 7 1 。而上电极的制作实际就是金属膜的制造，可以采用溅射、蒸镀化学镀、旋涂等方法，其制作工艺与半导体工艺兼容，制造工艺流程如图 2-3 清洗 ，氧化蒸镀下电极刻蚀下电极涂覆感湿膜刻蚀感湿膜固化感湿膜蒸镀上电极刻蚀上电极划片焊接封装初测老练测试筛产品入库图2-3 工艺流程图2.4.3热敏电阻式绝对湿度传感器 以上所述湿度传感器主要测定相对湿度。热敏电阻式绝对湿度传感器用来测定绝对湿度，它将热敏电阻的一端封入到干燥空气中，另一端暴露在大气中，水蒸汽接触到能自加热的热敏电阻，就会产生温度差输出信号。在湿度化

40、的空气中，使用检测绝对水分量的绝对湿度传感器精度较好。2.5 其它类湿度传感器2.5.1电磁波湿度传感器 电磁波湿度传感器是利用某些物质吸附水汽后，振荡频率、传播速度、整流特性等物理性能发生变化的原理来测定相对湿度。电磁波湿度传感器有晶式、二极管型、微波式、声表面波湿度传感器等。应用于特殊领域。 晶振式湿度传感器，石英振子的共振频率取决于振子的形状、切向和电等组成的负载，在电极表面上涂敷吸收湿膜，在吸附水汽后，测出频率的变即可测出相对湿度值。二极管型，由P d - Z n O组成的二极管型湿度传感器，整流特性随P d吸湿程度而变，类似的湿度传感器还有S D O Z 湿敏二极管。微式湿度传感器，

41、利用水汽吸收微波并使微波传输损耗发生变化的原理制成。表面波湿度传感器，将吸湿性的聚合物薄膜涂敷在 S A W ( 声表面波)延时子上，利用聚合物薄膜吸收水汽使弹性波传播速度发生变化的原理制成。2.5.2吸收式湿度传感器 吸收式湿度传感器是利用化学吸收剂或其它干燥剂，吸收湿气体中水蒸直到完全干燥，然后测出水分的重量即可直接求出气体的湿度。应用于湿度于 1 0 %R H特殊环境中。分压式湿度传感器应用于湿度大于 9 0 % R H特殊环中;红外线湿度传感器广泛应用于食品加工过程。2.6小结 本章介绍了各种传感器及其测量原理，重点阐述了电容式湿度传感器，讲述了其感湿机理，感湿材料和应用场合，同时，本

42、章还介绍了市场上出现的各种湿度传感器，从干湿球湿度计、毛发湿度计和露点仪湿度传感器到电子式湿度传感器。随着仪器仪表向集成化、智能化、多参数检测的方向迅速发展，电子式湿度传感器愈来愈得到了广泛的应用。三方案设计及测量原理3.1引言 高分子电容式湿度传感器生产己达到一定的规模。但要大批量生产，一个关键的限制因素是:在产品生产出来之后，各项技术质量指标必须给出，这些指标决定产品的质量性能及可用性，没有这些质量技术指标产品将不被认可。但目前对这些质量技术指标的测试方法及手段存在以下几个问题: 1 . 湿度源 ( 湿度发生装置)昂贵，不能为普及测试提供方便及良好的条件: 2 . 检测电路精度不高，易受外

43、界散杂小电容的干扰; 3 ， 手工测量，一次只能检测一个，费时费力，测试数量有限，且测试结果因人而异; 4 . 测试系统与硬件的接口形式单一，不能适应计算机接口最新的发展。 因此，对湿度传感器性能作出快速、准确，有效的检测是企业急待解决的问题。针对这些问题，设计目标为: 1 . 提供一套高精度的湿度发生器，达到较高的性价比; 2 . 硬件测试电路的将散杂电容的干扰消除到最小，电容测试引用误差达到0.2 %: 3 ， 实现对湿度传感器的批量测试，测试系统能够实现对 3 2路湿度传感器的同时测量，同时在硬件测试板做少量改动的情况下，实现按需任意路数测试; 4 . 测试接口3 . 2 湿度传感器测量原理 目前湿度传感器在生产过程中还停留在手工测试阶段，存在很多问题，本节对电容式湿度传感器进行了详细地分析，利用电容式湿度传感器的等效形式，阐述了