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1、PECVD工艺培训江西瑞晶太阳能高科技有限公司,PECVD的原理,目录,PECVD的作用,PECVD工艺参数的调整,安全,PECVD：Microwave Remote Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition微波间接等离子增强化学气相沉积,定义,等离子体：由于物质分子热运动加剧，相互间的碰撞就会使气体分子产生电离，这样物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。,PECVD工作原理,PECVD的作用,在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。其还具有卓越的抗氧化和绝缘性能，同时具有良好的阻挡钠离子、掩蔽金属和水蒸汽扩散的能力；
2、它的化学稳定性也很好，除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外，其它酸与它基本不起作用。,除SiN膜外，TiO2，SiO2也可作为减反膜,PECVD的作用,PECVD的作用,在左图中示出了四分之一波长减反射膜的原理。从第二个界面返回到第一个界面的反射光与从第一个界面的反射光相位相差180度，所以前者在一定程度上抵消了后者。即n1d1=/4,PECVD的作用,PECVD的作用,PECVD的作用,PECVD的作用,钝化太阳电池的受光面,钝化膜(介质)的主要作用是保护半导体器件表面不受污染物质的影响，半导体表面钝化可降低半导体表面态密度。,PECVD的作用,钝化太阳电池的体内,在SiN减反射膜中存在大量的H，在
3、烧结过程中会钝化晶体内部悬挂键。,PECVD的原理,PECVD的原理,PECVD工艺参数的调整,在每一个过程中左右使用略微不同的脉冲周期（相差1-2ms）,调整P-peak可改变等离子源的扩散长度，沉积率随着P-mean轻微增加（通过Ton，Toff控制），如果不均匀通过左/右微波功率调节左/右沉积率。,P-peak=250032003600WTon=3812msToff=121825msMean power=75010001500W,微波功率（对一个微波源）,随着温度增加轻微减少沉积率,250325400,反应温度,最佳值为80cm/min,速度的调整用作对膜厚的最终调整,152030cm/
4、min/PS,承载框传输速度,高的硅含量（低于1.2）开始在SiN膜中产生光吸收,较多的SiH4会导致较多的Si含量、更高的折射率,1.52.04,工作气体比（QNH3/QSiH4),沉积率随着总气体流量增加（在1000sccm/PS时饱和），但在高流量时等离子体分裂态少,150300500 sccm/PS,总气体流量,超过0.25mbar降低沉积率；低压增加H钝化效果,0.050.1-0.20.5mbar,沉积腔压力,备注,对SiN膜的作用,范围,参数,SiN膜对太阳电池参数的影响,安全,无水氨气是一种刺激性、无色、可燃的储存于钢瓶的液化压缩气体。其存储压力为其蒸汽压14psig(70)。氨
5、气会严重灼伤眼、皮肤及呼吸道。当它在空气中的浓度超过15%时有立即造成火灾及爆炸的危险，因此进入这样的区域前必须排空。进入浓度超过暴露极限的区域要佩戴自给式呼吸器。大规模泄露时需要全身防护服，并应随时意识到潜在的火灾和爆炸危险。暴露在氨气中会对眼睛造成中度到重度的刺激。氨气强烈地刺激鼻子、喉咙和肺。症状包括灼伤感、咳嗽、喘息加重、气短、头痛及恶心。过度暴露会影响中枢神经系统并会造成痉挛和失去知觉。上呼吸道易受伤害并导致气管炎。声带在高浓度下特别容易受到腐蚀，下呼吸道伤害会造成水肿和出血，暴露在5000ppm下5分钟会造成死亡。,紧急救助眼睛接触：用大量的水冲洗，立即进行医疗处理。吸入：将人员移
6、到空气清新处，若呼吸困难，则输氧，并迅速进行医务处理。皮肤接触：用大量水冲洗，立即脱掉被污染的衣服，并立即进行药物处理。,安全,火灾扑救灭火剂：干粉、二氧化碳或水 从泄漏区疏散所有的人，切断氨气泄漏源，然后根据燃烧的物质进行灭火。由于受热钢瓶内压力会升高，如果泄压装置功能失灵，会引起钢瓶爆炸。,硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色无定型二氧化硅烟雾。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤。如果严重甚至会致命。如果火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸，如果泄放硅烷时压力过高或速度过快，会引起滞后性的爆炸
7、。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近，不要试图在切断气源之前灭火。硅烷会刺激眼睛，硅烷分解产生的无定型二氧化硅颗粒会引起眼睛刺激。吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病。硅烷会刺激皮肤、硅烷分解产生无定型二氧化硅颗粒会引起皮肤刺激。,安全,火灾扑救切断气源灭火，用水雾减少空气中形成的燃烧产物，不要用卤化物类灭火器。从最远的距离用水冷却暴露在火焰中的钢瓶。从泄漏区疏散所有人，切断气源，根据燃烧的物质灭火。由于热量的作用气瓶内压力会升高，如果泄压装置失灵会引起钢瓶爆炸。,紧急救助由于硅烷泄漏引起人员灼伤应由受过培训的人员进行急救，并立即寻求医疗处理，眼睛接触：应立即用水冲洗至少15分钟，水流不要太快，同时翻开眼睑，使受难者为“O”形眼，立即寻求眼科处理；吸入：将患者尽快移到空气清新处，如有必要由受过培训的人员进行输氧或人工呼吸。皮肤接触：用大量的水清洗至少15分钟，脱掉已暴露在硅烷中被污染的衣服，小心不要接触到眼睛，如果患者有持续的刺激感或其他进一步的健康影响需立即进行医疗处理。,泄漏的微波会损伤人体,致谢,谢谢各位！,
