第五章硅外延生长课件

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10、第七章外延,外延,是指在单晶衬底,如硅片,上,按衬底晶向生长单晶薄膜的工艺过程,生长有外延层的硅片称为外延片,同质外延,生长的外延层和衬底是同一种材料,异质外延,外延生长的薄膜与衬底材料不同,或者生长化学组分,物理结构与衬底完全不同的外延层。

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