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1、XPS：定性分析的基本原理,X射线光电子能谱定性分析元素（及其化学状态）是以实测的光电子能谱图与标准谱图相对照，根据元素特征峰的位置（结合能及化学位移）确定固态样品表面存在哪些元素及这些元素存在于何种化合物中。定性分析原则上可以确定除H、He以外的所有元素。分析时首先通过对样品在整个光电子能量范围内扫描，用元素的主峰确定样品中的元素，然后再对选择的主峰进行窄扫描，以确定化学状态。,5.2 俄歇电子能谱,1.俄歇电子的能量2.俄歇电子的几率3.俄歇谱图的形式4.俄歇谱的定性分析,1.1 俄歇电子的能量,E E1(Z)E2(Z)E3(Z)-sp,Ek=hn-Eb-sp,1.2 俄歇电子的几率,电离
2、原子去激发的两种方式：荧光过程、俄歇过程。发生荧光过程的几率为Px，发生俄歇过程的几率为Pa，则：Px+Pa=1,1.3 俄歇谱图的形式,俄歇图谱采用微分后曲线的负峰能量作为俄歇动能进行标定。,1）根据最强的俄歇峰能量，查俄歇电子能谱手册，确定元素。2）标注所有此元素的峰。3）微量元素的峰，可能只有主峰才能在图谱上观测到。,1.4 俄歇电子能谱的定性分析,1.4.1 表面元素的化学价态分析,由于原子内部外层电子的屏蔽效应，芯能级轨道和次外层轨道上的电子的结合能在不同的化学环境中是不一样的，有一些微小的差异。这种轨道结合能上的微小差异可以导致俄歇电子能量的变化，这种变化就称作元素的俄歇化学位移。利用这种俄歇化学位移可以分析元素在该物种中的化学价态和存在形式。与XPS相比，由于俄歇电子涉及到三个原子轨道能级，其化学位移要比XPS的化学位移大得多,它更适合于表征化学环境的作用。,化学位移:,由于原子化学环境,包括其价态或在形成化合物时,与该元素原子相结合的其它原子的电负性等的变化,而引起的俄歇峰或XPS谱峰的位移,称为化学位移。,1.4.2 微区分析,1）选点分析。(俄歇电子能谱具有XPS难以达到的微区分析优点)2）线扫描分析。3）面分布分析。,
