直拉单晶炉温度梯度与单晶生长

第4章 硅锗晶体中的杂质和缺陷,半导体材料中的杂质和缺陷对其性质具有重要的影响。半导体硅锗器件的制做不仅要求硅锗材料是具有一定晶向的单晶,而且还要求单晶具有一定的电学参数和晶体的完整性。 单晶的电学参数通常是采用掺杂的方法,即在单晶生长过程,单晶硅的制备,单晶硅的主要用途,单晶硅的性质,单晶硅的生长

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1、第4章 硅锗晶体中的杂质和缺陷,半导体材料中的杂质和缺陷对其性质具有重要的影响。半导体硅锗器件的制做不仅要求硅锗材料是具有一定晶向的单晶,而且还要求单晶具有一定的电学参数和晶体的完整性。 单晶的电学参数通常是采用掺杂的方法,即在单晶生长过程。

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3、第4章 硅锗晶体中的杂质和缺陷,半导体材料中的杂质和缺陷对其性质具有重要的影响。半导体硅锗器件的制做不仅要求硅锗材料是具有一定晶向的单晶,而且还要求单晶具有一定的电学参数和晶体的完整性。 单晶的电学参数通常是采用掺杂的方法,即在单晶生长过程。

4、蓝宝石晶体生长技术,蓝宝石英文名称为Sapphire,源于拉丁文Spphins,意思是蓝色,属于刚玉族矿物,三方晶系,宝石界将红宝石之外的各色宝石级刚玉都称为蓝宝石,蓝宝石主要成分是氧化铝,Al2O3,刚玉中因含有铁,Fe,和钛,Ti,等微。

5、第五章定向凝固技术,材料制备与加工技术的发展对新材料的研发,应用和产业化具有决定性作用,同时还可有效的改进和提高传统材料的使用性能,对传统材料的产业更新和改造具有重要作用,定向凝固技术被广泛应用于获得具有特殊取向的组织和优异性能的材料,5。

6、半导体材料,徐桂英材料学院无机非金属材料系,第5章,半导体材料的制备,第5章,半导体材料的制备,为了满足第四章所提出的要求,以保证半导体器件的需要,发展了一系列的半导体材料制备工艺,其中大部分已在工业规模范围内得到实现,这些工艺大体可分为提。

7、直拉生长工艺,直拉法又称Cz法,目前,98,的电子元件都是用硅材料制作的,其中约85,是用直拉硅单晶制作的,直拉硅单晶由于具有较高的氧含量,机械强度比Fz硅单晶大,在制电子器件过程申不容易形变,由于它的生长是把硅熔融在石英坩埚中,而逐渐拉制。

8、直拉生长工艺,直拉法又称Cz法,目前,98,的电子元件都是用硅材料制作的,其中约85,是用直拉硅单晶制作的,直拉硅单晶由于具有较高的氧含量,机械强度比Fz硅单晶大,在制电子器件过程申不容易形变,由于它的生长是把硅熔融在石英坩埚中,而逐渐拉制。

9、第八章凝固新技术,一,定向凝固,1,定向凝固定义,概述2,定向凝固原理3,定向凝固工艺4,定向凝固的应用,3,在凝固过程中采用强制手段,在凝固金属和未凝固熔体中建立起特定方向的温度梯度,从而使熔体沿着与热流相反的方向凝固,获得具有特定取定向。

10、第六章单晶材料的制备,由原子,分子或离子等微粒在空间按一定规律,周期性重复排列所构成的长程有序的固体物质,非晶态结构示意图,晶态结构示意图,第一节晶体知识回顾,1,晶体定义,2,晶体特有的性质,均匀性与各向异性自范性对称性确定的熔点,光衍射。

11、第七章 单晶材料的制备,由原子分子或离子等微粒在空间按一定规律周期性重复排列所构成的长程有序的固体物质。,非晶态结构示意图,晶态结构示意图,第一节 晶体知识回顾,1晶体定义,2晶体特有的性质:,均匀性与各向异性 自范性 对称性 确定的熔点 。

12、单晶材料的制备,站长素材SC,CHINAZ,COM,2,单晶材料的发展与概述,固相,固相平衡的晶体生长,液相,固相平衡的晶体生长,常用单晶材料的制备方法,1,2,3,4,目录,3,晶体学的发展,天然晶体石英,50万年以前,蓝田猿人和北京猿人。

13、单晶材料的制备,一.概述,随着现代科学的发展,在材料科学研究领域中单晶体材料占着很重要的地位。由于多晶体含有晶粒间界,人们利用多晶体来研究材料性能时在很多情况下得到的不是材料本身的性能而是晶界的性能。有的性能必须用单晶来进行研究。其中一个著。

14、1,普通降温法生长单晶是溶液法制备单晶中最简单的一种,适合实验室制备单晶,最初用于生长二磷酸腺甙,ADP,1947年英国人托德合成,一种人工生物单晶体,磷酸二氢钾,KDP,磷酸二氘钾,DKDP,等的单晶体,KDP和DKDP晶体均具有光电子性。

15、1,第二章单晶生长技术,2,由原子,分子或离子等微粒在空间按一定规律,周期性重复排列所构成的长程有序的固体物质,非晶态结构示意图,晶态结构示意图,2,0晶体知识回顾,1,晶体定义,3,2,晶体的特性,1,晶体的均匀性与各向异性,晶体的一些与。

16、王峰鲁东大学化学与材料科学学院,材料合成与制备,第一章单晶材料的制备第二章非晶态材料的制备第三章薄膜的制备第四章功能陶瓷的合成与制备第五章结构陶瓷的制备,目录,单晶,singlecrystal,即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地,周期性。

17、第二节硅片制备中的热工设备,单晶炉和多晶硅铸锭炉,一,单晶炉,目前在所有安装的太阳电池中,超过90,以上的是晶体硅太阳电池,因此位于产业链前端的硅锭片的生产对整个太阳电池产业有着很重要的作用,太阳电池硅锭主要有单晶硅锭和多晶硅锭,这两种硅锭。

18、第二章单晶材料的制备,第一节单晶材料的发展与概述第二节固相固相平衡的晶体生长第三节从熔体中生长晶体,熔体法,第四节常温溶液法第五节高温溶液法第六节其它晶体生长方法,第一节单晶材料的发展与概述,单晶不仅是人们认识固体的基础,而且,对单晶的研究。

19、直拉单晶硅工艺技术,主讲教师,裴迪石油化工学院,1,1,热场的概念热场也称温度场,热系统内的温度分布状态叫热场,煅烧时,热系统内的温度分布相对稳定,称为静态热场,在单晶生长过程中,热场是会发生变化,称为动态热场,单晶生长时,由于不断发生物相。

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